《esd训练教材》ppt课件

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1、ESD制作：BruceLin时间：2009.01.12目录序言第一部分：ESD基本原理介绍第二部分：半导体的抗静电能力第三部分：静电防护序言在电子产品越来越细小，越来越复杂的今天，半导体材料的质量要求也是越来越高的.而静电对半导体的破坏却因半导体的高集成化而变得更加容易。为了产品的质量和提升客户的满意度，我们必须在静电的防护方面作出更有效的行动，来迖成我们的质量目标。ESD基本原理介绍ESD基本原理介绍一、静电放电(ESD)现象严寒的冬天，当您脱下暖和的毛衣，您会听到哔哔啪啪声。握手或手接触时常被电击一下，是由于人身带了静电，接触时突然放电所致。云层相互

2、摩擦而带大量的电荷，相互放电形成能量巨大的雷电，对地放电则可能形成雷击。这些就是静电瞬间放电(ESD)所主导产生的现象ESDElectroStaticDischarge二、静电的本质物质由分子和原子组成，原子由原子核和电子组成，原子核带正电，电子带负电。自然条件下，正负电荷平衡，物体不带电.这类物体叫电中性物体。在某种条件下，正负电荷的平衡被打破，则物体带电这种现象叫物体带电。所谓静电指对观察者而言，电荷静止不动或运动非常缓慢。动电则有电荷的快速运动和变化。ESD基本原理介绍三、静电起电静电可有很多种方式产生，如物体间的摩擦，电场感应，介质极化，带电

3、颗粒粘附等等。摩擦起电：当两个物体产生摩擦时，摩擦表面的电子会从一种物体跑到另一种物体上，分离后，两个物体的正负电荷失去平衡，得到电子的带负电，失去电子的带正电。感应起电：当有强电场(大的带电体)存在时，附近的物体被感应，局部或整体产生电荷，这类带电称为感应带电。ESD基本原理介绍四、静电放电当带电的物体与一些导体等接触时或靠的很近时，电荷会找到一途径途突然释放掉，这种现象叫静电放电。静电放电的条件是：首先有静电存在，其次要有一定的途径。静电放电的原因和条件多种多样，控制静电放电是在人们生活和工作中的各个方面所追求的。ESD基本原理介绍五、静电产生原理静

4、电产生1.分离2.摩擦ESD基本原理介绍分离，摩擦等起电的过程：ESD基本原理介绍五、静电产生原理ESD基本原理介绍五、静电产生原理分离，摩擦等起电的过程：物质产生静电大小排列如下表，其中愈正性与愈负性物质互相摩擦产生之静电愈大。空气石棉人手玻璃云母头发尼龙羊毛毛皮铅丝绸铝纸棉花钢木材琥珀封蜡橡胶镍铜黄铜纤维聚酯奥璐珞聚氨酯聚乙烯聚丙烯硅硅橡胶ESD基本原理介绍五、静电产生原理摩擦起电：操作中的动作和肢体运动，由衣服，鞋子与其他物体，地面摩擦，使衣服和鞋子带电，再通过传导和感应，使人体带电。感应起电：当不带电的人体进入带电的电场，静电感应而起电。传导起电

5、：人体直接接触带电体，或与带电体发生静电放电，另人体在静电的微尘粉体和雾状液粒空间活动，使带电微粒附在人体及衣服上产生静电。ESD基本原理介绍五、静电产生原理人体带电研究ESD基本原理介绍五、静电产生原理人体活动带电示意图六、静电电压典型静电电压我们在经受3000伏的静电电压!!ESD基本原理介绍ESD基本原理介绍六、静电电压人体电容典型值ESD基本原理介绍六、静电电压人体的典型静电电压值实际过程中，静电一边产生一边衰减静电的衰减符合指数规律：电容越大，电阻越大，衰减越慢七、静电放电静电荷的衰减规律ESD基本原理介绍大体而言只要100V以上的

6、静电压就可以对半导体产生伤害，故ESD之防护工作，我们不可不慎。电子元器件静电损伤的典型电压阀值半导体的抗静电能力损伤具有隐蔽性：人体不能直接感知静电除非发生静电放电，但是发生静电放电人体也不一定能有电击的感觉，这是因为人体感知的静电放电电压为2~3KV，所以静电具有隐蔽性。失效分析的复杂性：静电放电损伤的失效分析工作，因电子产品的精、细、微小的结构特点而费时、费事、费钱，要求较高的技术并往往需要使用扫描电镜等高精密仪器。即使如此，有些静电损伤现象也难以与其他原因造成的损伤加以区别，使人误把静电损伤失效当作其他失效。这在对静电放电损害未充分认识之前，常常

7、归因于早期失效或情况不明的失效，从而不自觉地掩盖了失效的真正原因。所以静电对电子器件损伤的分析具有复杂性。电子产品静电损伤的特点半导体的抗静电能力损伤具有潜在性：有些电子元器件受到静电损伤后的性能没有明显的下降，但多次累加放电会给器件造成内伤而形成隐患。因此静电对器件的损伤具有潜在性。损伤的随机性：电子元件甚么情况下会遭受静电破坏呢？可以这么说，从一个元件产生以后，一直到它损坏以前，所有的过程都受到静电的威胁，而这些静电的产生也具有随机动性性。其损坏也具有随机动性性。半导体的抗静电能力电子产品静电损伤的特点电子产品静电损伤的形态A.突发性完全失效自身短路

8、、幵路、功能丧失、参数变异。电压相关失效：介质击穿、PN节反向漏电。功率相关失效