压电纳米定位和中国加工制造.doc

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1、压电纳米定位与中国加工制造在现代工业领域，压电纳米定位产品覆盖着很大的应用方面。随着科技发展，人们对器件的要求越来越高，器件的体积也要求越来越小，甚至可达微纳米级。而压电纳米定位产品具有亚纳米级的分辨率及定位精度，且因压电纳米定位产品是由容性压电叠堆陶瓷驱动，所以它的运动定位时间即为压电叠堆陶瓷充放电的时间，响应时间可快至亚毫秒级。高精度及高响应速度的特点是压电纳米定位产品广泛应用于工业化的重要因素。压电纳米定位产品到底是什么产品？压电纳米定位产品其实就是基于压电式驱动、步进精度在纳米量级，且可产生纳米

2、级至毫米级的运动范围的运动产品，可以将它理解是一种统称。它包括压电叠堆陶瓷、压电促动器、压电纳米定位台、压电物镜定位器、快速刀具微进给定位台、压电平移台、压电扫描台、压电偏转镜、压电偏摆台等。压电叠堆陶瓷h压电促动器压电纳米定位台压电纳米定位产品都用于哪些工业应用呢？可从压电纳米定位产品的特性来了解其应用，例如，我们已经了解到压电纳米定位产品的两大特点：高精度及高频响，凭借于此，压电纳米定位产品就可应用于超精密激光加工，例如晶圆切割，利用激光切割晶圆。随着手机等电子产品的体积日益变薄、变小，手机内部的芯

3、片就越来越小，那么晶圆上单个单元die就相应变小，每个单元上都有很多电路，使用激光将晶圆切成单元die,这就要求非常高的激光焦点的定位加工精度，需达纳米量级；并且，要想快速完成成千上万的晶圆单元的切割，必须加工速度要快。面对这两项难题，很多产品都束手无策，但压电纳米定位产品却可完美解决这些问题。»:•・・!!■iwS好E#心利用芯明天的压电纳米定位产品之压电物镜定位器，例如P76,将其安装于较重的工业物镜头上方，在压电控制器输出的电压信号的驱动下，它可带载工业物镜头运动，进行Z向100刚范围的上下微动，

4、调整距离可精确至几纳米。当加工用的激光经过工业镜头聚焦后，再通过压电物镜定位器调节激光焦点的位置,激光焦点位置即是加工点的位置，压电物镜定位器可保证加工精度达几纳米。晶圆切割利用的是压电纳米定位产品的直线超高精度位置调节，也可以通过压电纳米定位产品进行角度调节进行微小孔加工，例如流量控制板小孔加工、高压涡轮叶片小孔加工、喷油嘴小孔径倒锥孔加工等，其中激光的方向及加工点的调节都是通过压电偏转镜实现。芯明天压电纳米定位产品的工业化，是芯明天强硬的压电纳米定位技术的一种体现，更是中国压电纳米定位技术水平赶超世

5、界的一种展现。将压电纳米定位技术用于提高制造行业的加工精度，倡导''中国制造2025”，推进中国制造行业快速发展。