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1、消除应用在高精度测量设备中的轴承、支承和导轨的大部分误差。这是由于主动轴承和支撑拥有几个自由度，在预定的励磁区屮有一个或两个连接件是由piezoactive材料做成的。在这些设备中径向和轴向的间隙以及死区等传统的错误都被最大程度的降低。主动轴承的示意图如图20.85(a)所示，在这里轴向电极数n和径向电极数m为n=m=3o主动轴承用于精密部件表而和伦廓测量系统来扫描表而。高精度球轴承的外环课差评价就是这样的一个例子。在这旋转部件的轮廓和表面的同步测量都被认可了。这可能是由于压电变频器(图20.85(b))和分布在止常和
2、切向分量振幅区域之间的具冇相同模式的振幅分布和和位振荡的部件有联系。因为没有外力，很明显由扭矩引起的产生在接触区的误差是可以忽略不计的。参考文献1.Cady,W.G.,Piezoelectricity,DoverPublications^Newbrk,1964.2.Volkov,V,SomeTheoreticalProblemsinModernTechniquesofDiagnosticsinMechanicalSystems,inProc.Int.AMSEConf.SystemsAnalysis,Controlan
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5、ehaS.,ToniikawaY.,UltrasonicMotors,TheoryandApplicatioriyOxfordSciencePublications,OxfordPress,Oxford,1993,298.20.4液压和气动执行机构MassimoSorliandStefanoPastorelli引言执行机构最主要的功能是影响控制系统以得到预期的动作。这种冃标由于执行机构成为可能，它在驱动器的动作下将最主要的能量转变成最后的机械能。执行机构工作的动力源主要有三种形式：电力、水力、气动动力。第一种设想是电力
6、驱动器如电机电磁阀和电磁体。其余两种设想是气缸（线性电机）和旋转电机的应用，实质上具有类似的形式和尺寸，它的运动由最初被认为不町压缩的液体（液压油、矿物油和粘性较低的液体）和可压缩的液体（压缩空气和通川气体）。其他类型的能源也可以用但是在自动化系统屮十分的不稳定。化学和热能会造成在材料屮的一些变化或者是在机械运动中的一些热力学膨胀，都可以考虑在这种范畴Z内。伺服系统的流体特性的研究，特别对系统允许连续控制的一个物理量来表示流体动力：爪力和流量。通常，压力控制制定出来，是为需要创造一个确定的力或是力矩做准备的，而流量控制
7、是用来进行控制运动幅度如速度，位置，加速度。对于一种力或是速度的连续控制可以通过流体驱动装置育效的实现，和电力驱动相比具有明显的优势，如具有保持系统在负载下没有任何限制控制装置的可能性，在高速度下直接以线性运动，不需要用设备來将旋转运动转变为直线运动，并有可能具有高宽带，尤其是在液压系统中由于尺寸有限，因此，具有低惯性。液体驱动系统一个驱动系统，是自动化机械的一•部分，由动力部分和控制部分并组成如图20.X6所示。动力部分包括所冇影响运动或动作的设备。控制部分根据管理程序的实施以及在传达到操作部分传感器上的可行的反馈信
8、号来为加工过程提供和生成H动化的、周期循环的参考信号。来自控制部分的命令信号通过可以放大和转换信号的设备，将信号传送到执行-部分，如果有需要，这样它们就可以被驱动器直接使用。这些接口可以是接触器或是接触器的电动马达，液压与气尿执行机构中的分销阀。图20.87展示了一种液体驱动系统。动力部分包插驱动器——如图所示例子中的一个双作用气
