工业洁净室风淋系统测量方法研究

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1、2010年8月宇航计测技术Aug．，2010第30卷第4期JournalofAstronauticMetrologyandMeasurementV01．30，No．4文章缩号：1000—7202(2010)04—0066—04rpltll分类号：x964文献标识码：A工业洁净室风淋系统测量方法研究季启政顾世红王慧(北京东方计量测试研究所，北京100086)摘要简要介绍了工业洁净室常用风淋系统的原理及其应用，分析了影响风淋系统净化效果的几种因素，给出了工业洁净室常用风淋系统的具体计量检测方法。关键词空气吹淋室风速噪声洁净度测量方法ResearchontheMeasur

2、ementMethodsoftheAirShowerSystemintheIndustrialCleanRoomJIQi-zhengGUShi-hongWANGHui(BeijingOrientInstituteofMeasurement＆TestChineseAcademyofSpaceTechnology，Beijing100086)AbstractThetheoryoftheairshowersysteminindustrialcleanloomanditsapplicationsaredescribedbriefly．Theseveralfactorsimp

3、actingonpurifyingeffectoftheairshowersystemareanalyzed．Themeasurementmethodsoftheairshowersystemintheindustrialcleanroomaregiven．KeywordsAirshowerWindvelocityNoiseCleanlinessMeasurementmethod1引言洁净的生产环境是生产工艺的需要，是确保产品成品率和产品质量可靠性、长寿命的重要条件。工业洁净室便是专门提供洁净环境的专业实验室。随着我国基础工业的不断发展，各行业对生产环境的要求越来越

4、高，尤其是洁净环境，已经成为影响基础工业发展的重要因素之一。风淋系统是设置在工业洁净室洁净区与非洁净区的通道，主要对由非洁净区进入洁净区的人员或货物进行除尘净化，并对非洁净区和洁净区进行气闸隔离，从而减小外界因素污染洁净室可能性。对于已建成的工业洁净室，若其通风过滤系统工作正常，那么人员或货物带人或产生的灰尘即是影响洁净室洁净效果的主要因素⋯，约占粒子来源总数的93％，其中人员或货物携带的灰尘约占60％，表1给出了工业洁净室粒子来源的分析。风淋系统最大作用就是通过吹淋进入洁净室的人员或货物来清除其所携带的灰尘，并隔断非洁净区的灰尘泄漏。因此，风淋系统的质量直接影响着

5、洁净室的净化效果。然而，到目前为止，还没有针对工业洁净室风淋系统的具体检测方法。本文根据对风淋系统净化性能的研究成果，提出了风淋系统计量检测的方法。收麓日期：20∞一10-21；修回日期：2009—12—04作者篱介：季启政(1979一)，男，工程师，硕士，主要从事：电磁计量测试技术和技术安全与环境条件测试技术研究。第4期工业洁净室风淋系统测量方法研究·67·表1工业洁净室粒子来源分析3风淋系统的技术要求及计量方法2风淋系统介绍2．1工作原理风淋系统通常由风机、过滤器、箱体以及电器控制部分组成，其结构示意如图l所示。环境空气经过初效过滤器，由风机压入静压箱，再经过高

6、效过滤器过滤后从喷淋口吹出高速洁净气流，洁净气流以高速均匀的风速喷射到人员或货物表面，有效而迅速地清除人员或货物从非洁净区所携带的尘埃粒子，再经由初、高效过滤器过滤后重新循环到风淋区域内，从而形成内部循环。圈I风淋系统结构示意图计时器(b)内壁2．2分类与使用工业洁净室风淋系统的分类方式有多种旧J。本文根据控制方式的不同将风淋系统分为手动控制风淋、自动联锁感应风淋以及自动门风淋。使用经过可描述为人员或货物进入风淋室，待前后门关闭后，开始吹淋，待吹淋一定时间后，停止吹淋。其中手动控制风淋可以人为选择是否吹淋，而自动联锁感应风淋和自动门风淋为强制风淋，人员或货物进入风淋

7、问必须经过风淋后才能出去。另外，还有一种风淋隧道，工作时间启动后便不再需要控制，始终处于风淋状态，直到工作结束才停止。对于强制风淋系统，使用比较频繁时，通常在风淋室旁单独设置隔离室，用于人员或货物离开洁净室。风淋系统最关注的就是净化性能，而影响风淋系统净化性能最重要因素就是风速、静压差和洁净度，粘尘垫初粘力也对风淋系统净化性能具有一定影响。另外，诸如联锁功能、自动感应以及自动计时等控制功能将直接影响着风淋系统的正常运行，噪声、照度等环境因素也是风淋系统使用者非常关注的方面。本文将对上述各方面的测量必要性及相应测量方法进行研究。3．1净化性能3．1．1风速风淋系统