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1、Oct2006曹明江射频系统培训教材----ESD国人通信射频系统静电防护项目组前言★我司以打造射频产业龙头为目标，而射频产品是高可靠性,高稳定产品；★由于材料行业发展迅速，电子器件的精度越来越高，敏感度越来越高,功能越来越强,也越来越容易被损坏；★在器件损坏中，静电损坏占到45%以上，减少静电损坏是保护器件的重要方面。ESD失效所占比例EOS/ESD59%电子测试3%氧化/钝化3%导体失效3%硅片断裂4%引脚短路/开路7%引脚连接15%其他6%EOS/ESD导致的失效59%序号火箭名称飞行试验代号发射时间高度/km真空度/mmHg故障简况及原因1民兵IFTM-50219627.6316静电
2、放电造成制导计算机故障,I级发动机关闭前自毁,发射失败2民兵IFTM-503196221.839.6静电放电造成制导计算机故障,I级发动机关闭前自毁,发射失败3欧罗尼ⅡF-111971277.94静电放电使制导计算机阻塞,姿态失控,约1分钟后,火箭I、Ⅱ级过载自毁,发射失败4侦察兵S-112196438-423.09-1.86电爆管桥丝和壳体之间因电弧击穿,Ⅱ级发动机自毁系统爆炸,发射失败5侦察兵5128196438-423.09-1.86电爆管桥丝和壳体之间因电弧击穿,Ⅱ级发动机自毁系统爆炸,发射失败6大力神ⅢCC-101967268.94静电放电使制导计算机故障后自动转移到应急后备状态7
3、大力神ⅢCC-1419671752静电放电使制导计算机故障后,经地面发射指令,修正到预定轨道8德尔安23131974制导控制器件故障,火箭翻滚,发射失败火箭发射失败统计人造卫星失效统计序号卫星名称所属国家组织故障名称1国际通讯卫星Ⅲ-F3国际通讯电子设备乱真切换2国际通讯卫星Ⅲ-F4卫星组织电子设备乱真切换3交响乐-I法-德干扰电源调节系统4阿妮克B加拿大温控性能衰减5林肯实验卫星美国陀螺漂移6交响乐-Ⅱ法-德干扰遥测设备7阿妮克A3加拿大姿态传感器异常8国际通讯卫星Ⅱ-F1美国电子设备乱真切换9国际通讯卫星Ⅱ-F2美国电子设备乱真切换10天狼星-1意大利姿态传感器异常课程目标★理解静电的概
4、念；★知道静电造成的危害，懂得避免静电危害；★能够正确按照静电防护要求操作。1、关键词2、静电原理3、放电现象4、静电危害5、材料特性7、控制原理8、防护设计6、放电模型9、射频改造10、违规现象目录静电（Electrostatics）2、静电原理1关键词★静电是没有作定向运动的电子或离子所带的电；★静电是物体表面过剩或不足的静止电荷；★静电是一种电能，它留存于物体表面；★静电是正电荷和负电荷在局部范围内失去平衡的结果；★静电是通过电子或离子转移而形成的。1.4ESDS1.2EPA1.1ESDElectrostaticsDischarge静电放电ElectrostaticsDischarge
5、Sensitive静电放电敏感（的）ElectrostaticsDischargeProtectedArea防静电工作区1.5EBPEPAGroundBondingPointEPA接地点2、静电原理1关键词1.3SSDStaticSensitivityDevice静电敏感器件★静电起电的过程可归纳为：接触→电荷转移→偶电层的形成→电荷分离2.1静电的产生静电产生的主要方式是:磨擦与感应2、静电原理2静电原理++eee+ee+eee物体A物体B+-2.1静电的产生（3）感应起电2、静电原理2静电原理2.1静电的产生（4）摩擦起电2、静电原理2静电原理2.1静电的产生（5）摩擦剥离2、静电原理2
6、静电原理★力学效应：同性相斥，异性相吸。★放电效应：当垂直于物体表面的静电梯度较大时，可发生静电放电。★感应效应：当带电体附近存在被绝缘的导体时，在该导体表面会出现感应电荷的现象。2.2静电的物理效应2、静电原理2静电原理★受环境影响大：湿度上升则静电积累减少，静电压下降★高电位:数百伏到数万伏★低电量：微库仑级★作用时间短：微秒级2.3静电的特点2、静电原理2静电原理3.1自然界的静电放电（1）3静电现象3.1自然界的静电放电（2）3静电现象3.1自然界的静电放电（3）3静电现象4.1静电的危害形式4静电危害★静电吸附：灰尘会降低单板或器件的绝缘阻抗，影响电性能；★静电放电引起的器件击穿：
7、●硬击穿：一次性芯片介质击穿、烧毁等永久性失效。●软击穿：造成器件的性能劣化或参数指标下降而成为隐患。★静电感应：当导体和电介质置于静电场中，在其上感应出正或负电荷，同时由于电荷定向移动而形成电流；★物质变性：在强电场下，绝缘介质会发生变性，某些物质变性后，即算电场消失后也不能复原；★静电放电时产生的电磁脉冲：当脉冲干扰耦合到计算机和低电平数字电路时，致使电路出现误动作。4.2静电危害的时机4静电危害★放电前
