13-半导体晶圆厂实时派工系统的设计与实现

《13-半导体晶圆厂实时派工系统的设计与实现》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、论文题目半导体晶圆厂实时派工系统的设计与实现专业学位类别工程硕士学号201052301004作者姓名刘昆奇指导教师廖建明教授分类号密级注1UDC学位论文半导体晶圆厂实派工系统的设计与实现（题名和副题名）刘昆奇（作者姓名）指导教师廖建明教授电子科技大学成都邬瑞彬项目经理TI成都成都（姓名、职称、单位名称）申请学位级别硕士专业学位类别工程硕士工程领域名称软件工程提交论文日期2015.03论文答辩日期2015.05学位授予单位和日期电子科技大学2015年06月答辩委员会主席评阅人注1：注明《国际十进分类法UDC》的类号。WAFERFABREAL-TIMEDISPATCHING

2、SYSTEMDESIGNANDIMPLEMENTATIONAMasterThesisSubmittedtoUniversityofElectronicScienceandTechnologyofChinaMajor:MasterofEngineeringAuthor:LiuKunQiAdvisor:LiaoJianMingSchool:SchoolofInformationandSoftwareEngineering独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表

3、或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。作者签名：日期：年月日论文使用授权本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后应遵守此规定）作者签名：导师签名：日期：年月日摘要摘要最近几年半导体产业在中国迅猛发

4、展，其生产规模不断地扩大，制造工艺也日益复杂。半导体市场以其技术含量高、制造工艺精细、原本材料成本高、信息交流速度快，产品生产周期短的特征，使其竞争相当激烈。由于半导体制造流程复杂和专业性很强，所以半导体制造环境迫切需要能够快速响应生产线实际状态的调度方法，参考蚂蚁生态系统中个体蚂蚁间接通讯实现群体优化的特征，将若干生产因素切割成独立信息素，再根据半导体制造生产线的机台设备特性，给出了模仿信息素机制的半导体晶圆厂生产线动态派工规则。该规则同时考虑了批加工机台设备和非批加工机台设备的工件动态派工，具有能够改善整条半导体制造生产线的能力。半导体晶圆制造系统是非常典型的大规模

5、复杂重入型制造系统。要解决全局生产调度优化及并且兼顾各区派工优化的实际问题，就需要整合具时变特征的多目标生产调度方法及区域派工策略，从而建立起来一个高效率的时变多目标的生产控制体系。从我国当前半导体晶圆制造企业实际的生产调度的角度出发，以典型的瓶颈区域光刻机台为例，根据系统仿真方法以及模糊控制理论，为在区域内运行实时派工和兼顾全局生产调度优化的类似复杂的问题提供了很好解决方法。该派工方法是除了在求解速度和优化质量二者之间取得平衡外，很好的实现了全局以及兼顾部分重要区域优化的效果，为实现科学生产控制、调度与派工提供了有效的策略和方法。根据实际生产线模型的仿真结果表明，与生

6、产线上当前使用的调度规则相比，该动态派工规则能够更好的帮组我们改善半导体生产线性能，获得较高的产量和准时交货率，以及较低的生产周期。本文在充分了解及分析国内外半导体及实时派工系统的发展状况，提出了一套实时派工系统系统整合的方案和并测试运行，希望能够有效地指导工厂的生产控制，同时提高了工厂及时生产能力、改善了物料的流通，提高生产效率，以适应公司发展的需要。关键词：半导体制造，生产执行系统，控制理论与控制工程；实时派工；批加工，信息整合IABSTRACTABSTRACTRecentyears,withtherapiddevelopmentinsemiconductorind

7、ustry,itsproductionscaleiscontinuallyexpanding,increasinglycomplexmanufacturingprocess.Semiconductormarketwithitshightechnicalcontent,fineworkmanship,originalmaterialcostishigh,theexchangeofinformationspeed,shortproductioncycle,thecharacteristicsofthecompetitionisfierce.D