石英玻璃在光刻技术中的应用

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1、实验与研究绝热材料最高使用温度检验方法的研究TestMetllodonMa】【im啪seⅣicetempera由lreforTh∞malinsulatingmateri“郁佳胤(上海建科检验有限公司。上海201108)摘要：本文研究了最高使用温度的几种检验方法，通过热面特性试验、热荷重试验、加热永久线变化试验分别测试了岩棉板和玻璃棉毡类绝热材料的最高使用温度，对三种测试结果进行了分析和对比，其热面特性评价方法更接近于绝热材料实际使用环境。可有效评价绝热材料最高使用温度。关键词：绝热材料；最高使用温度；热面特

2、性；热荷重；加热永久线变化Sur咖ary：Thjsarticlestudiessometestmethodsonthema】(im岫seⅣicetempencIlre，test出em瘟mumseⅣicetemperacureoftllerockwoolboardand—asswoolblanketinsulationmaterialsbvHot—Su而cePerf-0肌ance。heatshrinkagetemperanlreunderload、Determinationofpenllanentlinear

3、changeonhea七ing．An如isandcompareon七hesethreetestresul怯，Hot—su以cePerfomlanceevaluation，w11ichisclosertotheactualthem“insuladngmacerialusingen、，ironmenc，canevaluacethema)(imumservicetenlperatureforThennalInsulatingmaterialefrectively．Keywords：Thermalinsulatin

4、gmaterial；MaXimumservicecemperature；Hot—SurfacePerfomance；heatshrinkagetempenttlreunderload；Detemlinationofpe肌a11enthnearchaIlgeonheating中图分类号：TB34文献标识码：A文章编号：1003—8965(2012)05一0059一041引言节能已成为世界关注的问题。绝热保温材料是节能措施的重要保证，其主要分为有机类、无机类和有机与无机复合类，品种主要包括聚苯乙烯泡沫板、硬质聚

5、氨酯制品、矿物棉、膨胀珍珠岩制品、膨胀蛭石制品、泡沫玻璃、硅酸钙制品、复合硅酸盐制品等。这些产品大多是由有机胶粘剂粘结而成，在高温情况下易发生老化，所以对绝热材料最高使用温度的评估显得尤为重要。在GB爪132—1996《绝热材料及相关术语>⋯中，最高使用温度(maximumservicetemperature)的定义：在保证正常使用的条件下，材料所能承受的最高温度。由于最高使用温度受到材料成分、厚度、使用环境、温度梯度及高温理化性能等多项因素影响，国际上目前还没有一种统一的试验方法适用于所有类型绝热材料的最

6、高使用温度测试。本研究尝试设计一种绝热材料最高使用温度检验设备及方法，以应用于多种绝热材料的检测。2绝热材料最高使用温度检验方法简介国家建材局标准化研究所李金平曾在<绝热材料最高使用温度测定方法及存在问题》坦1文中将最高使用温度试验方法分成3类：1)根据热荷重厚度收缩率确定最高使用温度；2)根据线收缩率确定最高使用温度；3)根据抗压强度收缩率确定最高使用温度。借鉴于国外发达国家及组织的绝热材料最高使用温度测试标准，笔者将最高使用温度试验方法的分类方式归纳为以下三种。按照绝热材料实际使用形式可分成板(块)状或

7、管状测试方法；按照加热方式可以分为单面加热和均匀加热；按照测试方法原理又可以分为热荷重收缩温度试验方法、匀温灼烧方法、热表面特性实验方法。其中热表面特性方法是模拟绝热材料实际应用情况，即其热表面温度接近最高使用温度，冷表面在室温附近(不超过900

8、C)，并持续96h时间，观察试验期间材料的变化和出现的现象，从而确定材料的最高使用温度，表1列出了几种基于此原理的几种具体测试方法。3设备及装置设备主要包括马弗炉、热荷重收缩测试仪、WRT一900热面特性试验仪、烘箱、导热系数测试仪、游标卡尺等。其WRT一900热

9、面特性试验仪是依据热表面特性原理进行设计，符合标准GB厂r17430—1998盯1的要求。其炉体结构图如图1所示，加热装置、硅碳棒支架及支撑杆由同质耐热不锈钢制成，确保了金属材料的热膨胀系数一致，减少其在高温下的变形。其加热功率由可控硅供给。加热装置电偶讯号由计算机系统定时采集，并与给定(预定)值比较，确定并调节可控硅控制讯号，改变硅碳棒加热管的加热功率。实验与研夯4．1实验材料采用编号为BWll—007—1、B