LED芯片制造常用词汇.doc

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1、LED芯片制造常用词汇◎A开头的单字◎1.Abort取消操作2.Abnormal异常3.AceticAcid(CII3COOII)醋酸4.Acetone(CH3COCH3)丙酮5.Acid酸6.Add增加7.Adjust调整8.AirShower9.Alignmenl10.Alloy11.Aluminuni(Al)12.Ammonia(NH40H)13.Analysis14.AR15.Automation◎B开头的单字◎1.Bake2.Bank3.Barcode4.Batch6.BlueTape7.Boat8・

2、Bottom9.BreakdownVoltage10.Broken11.Buffer12.BufferChemical◎C开头的单字◎1・Calibration2・Camera3・Cancel4.Candela(cd)5.Cart6・Cassette7.Certify8.Chamber洁净走道对准合金铝氢氧化胺(俗称:氨水)分析氟气自动化烘烤暂存条形码整批被工程师或客户BankHold短时间内不会Run的货蓝膜冇英晶舟底部击穿电压破片；损坏生产暂存区缓冲液校正；调整照相机；摄影机清除烛光手推车晶舟技能认证反应室

3、9.Charge电荷10.Chipping崩裂11.ChipSuctionPen真空吸笔12.ChipTransfer-m(Machine)翻转机13.CleanBench清洗台15.Cleaning清洗16.CleaningSequence清洗程序17.Clear清除18.Coat涂布19.Coater上光阻机台20.Coating上光阻；涂布上整个表面21.Completed结束；完成22.Confirm确认23.Contact接触24.污染25.ControlWafer(C/W)控片26.Controll

4、er控制器27.CoolingWater冷却水28.,29.烘烤30.Customer客户31.CVD(ChemicalVaporDeposition)化学汽相沉积32.CycleTime生产周期◎D开头的单字◎1.DailyMonitor每日检测2.Data资料；数据3.DateH期1.缺点；缺陷1.Defocus散焦；无法聚焦2.Del（Delete）清除；删除3.Delay延迟4.Department部门5.（DEP）沉积6.显影7.Developer显影器；显彩液8.Die,Chip晶粒（台）；芯片（陆

5、）9.DIWater去离子水14.切割15.Down当机16.Drain泄出17.干蚀刻18.DryPump干式（无油封）的真空泵19.DummyWafer（D/W）扌出片◎E开头的单字◎1.E/R（EtchingRate）蚀刻率2.紧急停止3•紧急停止按钮4.Endpoint终点值5.EngineerI'.程师6.磊晶片（台）；外延片（陆）4.Equipment.机台；设备7.Etching蚀刻8.蒸镀9.Exhaust抽出;抽风管;排(废)气10.扩张机11.曝光；曝光量◎F开头的单字◎1.FAC厂务2.F

6、qc订ity丿务水电气系统3.F订m薄膜4.Focus聚焦；焦距5.顺向电流6.顺向电压7.FQC最终检验员8.炉管◎G开头的单字◎1.Gallium(Ga)镣2.GOR(GeneralOperationRule)丿区操作规则3.Group群组◎H开头的单字◎1.Handle处理1.HighCurrent高电流2.Highlight强调4.History歴史5.HMDS界面活性剂6.Hold扣留；暂停7.HoldDate留置日期8.HoldReason留置原因9.HoldUser留置者10.HotRun很急件1

7、1.HydrochloricAcid(HCL)盐酸12.HydrofluoricAcid(IIF)氢氟酸13.Hydrogen卩eroxide(H202)双氧水◎I开头的单字◎1.休息2.初始状态3.Inspection检验4.IPA(IsopropyIAcetone)异丙醇5.IPQC制程检验员6.IQC进料检验员7.Item项日8.IvTestIv测试◎J开头的单字◎1.Job工作2.Job-Name程序名称代号◎K开头的单字◎1.KeyLock功能键；指令键2.Keyboard键盘◎L开头的单字◎I.2.

8、LHLD被Hold住的货(Hold在上一站)3.LightEmittingDiode(LED)发光二极体4.Link连结；线5.Lithography微影6.Log记录7.Lost机台是清空的，无人操作机台或机台没在Run货&Lot批货1.LotHistoryInformation批货历史资料2.Lot-ID批货编号II.LotInformation批货信息12.LotNote批货批注