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1、◎A开头的单字◎1.Abort取消操作2.Abnormal异常3.AceticAcid(CH3COOH)醋酸4.Acetone(CH3COCH3)丙酮5.Acid酸6.Add增加7.Adjust调整8.AirShower洁净走道9.Alignment对准10.Alloy合金11.Aluminum(Al)铝12.Ammonia(NH4OH)氢氧化胺(俗称:氨水)13.Analysis分析14.AR氮气15.◎AutomationB开头的单字◎自动化1.Bake烘烤2.Bank暂存3.Barcode条形码4.Batch整批5.BHLD被工程师或客户BankHold短时间内不会Ru
2、n的货6.BlueTape蓝膜7.Boat石英晶舟8.Bottom底部9.BreakdownVoltage击穿电压10.Broken破片;损坏11.Buffer生产暂存区12.BufferChemical缓冲液◎C开头的单字◎1.Calibration校正;调整2.Camera照相机;摄影机3.Cancel清除4.Candela(cd)烛光5.Cart手推车6.Cassette晶舟7.Certify技能认证8.Chamber反应室9.Charge电荷10.Chipping崩裂11.ChipSuctionPen真空吸笔12.ChipTransfer-m(Machine)翻转机1
3、3.CleanBench清洗台14.CleanRoom洁净室15.Cleaning清洗17.Clear清除18.Coat涂布19.Coater上光阻机台20.Coating上光阻;涂布上整个表面21.Completed结束;完成22.Confirm确认23.Contact接触24.Contamination污染25.ControlWafer(C/W)控片26.Controller控制器27.CoolingWater冷却水28.Crucible,Pot29.Curing烘烤30.Customer客户31.CVD(ChemicalVaporDeposition)化学汽相沉积32.
4、CycleTime生产周期清洗程序16.CleaningSequence◎D开头的单字◎1.DailyMonitor每日检测2.Data资料;数据3.DateH期4.Defect缺点;缺陷5.Defocus散焦;无法聚焦6.Del(Delete)清除;删除7.Delay延迟8.Department部门9.Deposition(DEP)沉积10.Develop显影11.Developer显影器;显影液12.Die,Chip晶粒(台);芯片(陆)13.DIWater去离子水14.Dicing切割15.Down当机16.Drain泄出17.DryEtching干蚀刻18.DryPu
5、mp干式(无油封)的真空泵19.◎DummyWafer(D/W)E开头的单字◎挡片1.E/R(EtchingRate)蚀刻率2.EmergencyStop紧急停止3.EMO紧急停止按钮4.Endpoint终点值5.Engineer工程师6.Epi-wafer磊晶片(台);外延片(陆)7.Equipment机台;设备8.ErrorMessage错误讯息9.Etching蚀刻10.Evaporation蒸镀11.Exhaust抽出;抽风管;排(废)气12.ExpandingMachine扩张机13◎.ExposureF开头的单字◎曝光;曝光量1.FAC厂务2.Facility厂务
6、水电气系统3.Film薄膜4.Focus聚焦;焦距5.ForwardCurrent顺向电流6.ForwardVoltage(Vf)顺向电压7.FQC最终检验员8.Furnace炉管◎G开头的单字◎1.Gallium(Ga)镣2.GOR(GeneralOperationRule)厂区操作规则3.◎GroupH开头的单字◎群组1.Handle处理2.HighCurrent高电流3.Highlight强调4.HighVacuum高真空5.HighVoltage高电压6.History歴史7.HMDS界面活性剂8.Hold扣留;暂停9.HoldDate留置日期10.HoldReaso
7、n留置原因11.HoldUser留置者12.HotRun很急件13.HydrochloricAcid(HCL)盐酸14.HydrofluoricAcid(HF)氢氟酸15.◎HydrogenPeroxide(H2O2)双氧水I开头的单字◎1.Idle休息2.Initial初始状态3.Inspection检验4.IPA(lsopropylAcetone)异丙醇5.IPQC制程检验员6.IQC进料检验员7.Item项冃8.IvTestIv测试◎J开头的单字◎1.Job工作2.Job一Name程序名称代号◎K
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