薄膜材料与技术-1.ppt

《薄膜材料与技术-1.ppt》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、薄膜材料与技术（1）李美成2008秋季学期1教材参考书《电子薄膜材料》，曲喜新等编著，科学出版社，1997年11月《薄膜科学与技术手册》，田民波、刘德令编著，机械工业出版社，1991年《薄膜技术》，王力衡、黄运添、郑海涛著，清华大学出版社，1991年《薄膜材料与薄膜技术》，郑伟涛等编著，化学工业出版社，2004年《薄膜物理学》，L.埃克托瓦，科学出版社，1986年ElectronicThinFilmScience，MacmillanPublishingCompany，1992AnIntroductiontoPhysicsandTechnologyofTh

2、inFilms，WorldScientificPublishingCompany，1994HandbookofThinFilmDepositionProcessesandTechniques:Principles,Methods,EquipmentandApplications,NoyesPublications,ParkRidge,NewJersey,U.S.A.,1988NanoscalePhenomenainFerroelectricThinfilms,KluwerAcademicPublishers,20042中文期刊中国科学科学通报半导体学报红外

3、与激光工程功能材料功能材料与器件学报红外与毫米波学报激光与红外半导体光电稀有金属材料与工程3英文期刊ThinSolidFilmsSurfaceScienceSurfaceandCoatingsTechnologyAppliedSurfaceScienceAdvancedMaterialsJournalofVacuumScienceandTechnology,B:SurfaceandfilmsJournalofElectronicMaterialsMaterialsChemistryandPhysicsNature4学习目的和基本要求掌握真空及薄膜的物理基础

4、，对真空、气体放电、离子溅射、薄膜生长等有较深入的了解；掌握真空蒸镀、磁控溅射、化学气相沉积、分子束外延基本工艺，对薄膜技术有全面了解；重点了解几种薄膜材料，对各种类型薄膜材料的制备、结构、性能及应用有系统的了解。能够使用薄膜材料的设备，分析多种类型薄膜的性能，并具备制备新材料的能力。5课程简介自上世纪七十年代以来，薄膜技术与薄膜材料得到突飞猛进的发展，无论在学术上还是在实际应用中都取得了丰硕的成果，并已成为当代真空科学与技术和材料科学中最活跃的研究领域，在高新技术产业中具有举足轻重的作用。薄膜技术、薄膜材料、表面科学相结合推动了薄膜产品全方位的开发与应用

5、。本课程包括真空及薄膜的物理基础、薄膜工艺及薄膜材料等三部分主要内容。6第一章绪论7第二章真空技术基础2.1真空的基本知识2.2稀薄气体的基本性质2.3真空的获得2.4真空的测量2.5实用真空系统8第三章气体放电和低温等离子体3.1低温等离子体3.2低气压气体放电3.3气体的激发和电离3.4气体放电的基本特点3.5辉光放电的特性3.6弧光放电的特性9第四章真空蒸发镀膜法4.1真空蒸发原理4.2蒸发源的蒸发特性及膜厚分布4.3蒸发源的类型4.4合金及化合物的蒸发4.5膜厚和沉积速率的测量与监控10第五章溅射镀膜法5.1溅射镀膜的特点5.2溅射的基本原理5.3

6、溅射镀膜的类型5.4溅射镀膜的膜厚均匀性11第六章离子镀膜法6.1离子镀原理6.2离子镀的特点6.3离子轰击的作用6.4离子镀的类型12第七章化学气相沉积7.1化学气相沉积的基本原理7.2化学气相沉积的特点7.3CVD方法简介7.4低压化学气相沉积7.5等离子体化学气相沉积7.6金属有机化学气相沉积13第八章分子束外延法8.1分子束外延简介8.2分子束外延生长的特点8.3分子束外延的装置8.4分子束外延的原理和方法8.5分子束外延生长的应用14第九章薄膜形成过程与生长模式9.1薄膜的凝结过程9.2核形成与生长9.3薄膜的形成过程和生长模式9.4溅射薄膜的形

7、成过程9.5薄膜的外延生长9.6薄膜形成过程的计算机模拟15第10章薄膜的结构与缺陷10.1薄膜的结构10.2薄膜的缺陷10.3薄膜结构与组分的分析方法16第11章薄膜表面原子结构和电子结构11.1单晶表面的原子结构11.2单晶表面的电子结构11.3表面态和表面空间电荷层11.4表面位垒和电子亲和势11.5表面吸附对电子结构的影响17第12章薄膜材料及其特征12.1薄膜材料的基本特点12.2薄膜材料的结构特征及分析方法12.3薄膜材料的制备技术12.4薄膜材料的性能特征及测试技术12.5薄膜材料的应用18第13章薄膜测试技术13.1薄膜厚度控制与测量13.

8、2薄膜材料的组分表征及分析方法13.3薄膜材料的结构表征及分析方法