高纯多晶硅洁净生产工艺.ppt

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1、高纯多晶硅洁净生产工艺研发中心王显兰洁净在多晶硅生产中的必要性洁净室的定义3.洁净等级及标准4.洁净室的维护及管理5.洁净室行为规范6.多晶硅生产过程中需注意的洁净问题1.洁净在多晶硅生产中的必要性随着太阳能光伏和半导体产业的发展，对多晶硅纯度的要求越来越高。多晶硅的质量好坏，直接关系到晶体管的合格率，电学性能以及太阳能电池转换效率的高低。提高多晶硅产品质量的措施：1.在生产过程中，搞好工艺卫生。树立“超纯”观念，养成严格的工艺卫生操作习惯（操作环境最好有洁净室）2.提高原料纯度3.强化精馏效果4.氢还原过程的改进5.加

2、强分析手段提高分析灵敏度洁净在工艺生产中的必要性可见杂质对产品多晶硅中微量元素含量的影响（多晶硅中C小于等于2.5E16at/cm3即0.21ppm，TMI小于等于0.05ppm)例1.一滴油按实际理论计算可以污染122.5kg多晶硅（一滴油中含碳量为：0.01035g）2.长1cm，宽0.5mm，厚0.05mm的铁丝按实际理论计算可污染240kg的多晶硅3.一块重0.29g的石墨按实际理论计算可污染1380kg多晶硅4.一根头发大概可以沾污100kg左右的多晶硅以上数据可以表明，可见杂质对多晶硅质量的影响较大。2.洁净

3、室的定义洁净室（cleanroom)又称无尘室或净化间。是指不论室外空气条件如何变化，仍能使室内空气中微尘粒子，有害气体，细菌等污染物排除，并且室内温度，湿度，洁净度，空气压力，气流分布，气流速度，噪声，震动，照明，静电等特性能控制在某一特定需求范围内。因此，洁净室必须具备以下功能：1.能除去空气中漂浮的微尘粒子2.能防止微小粒子的产生3.温度，湿度能控制在一定范围内4.室内空气有一定压力，气流速度及气流分布5.能排除有害气体(废气）6.有除静电防护，防电磁干扰7.有安全，节能措施洁净室工作原理：通过空气处理装置，将空气

4、流送入管道，并通过空气过滤装置，将洁净的空气送入室内，同时通过工艺排风将室内空气送回空气处理装置或室外，循环往复就能达到净化的目的3.洁净室等级及标准1963年美国制定出国际上第一套洁净室标准（美国联邦标准-FS209标准），此后不断修改标准，同时世界上几个主要的国家根据自己的需要，分别制定了自己的洁净标准。现在国际上采用的ISO洁净室等级的划分标准是由全球各国际标准化团体联合会编制的(ISO-14644AirCleanliness).有8个部分组成（洁净室等级的划分，洁净室的测试方法，洁净室的设计与施工，洁净室的运行，

5、定义及单位，微环境与隔离等）。我们重点了解洁净室等级的划分(ISO14664-1AirCleanliness)洁净室等级划分空气洁净等级（N)国际（ISO-14644-1AilCleanliness)洁净室标准美国（FS-209D)标准中国GB50073-2001标准大于或等于表中粒径的最大浓度值

6、（个

7、立方米）Ft为英尺1ft=12英寸1ft=304.8mm1in=25.4mm个

8、立方英尺个

9、立方米0.1um0.2um0.3um0.5um1.0um5.0um以0.5um计ISOClass1十2ISOClass2一百24

10、104ISOClass3一千2371023581ISOClass4一万237010203528310ISOClass5十万2370010200352083229100ISOClass6一百万2370001020003520083202931000ISOClass735200083200293010000ISOClass8352000083200029300100000ISOClass9352000008320000293000洁净度谈到净化厂房的洁净度时，可以举“在太平洋中游弋的一条鱼”的例子来比喻“浮游在空气中的灰尘微

11、粒”，目的是让大家亲身感觉到半导体洁净室方面的那种极其洁净的程度。我们以ISO1级的洁净度为例。1.ISO1级1m3空气中0.1μm粒子＜10个;浮游粒子在空气中的体积比为5.24×1/10（21次方）2.太平洋的面积为16500万km2、平均深度为4282m、体积为70700万km3。如果与ISO1级相同的粒子比例进行换算，70700万km3的5.24×10（-21次方）仅3.7l，3.7l也就大约相当于一条鱼的体积。把一个立方米的空间，等比例放大到象太平洋这样巨大的空间，经过超高效过滤器的过滤，大于3.7升体积的鱼（

12、微粒）全部被过滤掉了；只有比它小的鱼（微粒）还存在“太平洋中游弋的一条鱼”是一种什么样的感觉了吧个行业洁净标准半导体行业（CSMC)个行业洁净标准多晶硅生产由于多晶硅生产目前还处在发展阶段，企业对洁净生产的认识随着太阳能级多晶硅厂商对产品质量的不断提升和行业标准的修订越来越明朗化。例如******硅业（改良西门子法）