光学膜层测试方法.doc

《光学膜层测试方法.doc》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、光学防反射膜层的可靠性验证测试方法1.本方法适用于TOSA/ROSAPLC的ARC镀膜工艺验证。2.引用标准a)MIL—C一675Cb)MIL—E一12397镀膜光学零件试验用浮石一橡皮擦头标准c)CCC—C一440干酪布、漂白布、非漂白布标准d)L—T一90透明胶带和醋酸纤维带标准e)可以使用满足等同或类似以上b),c),d)项的其他标准测试用品。3.测试样品要求a)石英测试片，厚度为1.5毫米，尺寸TBD。b)晶片级硅测试片，厚度大于0.67毫米，尺寸TBD。c)石英测试片用于耐久性试验和耐摩擦强度试验，包括反射率测试。d)硅

2、测试片用于耐久性试验和耐摩擦强度试验，不包括反射率测试。e)两种测试片在进行以上测试前，需要按照确定的TOSA/ROSAPLC芯片的ARC清洁和镀膜工艺进行镀膜加工。4.镀膜层质量要求a)膜层质量：膜层质量应均匀，要符合下述要求状态：i.内在质量——整个膜层应无明显损伤，比如：起层、脱落、裂纹、砂眼。ii.外观质量(光洁度)——光学零件膜层必须无污物、印迹、裂纹、尘粒。除规格允许外，光学膜层不能有污物、印迹、裂纹、尘粒，其它按图纸或规定的资料执行；光学膜层上的疵病，诸如污物、印迹、裂纹、尘粒等，若它们符合下列条件，仍可接收。iii

3、.溅射点和通孔——膜层的溅射点和通孔通常作为麻点考虑，不允许超出规格要求。iv.表面缺陷(擦痕和麻点)——膜层擦痕和麻点的尺寸和质量要求不允许超出规格要求。v.满足附着力要求。vi.满足强度耐摩擦(努氏硬度<450kg／mm2)要求，vii.或满足高强度耐摩擦(努氏硬度>450kg／mm2)要求。b)满足反射要求反射率——镀膜后，其光谱反射率的最低点及规格定义的带宽范围内不超出规定值。5.可靠性验证测试a)耐久性测试i.水煮试验——将零件浸入沸水（100度）24小时后，在空气中放置16小时，再将零件浸入沸水（100度）24小时，其

4、后零件镀膜表面应符合外观质量要求，耐摩擦性应满足5-b)-ii要求，附着力符合要求，反射率满足规格要求。样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。ii.潮湿试验——将零件暴露于温度为48．9℃±2．2℃，相对湿度为95％一100％的环境试验箱中168小时，镀膜表面应符合外观质量要求，反射率满足规格要求。耐摩擦性应满足5-b)-ii要求，附着力符合要求。样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。iii.PCT——将零件置于高压锅内（121度，2个大气压）24小时后，镀膜表面应符合外观质量要求，耐摩擦性应满足5-b)-ii要求，反射率满足

5、规格要求，附着力符合要求。样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。当使用三明治方法镀膜时，则必须进行此项测试；否则此项为选择性测试，用于参考。i.温度循环试验——将零件置于高低温循环试验箱内，循环试验条件为：-40度~85度，温度变化速度大于2度/分钟，高低温停留时间大于30分钟，循环次数为100次，试验后镀膜表面应符合外观质量要求，耐摩擦性应满足5-b)-ii要求，附着力符合要求，反射率足规格要求。样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。b)耐摩擦强度测试i.高强度摩擦——用符合MIL—E一12397要求的摩擦头摩擦镀膜表面，施

6、加于基底材料上的努氏硬度>450kg／mm2，膜层无明显的损伤，如：擦痕、脱膜。样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。此项结果用于参考。ii.中强度摩擦——用符合CCC—C一440标准的干净的、干燥的干酪布板摩擦镀膜表面，施加于基底材料上的努氏硬度<450kg／mm2，膜层无明显的损伤，如：擦痕、脱膜。样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。iii.附着力——使用符合L—T一90标准的透明胶带，把透明胶带紧贴快在膜层上，与膜层近90度角，速撕去透明胶带，膜层无脱膜。样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。iv.十字划痕，胶带测试

7、——使用的工具是5级锋利的刀片。用它在镀膜表面划，要让镜片表面产生很细的划痕。然后再从90°的角度上从第一条划痕开始划，要让镜片表面留下25个正方形的小方块。然后用符合L—T一90标准的透明胶带去黏贴镜片表面，180°角拔开胶带，膜层无脱膜。样品数量为石英测试片3片，硅测试片3片。c)组合测试i.温湿度循环/十字划痕试验——把依据7-d)要求制作的十字交叉划痕的镀膜测试片放在温湿度试验箱内，保持湿度在95%，温度65°C，持续8个小时的，然后取出镜片检查是否有龟裂，脱层。然后用符合L—T一90标准的透明胶带去黏贴十字交叉划过的区域

8、，180°角拔开胶带，总共连续黏贴3次，膜层无脱膜。样品数量为石英测试片3片，硅测试片3片。当使用三明治方法镀膜时，则必须进行此项测试；否则此项为选择性测试，用于参考。