薄膜材料与薄膜技术,pdf

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1、为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划薄膜材料与薄膜技术,pdf　　《薄膜材料与薄膜技术》课程教学大纲　　一、《材料制备技术》课程说明　　课程代码：　　课程英文名称：ThinFilmMaterialsandThinfilmTechnology开课对象：物理系材料物理专业课程性质：　　本课程是材料物理专业的一门专业选修课。教学目的　　本课程主要介绍薄膜材料的制备及特性。通过学习既可以掌握一些薄膜物理的基本知识，同时也能了解该领域内当前的一些前沿研究进展，开阔眼界，这些都有利于学生将来更好的投入科研工作中去。　

2、　教学内容：　　本课程主要论述薄膜的制造技术与薄膜物理的基础内容。其中系统介绍了各种成膜技术的基本原理与方法，包括蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、化学气相沉积、溶液制膜技术以及膜厚的测量与监控等。同时介绍了薄膜的形成，薄膜的结构与缺陷，薄膜的电学性质、力学性质、半导体特性、磁学性质以及超导性质等。　　学时数、学分数及学时数具体分配学时数：36学分数：2目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计

3、划　　教学方式：课堂教学　　考核方式和成绩记载说明：　　考核方式为考试。严格考核学生出勤情况，达到学籍管理规定的旷课量取消考试资格，综合成绩根据出勤情况、平时成绩和期末成绩评定，出勤情况占20％，平时成绩占20％，期末成绩占60％。　　二、讲授大纲与各章的基本要求　　第一章真空技术基础　　教学要点：　　通过本章的教学使学生初步了解真空的基本知识，掌握获取一定程度的真空状态的方法及测量手段。　　教学时数：4教学内容：　　第一节：真空的基本知识第二节：稀薄气体的基本性质第三节：真空的获得第四节：真空的测量考核要求：　　1．真空的基本知识2．稀薄气体的基本性质3．真空的获得4．真空的测

4、量　　第二章真空蒸发镀膜法　　教学要点：　　了解真空蒸发镀膜的基本原理，了解蒸发特性以及相应的膜厚分布特点，了解膜厚和沉积速率的测量与监控方法。教学时数：4教学内容：　　第一节：真空蒸发原理目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划　　第二节：蒸发源的蒸发特性及膜厚分布第三节：蒸发源的类型　　第四节：合金及化合物的蒸发　　第五节：膜厚和沉积速率的测量与监控　　考核要求：　　1．真空蒸发基

5、本原理　　2．蒸发源的特性及膜厚分布3．蒸发源的类型　　4．膜厚和沉积速率的测量与监控5．合金及化合物的蒸发　　第三章溅射镀膜　　教学要点：　　了解溅射法制备纳米薄膜的基本原理，掌握溅射法制备的特点，熟悉溅射镀膜的几种基本类型，了解溅射镀膜的厚度分布特点，明确如何控制厚度均匀性指标。教学时数：4教学内容：　　第一节：溅射镀膜的特点　　第二节：溅射的基本原理第三节：溅射镀膜类型　　第四节：溅射镀膜的厚度均匀性考核要求：　　2．溅射的基本原理3．溅射镀膜类型　　4．溅射镀膜的厚度均匀性　　第四章离子镀膜　　教学要点：目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的

6、巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划　　介绍离子镀的原理和基本特点，了解离子镀的几种基本类型。教学时数：2教学内容：　　第一节：离子镀原理第二节：离子镀的特点第三节：离子轰击的作用第四节：离子镀的类型考核要求：　　1．离子镀原理　　2．离子镀的特点和离子轰击的作用3．离子镀的类型　　第五章化学气相沉积　　教学要点：　　系统介绍化学气相沉积法制备纳米薄膜的基本原理和基本特点，介绍几种常见的化学气相沉积方法。教学时数：4教学内容：　　第一节：化学气相沉

7、积的基本原理第二节：化学气相沉积的特点第三节：CVD方法简介　　第四节：低压化学气相沉积第五节：等离子体化学气相沉积第六节：其他化学气相沉积法考核要求：　　1．化学气相沉积的基本原理2．化学气相沉积的特点　　3．几种常见的化学气相沉积方法　　第六章溶液镀膜法　　教学要点：　　介绍溶液镀膜法的基本原理和特点，介绍几种溶液镀膜的方法。教学时数：4教学内容：目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了