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1、Preparedby:QA1-1Date：2006-04-20ESD规格标准ESD规格标准标准量测一、接地及连接系统A：生产设备金属部分至接地线阻抗量测B：静电防护接地线C：大地接地二、人员接地A：静电鞋、静电环B：工作服三、保护区域A：工作表面B：地板C：静电椅、台车D：离子风扇E：料架F：输送带四、设备A：AC电源工具B：烙铁接地C：放大镜2ESD规格标准名词解释一、ESD静电放电二、ESDSItems静电敏感元件三、EPA静电放电防护区3ESD规格标准一、接地及连接系统A：生产设备金属部分至接地线阻抗量测（连续性生产设备及单一设备）步驟1：將三
2、用電錶打開，選用量測電阻值功能，將電錶之量測點一端置於設備（須於無塗裝之機台金屬表面）,一端置於接地線上,量測設備到接地線的阻抗值,如果阻抗值<10,即符合要求.否則即不符合步驟2:如不符合,須檢查是否確實接觸良好,並改善之步驟3：改善後重測,並記錄讀值.A：生产设备金属部分至接地线阻抗量测（设备与设备）將三用電錶（表面阻抗計）打開，選用量測電阻值功能，將電錶之量測點一端置於設備上,另一端置於另一設備上,量測設備到設備的阻抗值,如果阻值<10,即符合要求.否則即不符合.須於無塗裝之機台金屬表面接地線量測時須確認接地線的位置須於無塗裝之機台金屬表面
3、4ESD规格标准一、接地及连接系统B：静电防护接地线：包含總檢桌及固定式料架之ESD接地線測試步驟1.將三用電錶打開，選用量測電阻值功能，將電錶之量測點一端置於ESD接地線(，圖9),一端置於ESD共同接地點/電源接地插座,或搭接鄰近之已量測通過之ESD接地線量測之量測ESD接地線的阻抗值,如果阻抗值<10,即符合要求.否則即不符合。如ESD接地之共通接地點端/電源接地插座太遠，請使用延長線步驟2:如不符合,須檢查是否確實接觸良好,並改善之步驟3：改善後重測,貼上符合標示NOTE:1.量測時間為每年1、4、7、10月15號前，標籤顏色為綠（1~3月
4、）、黃（4~6月）、銀（7~9月）、橙（10~12）月2.本標籤由轄區單位張貼維護，IPQC執行稽核於轄區單位檢測者後簽名，如發現不符合者應告知轄區主管3.標籤之語言以英文為主，各localsite可自行加註當地語言。但以不修改標籤內容為原則5ESD规格标准一、接地及连接系统C：大地接地由厂务完成6ESD规格标准一、人员接地A：静电环、静电鞋步驟1.將三用電錶打開，選用量測電阻值功能，將電錶之量測點一端置於ESD接地線(，圖9),一端置於ESD共同接地點/電源接地插座,或搭接鄰近之已量測通過之ESD接地線量測之量測ESD接地線的阻抗值,如果阻抗值<1
5、0,即符合要求.否則即不符合。如ESD接地之共通接地點端/電源接地插座太遠，請使用延長線步驟2:如不符合,須檢查是否確實接觸良好,並改善之步驟3：改善後重測,貼上符合標示NOTE:1.量測時間為每年1、4、7、10月15號前，標籤顏色為綠（1~3月）、黃（4~6月）、銀（7~9月）、橙（10~12）月2.本標籤由轄區單位張貼維護，IPQC執行稽核於轄區單位檢測者後簽名，如發現不符合者應告知轄區主管3.標籤之語言以英文為主，各localsite可自行加註當地語言。但以不修改標籤內容為原則7ESD规格标准二、人员接地B：工作服步驟1:將工作服置於絕緣體
6、的桌面上，將雙袖打開。(Fig.16)步驟2:將表面阻抗計打開，輸出電壓選擇(100V),把重錘兩端置於兩個袖子上，量測兩袖之間的阻抗值,如果阻抗值介於1.0×104~1.0×1011即符合要求.否則即不符合步驟3:如果量測結果不符合,即應清潔後再測試,如仍無法PASS,即需更換步驟4：改善後重測,記錄讀值8ESD规格标准三、保护区域A：工作表面接地扣線是否與靜電桌墊及接地線連接良好，當發現脫落時立即扣上步驟1:將表面阻抗計打開,壓於靜電桌墊中間,或以重錘置於桌墊可用約90~100公分的二點,如讀值介於1.0×104~1.0×109,即可PASS
7、測試步驟2:但是如果測試結果為邊緣值(1.0×109),即需以重錘重測做為最終的PASS或FAIL之依據步驟3:如果測試結果不符合,即應清潔後再測試,如仍無法PASS,即需更換步驟4:以重錘量測桌墊與ESDgroundingwire及桌墊與桌墊間之阻抗值,如阻抗值是1.0×109表示可PASS測試,否則失敗,需檢查是否有接觸不良或漏接發生.步驟5:貼上合格標籤，並記錄量測值（桌面點對點量測數據）桌／輸送帶墊，點對點量測桌面到接地線的阻抗量測兩個桌墊間的阻抗量測9ESD规格标准三、保护区域B：ESD防护地板1）接地線對地步驟1:將表面電阻既打開
8、(輸出電壓選用100V)，把重錘之一端至於導電地板，另一端連接ESD接地線，在464.5m2的範圍區域內,量
