《ESD讲座》PPT课件

《《ESD讲座》PPT课件》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、静电放电（ESD）及防护刘清松深圳市亨达洋静电技术有限公司目录一．  术语及定义二．  静电的产生1.静电现象2.静电的产生主要有三种方式：1.摩擦;2.感应;3.传导三．  静电对电子工业的影响1.静电对电子元件的影响2.半导体器件静电击穿及其规律四.ESD三种型式1.人体型式2.微电子器件带电型式3.场感应型式五.静电防护:1.接地2.屏蔽3.中和六.防静电产品防静电的一般工艺规程要求术语及定义1.静电ELECTROSTATICDISCHARGE物体表面过剩或不足的静止的电荷2.静电场：静电在其周围形成电场3.静电放电ELECTROSTATICDISCHARGE（

2、ESD）两个具有不同静电电位的物体，由于直接接触或静电场感应引起两物体间的静电电荷的转移。静电电场的能量达到一定程度后，击穿其间介质而进行放电现象。4.静电敏感度（ELECTROSTATICSUSCEPTIVITY）元器件所能承受的静电放电电压5.静电敏感器STATICSENSITIVITYDEVICE（SSD）对静电放电敏感的器件6.接地电气连接到能供给或接受大量电荷的物体，如大地，船等.7.中和NEUTRALIZATION利用异性电荷使静电消失8.防静电工作区STATICSAFEAREA配备各种防静电设备和器材，能限制静电电位，具有明确的区域界限和专门标记的适于从

3、事静电防护操作的工作场地9，电容（C）电容为一物体能够储藏多少电荷，或两带等量异性电荷物体间可容忍的电位差的特有参数。若物体上的电荷过多，则会对地（或空气）泄漏。如云层内的静电过多，则会有闪电现象。若两物体间的电位差过大，则一物体上的电荷会穿破中间的障碍，跑到低电位的物体上。二.静电的产生1.摩擦2.感应3.传导一)静电现象静电现象是日常生活中普遍遇到的物理现象，大至雷电，小至摩擦生电，等等1.摩擦任何物质都是由原子组合而成，而原子的基本结构为质子,中子及电子。在正常情况下，一个原子的质子数与电子数量相同，正负平衡，所以对外表现出不带电的现象。当物体表面的分子带有电荷

4、或被极化时，造成电子分布的不平衡，带电现象就产生了.图1在日常生活中，任何两个不同材质的物体接触后再分离，即可产生静电，而产生静电的最普通方法，就是摩擦生电。摩擦是产生静电的主要途径，任何一种材料：固体，气体或液体，不管它是导体还是绝缘体，都可能摩擦带电，带电量的大小和极性，取决于这两种材料本身的特性和其它因素的影响，在日常生活中,所感知的都是绝体带静电,而金属材料很少带静电,这是由于绝缘体电子不活泼,产生的静电不易走,故残留静电很高,而金属导电良好,所产生的静电可以通过很多途径泄放掉,故残留静电很少.按照材料受摩擦后产生正电或负电的可能性。静电摩擦生电排序如下:正极

5、性负极性空人玻云人尼羊铅纸棉钢木硬镍黄金纤聚聚聚聚聚特气手璃母类龙毛张花材橡和金和维脂氨乙丙氟头胶铜和铂和脂烯烯乙龙发银人烯烯造丝表中左端材料将带正电，右端的材料将带负电，材料的绝缘性越好，越容易是使用摩擦生电，有机玻璃（PLEXIGLAS）和特氟石（TEFLON）这样的非导电体，很容易带电，它们能产生大量的静电荷，有时甚至高达25000伏。另外，任何两种不同物质的物体接触后再分离，也能产生静电；只要有能量变化的情况下，如：压电、热电、断裂、电解、喷射、温度变化、气压变化等能量变化，只要其能量变化大于其物质的功函数（功函数等于电子从该物质中跳出来所必须的最小能量，一般

6、只有几个电子伏特）就有可能产生静电。2.感应针对导电材料而言，因电子能在它的表面自由流动，如将其置于一电场中，由于同性相斥，异性相吸，正，负离子就会转移，如图，此时接地，物体B中的正电荷就会与大地的负电荷中和，再断开接地，问题B就会带负电荷。图23.传导三.静电对电子工业的影响由于科技进步，电子行业产品采用了大量大规模集成电路，而电子技术的发展，使这些集成电路可朝着更小体积，更多功能，更为可靠的方向发展。这些元器件已成为目前电子工业的基本要求，但是这类元器件的特性是线路间距小。线路面积小。但同时也因为线路缩小，耐压降低，线路面积减小，使得器件耐静电冲击能力的减弱，静电

7、电场（StaticElectricField）和静电电流（ESDcurrent）成为这些高密度元器件的致命杀手。同时大量的塑料制品等高绝缘材料的普遍应用，导致产生静电的机会大增。日常生活中如走动，空气流动，搬运等都能产生静电，各种活动的所产生的静电强度因环境的不同而有相当的变化。DRAM电路参数的演变参数ULSIVLSILSIMSI集成度/芯片（个）107-9105-7103-5102-3设计规则（μm）<11-33-55-10功率。延迟积（PJ）<10-510-5-11-1010-100掩模数（块）12-188-156-105芯片面积（MM2）50