气体管路-国家试验研究院

《气体管路-国家试验研究院》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。

1、財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室新購設備機台之通用版一廠務系統二次配管工程規範修訂第四版98/09/01請購編號：頁數PAGE:Oof31版本REV.4修訂日期DATE98/09/0i目錄頁次一・工程標的1二、廠務各系統規格1.廢氣系統2.一般氣體3.製程冷卻水24.電力系統25・純水系統26.廢水系統37.特殊氣體38・空調系統49.化學品中央供應系統410・氣瓶櫃5三、適用之標準與法規5四、廠務各系統之工程規範51.廢氣處理設備及管路配接52.一般及特殊氣體之管路配接73.製程冷卻水管路配接154.電力管線配接165•純水管路配接186.廢

2、水管路配接197・春氣偵測器增設與系統配接208・氣瓶櫃安裝22五、驗收標準24六、保固29請購編號：頁數PAGE:版本REV.修訂日期DATE1of31498/09/0i一、工程標的本規範適用於國家奈米元件實驗室奈米大樓新進機台，廠務相關供應系統之水、電、氣等配接工程規範及相關可提供系統規格概述，請承包商先至現場進行勘查並與各系統負責人員洽詢確認，並於每日施作後進行現場清潔，日後如有任何疑慮依業主解釋為準。二、廠務各系統規格就奈米電子大樓廠務各系統之規格說明如下，請承包商就以下廠務可提供新進機台需求之規格，進行詳細評估並與各系統負責人進行討論。1.廢

3、氣系統區域廢氣種類提供之管路負壓和配管材質及後續處理方式C/R100級C/R1000級一般排氣負壓約100mm水柱（鍍鋅風管；無處理排放）酸排氣風車端負壓約180mm水柱（務面白鐵風管內鍍鐵氟龍；水洗處理）有機排氣負壓約150mm水柱（內外亮面白鐵風管；活性碳吸附處理）C/R10000級一般排氣負壓約80mm水柱（鍍鋅風管；無處理排放）酸排氣負壓約180mm水柱（霧面白鐵風管內鍍鐵氟龍；水洗處理）PS:酸排氣風機除小排氣量高濃度製程排氣外，可能無法負荷大風量需求的設備。有機排氣負壓約150mm水柱（亮面白鐵風管；活性碳吸附處理）2.一般氣體區域氣體種類

4、供應壓力氣體純度C/R100pn26〜8kg/cm21.PN2：C)2

5、im2.GN2：O2<0.5PPM、CO<0.5PPM、CO2<0.5PPM、H2O<0.5PPM、THC<0.5PPM、H2<0.5PPM、Particlcs

6、thers(ExceptRareGases)

7、體純度PV—21〜一22inHg研究棟實驗室gn26〜8kg/cm24.PH2：C)2

8、0°C露點CDA7〜9kg/cm2PV—21〜一22inHg&以上PN2'PH2'PO2純度為純化器出口之規格。5Fgn26〜8kg/cm2實驗室CDA7〜9kg/cm23.製程冷卻水區域供應壓力水質規格C/R100級6.2±1.0Bar供水水質：W50

9、iS(N20KQ)供水溫度：1&0+1.o°c。C/R10000級5・6±1・0Bar5F(預備C/R)5.5±1.0Bar研究棟實驗室5F約5.0+1.0Bar4F約5.3±1.0Bar2F約6.0+1.0Bar4.電力系統區域供應電壓接地規格C/R100級C/R1000級3(p4W208/120V

10、3(p4W480/277V設備接地、電力系統接地、靜電接地及電磁干撓接地等工程(以上W0.5歐