报表相关培训

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1、报表培训Date:2009.8.18主要内容1.报表几个重要指标介绍2.设备相关报表3.批次相关报表4.FAB相关报表1.报表几个重要指标WIP:waferinprocess定义:在制程中的晶片意义:可以了解各区域各站在任何时刻以及前一段时间内正在run、被hold住、待run等状态的晶片的数量和整体生产状况。相关名词：HWIPHoldWIP被hold住的WIPBWIPBankWIP被暂停生产并存放的WIPCWIPCumulativeWIP累计的WIPPWIPPre-hourWIP前一小时报表的WIPRWIPRun

2、WIP正在生产中的WIPQWIPQueueWIP在某站待run的WIPMOVEMOVE:Movement定义:统计时间段内出货的合格晶片数量意义:由晶片出货量可知各区域各机台在统计时间段内的出货状况例如:8月19日9：30E1报表中(ADMCI01)机台的MOVE为106，这说明从当天早上7:30到9:30这段时间中经过该机台的合格晶片数量为106片。T/R:TurnRatio定义：统计时间段内出货数量与制程中晶片数量的比例(MOVE/WIP=T/R其中WIP=(EOH+BOH)/2)意义:由T/R可知统计时间段内

3、run货的快慢和效率T/R(周转率)例如：8月21日早上7:30的E4报表中Diff区DMOS-GATE-OXIDE机台MOVE量为56当前的EOH为25，BOH为31，T/R=56/[(25+31)/2]=2.0T/R(周转率)CTIME：cycletime生产周期反映该对象生产周期的长短QTIME:QUERETIME批次等待时间RTIME:RUNTIME批次运行时间HTIME:HOLDTIME批次被HOLD住的时间BTIME:BANKTIME批次进BANK的时间CTIME(周期)Htime=所有release时

4、间-hold时间的和-banktimeRtime=每个step的moveout时间-movein时间的和Btime=所有的bankout时间-bankin时间的和Qtime=TotalTime-Rtime-HtimeTotalTime=complete时间-create时间TIME(周期)WPH:WAFERPERHOUR定义:机台在统计时间段内的小时平均产出晶片量意义:反映统计时间段内实际生产速度和数量范例:9月7日9:30ADFSC01机台的MOVE为125片，这2小时的平均小时产能WPH为63，PEAKWPH为

5、86,则EFF为63／86＝73％WPH定义:根据目前生产情况估算的日产量意义:由FCST可以得知按实际生产状态是否可以达到目标生产量相关名词:TGT---TargetMove目标产量Target是由IE计算每日应该达到的MOVE量，由IE来修改data范例:1月6日15：30时的报表MOVE量为800片，TGT为2500片，FCST为800/8小时*24小时=2400片则说明按现在的生产速度到1月7日的7：30，生产量不能达到计划的产量FCST(预估晶片出货量)