MGI作业指导书

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1、文件分发明细：正本（原件）：QDC文控中心副本（复制件）：QAD行政部DCP综合计划部DDC文控中心DDE发展协作部□DS产品设计与标准化部DED设备部□□财务部□HR人力资源部口丄内控部DIE工业工程部EJIN信息部□1R投资者关系L1LE法律顾问室□!/）物流部DMA市场部□PR工艺部DPU采购部DQU质管部DMU生产部□MS生产支持部L1RD研发小心QSA销售部E1SU监察委员会□TS技术服务部DPD项冃部其它：02版本Rev.编写人Preparedby编行日期PreparedDate审核人Checkedby审核时间CheckedDate批准人Approvedby批准H期Approved

2、Date一、目的：指导倒片机的维修保养工作；二、范围：适用于车间内倒片机的维修保养工作;三、维修保养规程：3.1设备机台内部碎片清理3.1.1机台内的清洁保养频率……每周一次a.首先卸下侧面盖板b.检查电动机上下是否有碎片，如果有先用洗尘器把大部分的碎片走c.接着用毛刷把间隙里的碎片给清理了3.1.2步进电机的检查保养频率……每周一次a.首先用手去触摸电机，看是否发烫，如杲很烫手的话，说明电机运行不是很正常,要进行调整（参数及水平度）b.检查电机的连接传送带是否松动和断裂，如果有的话进行调整和更换c.检查电机与轨道连接的齿伦盒内是否有碎片，如果有请清理和上油3.2Shuttle、WaferGu

3、ide、Sensor的清洁3.2.1Shuttle位置的清洁保养频率……每天一次a.首先检查Shuttle的洁净度，清理碎丿汕J气枪吹扫b.检查Shuttle位置是否需要调整c.如果需要调整Shuttle位査用水平仪器调整322WaferGuide位置的清洁保养频率--—每天一次a.首先检查WaferGuide的洁净度，清理碎片用气枪吹扫b.检查WaferGuide位置是否需要调整c.检®WaferGuide有无损坏，是否需要更换3.2.2Sensor位置的调整保养频率——每周—■次a.首先检查Sensor是否能够感应到硅片的存在b.如果感应不到硅片的存在，那么调整传感器感应距离的人小c.在必

4、要情况下可以更换一个新的传感器3.3电源供给正常，设备无法通电运行3.3.1（图1）电源开关保养频率---每周一次a.检查电源开关是否开启电源开关b.检查电源插口的芯片连接是否是220Vc.按下电源旁边黑色的Reset键;3.3.2（图2）保护开关保养频率-一-每周一次a.打开设备侧面盖板b.拔起黑色设备保护开关3.4Cassette的摆放位置及其Plus的更换3.4.1Cassette的摆放保养频率——每周一次a.Cassette的H面必须正对Sensor传感器b.Cassette必须摆放在两个感应片上c.如果显示器I：出现Cassette位置错误，只须重新摆放3.4.2Plus的更换保养频

5、率——每周一次a.清理Plus上的碎片b.六也拆下固定的锁紧螺丝c.重新安装新的Phis并调整好位吉注意：如果Plus的位置不对容易造成碎片3.5EPROM的更换3.5.1EPROM的更换保养频率——每年一次■»RT:旷Jfc-•<414M：阶農:二」■:'三•->TJr・:.，■.D

6、*5二亠a.打开设备正而盖板，打开芯片主板b.拆卜口经坏的EPROMc.将原先拷贝的程序拷入新EPROMd.安装上新的EPROM,重新开机四、模式选择:4.1Mode954.1.1Mode95a.Mode95是调试模式或者教学模式b.通过此模式可以设置操作程序的参数c.Mode95町以检查传输系统，也町以设置各

7、种定位参数d.Mode95可以作为手动模式操作注意：在无须改参数的情况下进入Mode95并改了参数千万别按“Enter”键不然就保存进程序容易造成碎片4.1.2Mode99a.Mode99是系统参数设査模式a.Mode99如果想增加选项也町以通过此模式增加b.Mode99可以电机的转速、Lift±升的高度注意：当更换过EPROM,在进入Mode95设置调试程序参数之前必须先进入Mode99设置系统相关参数五、完好标准：5.1工作电压交流220V,50Hz；5.2设备状态指示灯良好，显示器正常;5.3动零件的润滑正常，皮带传动良好;5・4无漏电现彖，接地装置良好，符合规定耍求；5.5整机运转过程

8、中各部件传动系统平稳，零件齐全无界响;六、应急响应操作规程：6.1、停电：1.关闭倒片机总电源开关：2.关闭UPS电源开关；6.2、供电1.等电力正常后，检查真空、压缩空气是否正常；2.开启倒片机总电源开关；3.开启UPS电源开关；4.巡视检查；5.等设备恢复正常后，通知设备操作人员进行牛产；6.3.A.停气1.通知操作人员停止生产。B.供气1.设备进行复位。2.设备恢复正常后，通知操作人员进行生