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时间：2020-02-03
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1、固体物理实验一.脉冲白光诱导扩散实验二.白光诱导固体薄膜区熔再结晶研究脉冲白光诱导扩散实验一.实验的目的和意义:二.实验内容:1.硅片清洗清洗台去离子水设备2.涂SiO2乳胶洁净工作台3.白光诱导扩散4.扩散电阻测量(1).用氢氟酸漂去SiO2乳胶层(2).用扩散电阻测试仪测量参杂原子的浓度Jasco傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)X’PertPROX射线衍射仪(XRD)白光诱导固体薄膜区熔 再结晶研究一.实验的目的和意义:二.实验内容1.固体薄膜的制备2.薄膜样品的区熔再结晶实验3.用XRD,IR,TE
2、M等近代手段对样品进行结构性质分析测试三.白光诱导区熔再结晶设备
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