半导体实用工艺及芯片制造技术问题问题详解(全)

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1、实用标准文档常用术语翻译activeregion有源区2.activecomponent有源器件3.Anneal退火4.atmosphericpressureCVD(APCVD)常压化学气相淀积5.BEOL（生产线）后端工序6.BiCMOS双极CMOS7.bondingwire焊线，引线8.BPSG硼磷硅玻璃9.channellength沟道长度10.chemicalvapordeposition(CVD)化学气相淀积11.chemicalmechanicalplanarization(CMP)化学机械平坦

2、化12.damascene大马士革工艺13.deposition淀积14.diffusion扩散15.dopantconcentration掺杂浓度16.dryoxidation干法氧化17.epitaxiallayer外延层18.etchrate刻蚀速率19.fabrication制造20.gateoxide栅氧化硅21.ICreliability集成电路可靠性文案大全实用标准文档22.interlayerdielectric层间介质（ILD）23.ionimplanter离子注入机24.magnetro

3、nsputtering磁控溅射25.metalorganicCVD(MOCVD)金属有机化学气相淀积26.pcboard印刷电路板27.plasmaenhancedCVD(PECVD)等离子体增强CVD28.polish抛光29.RFsputtering射频溅射30.silicononinsulator绝缘体上硅（SOI）第一章半导体产业介绍1.什么叫集成电路？写出集成电路发展的五个时代及晶体管的数量？(15分)集成电路：将多个电子元件集成在一块衬底上，完成一定的电路或系统功能。集成电路芯片/元件数产业周期

4、无集成11960年前小规模(SSI)2到5020世纪60年代前期中规模(MSI)50到500020世纪60年代到70年代前期大规模(LSI)5000到10万20世纪70年代前期到后期超大规模(VLSI)10万到100万20世纪70年代后期到80年代后期甚大规模(ULSI)大于100万20世纪90年代后期到现在2.写出IC制造的５个步骤？(15分)文案大全实用标准文档Waferpreparation(硅片准备)Waferfabrication(硅片制造)Wafertest/sort(硅片测试和拣选)Assem

5、blyandpackaging(装配和封装)Finaltest(终测)3.写出半导体产业发展方向？什么是摩尔定律？(15分)发展方向：提高芯片性能——提升速度(关键尺寸降低,集成度提高,研发采用新材料)，降低功耗。提高芯片可靠性——严格控制污染。降低成本——线宽降低、晶片直径增加。摩尔定律指：IC的集成度将每隔一年翻一番。1975年被修改为：IC的集成度将每隔一年半翻一番。4.什么是特征尺寸CD？(10分)最小特征尺寸，称为关键尺寸（CriticalDimension，CD）CD常用于衡量工艺难易的标志。5

6、.什么是Moremoore定律和MorethanMoore定律？(10分)“MoreMoore”指的是芯片特征尺寸的不断缩小。从几何学角度指的是为了提高密度、性能和可靠性在晶圆水平和垂直方向上的特征尺寸的继续缩小。与此关联的3D结构改善等非几何学工艺技术和新材料的运用来影响晶圆的电性能。“MoreThanMoore”指的是用各种方法给最终用户提供附加价值，不一定要缩小特征尺寸如从系统组件级向3D集成或精确的封装级(SiP)或芯片级(SoC)转移。6.名词解释：high-k;low-k;Fabless;Fab

7、lite;IDM;Foundry;Chipless(20分)high-k：高介电常数。low-k：低介电常数。Fabless：IC设计公司，只设计不生产。Fablite：轻晶片厂，有少量晶圆制造厂的IC公司。IDM：集成器件制造商(IDM-IntegratedDeviceManufactoryCo.)，从晶圆之设计、制造到以自有品牌行销全球皆一手包办。Foundry：标准工艺加工厂或称专业代工厂商。Chipless：既不生产也不设计芯片，而是设计IP内核，授权给半导体公司使用。7.例举出半导体产业的8种不同

8、职业并简要描述.(15分)1.硅片制造技师：负责操作硅片制造设备。一些设备维护以及工艺和设备的基本故障查询。2.设备技师：查询故障并维护先进设备系统，保证在硅片制造过程中设备能正确运行。文案大全实用标准文档3.设备工程师：从事确定设备设计参数和优化硅片生产的设备性能。4.工艺工程师：分析制造工艺和设备的性能以确定优化参数设置。5.实验室技师：从事开发实验室工作，建立并进行试验。6：成品率/失效分析技师：从事与缺陷