半导体照明综合标准化技术体系标准明细表——制定中的标准

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1、子体系01：材料和设备总序号子序号体系编号标准代号和编号标准名称采用的或相应的国际、国外标准号标准状态标准类型备注0101材料010101原材料1I10^010101用子级三甲基镣I立项公示产品标准国标010102衬底材料220,01020220’10055-T-469宝石单晶衬底抛光片规范制定中产品标准国标33(T01020320’10056-T-469宝石单晶晶锭制定中产品标准国标440,01020420(J9-2768T-SJ宝石单晶抛光片规范制定中产品标准行标550,01020520’10057-T-469宝石晶锭应力测试方法制定中方法标准国标660,0

2、102062CT10739-T-469宝石衬底片翘曲度测试方法制定中方法标准国标770,0102072CT10740-T-469-宝石衬底片弯曲度测试方法制定中方法标准国标88(T0102082(?10054-T-469-宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法制定中方法标准国标990,010209宝石位错密度测量方法立项公示方法标准国标10100,01021020’10061-T-469化硅单晶抛光片制定中产品标准国标11110,01021120(J9-2773T-SJ化硅单晶抛光片规范制定中产品标准国标12120,01021220(J9-2752T-SJ:化硅抛光晶

3、片表面质量测试方法制定中方法标准行标1313(T01021320(J9-2770T-SJ:化硅单晶电学性能的测试方法制定中方法标准行标14140；02022420()9-2771T-SJ二化硅单晶晶向的测试方法制定中方法标准行标15150；02022520(J9-2772T-SJ化硅单晶晶型的测试方法制定中方法标准行标16160；02022620(J9-2776T-SJ化硅抛光片表面粗糙度的测试方法制定中方法标准行标17仃02020227>0092225-T-469碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法制定中方法标准国标18180；02022820(J92226-

4、T-469:化硅单晶片微管道密度测试方法制定中方法标准国标19190；02022920()92222-T-469SC晶片直径测试方法制定中方法标准国标20200202022020220062-T-469碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法制定中方法标准国标21210；020222:化硅单晶片平整度测试方法立项公示方法标准国标22220z02022220；>20047-T-469LED外延芯片用磷化镣衬底规范制定中产品标准国标232301010223：>0220048-T-469LED外延芯片用砂化镣衬底规范制定中产品标准国标242401010224：>009-2

5、756T-SJ低位错密度磷化锢抛光片腐蚀坑密度(EPD)的测试方法SEMIM37-0699制定中方法标准行标252501010225：>009-2757T-SJ低位错密度碑化镣抛光片腐蚀坑密度的测量方法制定中方法标准行标010103发光材料262601010308LED用稀土氮化物红色荧光粉制定中产品标准国标272701010309LED用稀土硅酸盐荧光粉制定中产品标准国标282801010310LED灯用稀土黄色荧光粉制定中产品标准国标292901010311LED用稀土硅酸盐荧光粉试验方法第1部分：相对亮度的测定制定中方法标准国标303001010312'L

6、ED用稀土硅酸盐荧光粉试验方法第2部分：光谱性能的测定制定中方法标准国标313101010313LED用稀土硅酸盐荧光粉试验方法第3部分：色品坐标的测定制定中方法标准国标323201010314'LED用稀土硅酸盐荧光粉试验方法第4部分：热稳定性的测定制定中方法标准国标010106其他材料333301010601高亮度LED用电路板立项公示产品标准国标343401010602高亮度LED用电路板试验方法立项公示方法标准国标0102设备010200设备通用标准353501020001>010-3099T-SJ半导体设备生产能力的定义和测量制定中基础标准行标3636

7、01020002：>010-3114T-SJ设备培训最优方法指南制定中基础标准行标373701020003：>0100112-T-469半导体生产设施电磁兼容性要求制定中基础标准国标383801020004；>0100113-T-469半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则制定中基础标准国标010201工艺设备393901020101:>010-3113T-SJ喷雾式涂布设备通用规范制定中产品标准行标404001020102：>010-3118T-SJ自动砂轮划片机制定中产品标准行标子体系02：芯片和器件总序号子序号体系编号标准代号和编号标准名称采

8、用的或相应的国际、国外标