《芯片制造－半导体工艺制程实用教程》学习笔记

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1、电子胶水学习指南：http://www.g4e.cn电子胶水论坛：http://www.r4e.cn中国胶水网：http://www.a4e.cn《芯片制造－半导体工艺制程实用教程》学习笔记整理：Anndi来源：电子胶水学习指南（www.g4e.cn）本人主要从事IC封装化学材料（电子胶水）工作，为更好的理解IC封装产业的动态和技术，自学了《芯片制造－半导体工艺制程实用教程》，貌似一本不错的教材，在此总结出一些个人的学习笔记和大家分享。此笔记原发在本人的“电子胶水学习指南”博客中，有兴趣的朋友可以前去查看一起探讨之！前言及序言

2、（点击链接查看之）-----------------------------------1第1章半导体工业-----------------------------------------2—3第2章半导体材料和工艺化学品---------------------------4—5第3章晶圆制备-----------------------------------------------6第4章芯片制造概述---------------------------------------7—8第5章污染控制------------

3、-------------------------------9—10第6章工艺良品率----------------------------------------11—12第7章氧化-----------------------------------------------13—14第8章基本光刻工艺流程—从表面准备到曝光------------15—17第9章基本光刻工艺流程—从曝光到最终检验------------18—20第10章高级光刻工艺-------------------------------------

4、21—23第11章掺杂----------------------------------------------24—26第12章淀积----------------------------------------------27—29第13章金属淀积-----------------------------------------30—31第14章工艺和器件评估----------------------------------32—33第15章晶圆加工中的商务因素---------------------------34

5、—35第16章半导体器件和集成电路的形成-------------------------36第17章集成电路的类型----------------------------------37—38第18章封装----------------------------------------------39—41个人感慨----------------------------------------------------------411/41电子胶水学习指南：http://www.g4e.cn电子胶水论坛：http://www.

6、r4e.cn中国胶水网：http://www.a4e.cn第一章半导体工业1、电子数字集成器和计算器（ENIAC）18000个真空三极管，70000个电阻，10000个电容，6000个开关，耗电150000W，成本约400000美元重30吨，占地140平方米宾夕法尼亚的摩尔工程学院于1947年进行公开演示；2、晶体管（transistor）－传输电阻器。JohnBardeen,WalterBrattin,WilliamShockley共同荣获1956年诺贝尔物理奖；3、每个芯片中只含有一个器件的器件称为分立器件（晶体管、二极管

7、、电容器、电阻器）4、集成电路（integratedcircuit）平面技术（planartechnology）Kilby&Noyce共同享有集成电路的专利；5、集成电路中器件的尺寸（特征图形尺寸－微米）和数量时IC发展的两个共同标志。集成度水平（integrationlevel）的范围：小规模集成电路SSI2－50（单位芯片内的器件数）芯片边长约为100mils中规模集成电路MSI50－5000（单位芯片内的器件数）大规模集成电路LSI5000－100000（单位芯片内的器件数）特大规模集成电路VLSI100000－1000

8、000（单位芯片内的器件数）超大规模集成电路ULSI>1000000（单位芯片内的器件数）芯片每边长约为500mils储存器电路由其存储比特的数量来衡量；逻辑电路的规模经常用栅极的数量来评价；6、1960年1英寸直径晶圆；8英寸（约200毫米）12英寸（约300毫米）1英寸=