气体管路施工规范

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1、气体管路工程施工规范一、工程简介1、生产设备所需之二次侧制程气体管路工程。2、各系统分别由机台接头处，经二次配管至SUB-MAINPIPE预留阀。二、系统界面1、与原系统一次侧之介面为SUB-MAINPIPE预留阀。2、与设备机台之介面为设备出口接头、承商应按MOVEIN设备之实际接点来衔接管线。三、工程基准依本公司准备之下列资料及图说来进行本工程：1、制程气体管路系统工程图（附系统流程图）。2、机台位置图。3、设备需求配管单线图或utilitymatrix,动力安装条件表。4、制程气体管路工程技

2、术规范。5、设备机台MOVEINSCHEDULEo四、工程施工规范。1、承包商于进行配管焊接时，必须穿戴上干净无尘室专用手套及护具。2、配管材料气体接触部分，不可用污秽的手套或用手直接触摸。3、配管时必须使用超高纯度氮气作为焊接之气体，施工完后所有管路须用高纯度氮气不间断PURGE,PURGE排气须接至室外排放，以避免人员窒息危险。4、配管焊接时，所有临时管路须为SUS316硬管。5、所有配管焊接须于每H施工前，先做每一管径试件试焊，并须记录焊接机之焊接参数、合格试件及焊接参数，经监工人员检验合格

3、后，施工人员才能开始施工。6、焊接时，须使用内压管理。7、1/2英寸（含）以下管道可以使用弯管器，管弯半径R>5D（D为外径）。若无法满足上述要求则一律使用ELBOW施工。&配管时，切管、修倒角及端面，管子必须直立向下或平行，以避免铁屑附着于管内壁,且须小心进刀避免刮伤管内光滑表面。9、配管切割后须以洁净N2GUN气体清除，管内壁切割而应位于下流方向。10、施工进行中，须按图施工，如发现施工图面出现问题或要求设计更改时，应立即回报监工处理，不可擅自做主。门、所有VCR接头，在确定不会再拆或作最后复

4、原时，安装Gasket锁紧，并须于泄漏侦测孔标示圆圈标记。12、所有完工之管路每隔I.5公尺及转弯、穿墙后，须加挂或贴上该种气体名称，流向之标签，标签须以划线对准，务求整齐一致。13、施工承包商应将存储及施工区域的机具、环境卫牛整理干净。14、须符合验收标准，若违反或不符此规定之项目，须配合垂新施工至合乎规范标准，而因此衍生出之成本增加及进度延误责任，一律由承包商自行吸收。15、临时性洁净棚装设在现场。管路工作中，所有的预作管线部份均需在临时洁净棚内进行,以控制其微尘数。16、焊接工作I•焊接尾端

5、覆以有孔之干净塑料套盖再接上差压计做焊接管内压力控制管理，以隔绝大气中之尘埃、水气及不纯物。II.即使焊接完成也要继续通氮气保持循环状态，并将焊接处金属基底降温。附录Q管道分析测试和验收标准1•测试前检查要项a）所有管道测试前必须先确认管路标签与实际气体管路是否相符，标签气体流向，焊道品质确认。b）目测，查看是否有歪斜、扭曲，是否有管夹松脫。c）现场使用的测试仪器均要有校正记录资料。2.所有管路现场测试结果必须经过测试人员和CSMC相关人员签字。3.所有焊点和VCR连接点必须在通过测试后粘贴Q.C

6、.标签。4•测试结果审核：a）测试结果，须经过CSMC现场人员签名认可，才算完成。b）测试完成后，测试报告必须填写完整并由相应的CSMC人员签名。5.保压测试a）记录方式须采圆盘式或电子式记录。b）须有连续记录功能。c）测试吋间BulkGas及SpecialtyGas都须要保压超过24hr,压力正负值不得大于2%。d）所有管路一律使用PN2作为测试气体。e）衔接完，开始测试前要先观察保压计上的表面压力30分钟，确认压力没有变化，才开始记录。f）保压测试务必确认记录器通往测试管路之阀门已打开，否则等

7、于没在做气密测试。g）严禁使用检漏液作为测漏工具。h）保压压力为1.5倍工作压力。6.管路吹扫——N2Purgea）管路吹扫的标准联结与保压测试相同，吹扫须用UHPN2b）N2Purge必须排放厂外或GeneralExhaust,禁止向Fab或Sub-fab排放。7.HeliumLeak测试a）测试吋，CSMC人员必须在场。b）须确认氨测漏机已经抽至1X10-9atm*cc/sec,^可以进行。c）测试人员须从焊接人员获得焊点清单，并依照清单检查实际焊点。在做HeLeakTest吋务必每一个焊道和

8、VCR接点均做喷氨气测试，确认没问题后于焊道旁边贴Heleaktestpassok标签并签名，并予以记录在焊点清单上。d）测试点喷He吋，务必遵行“由近而远，由上而下”的原则进行测漏，以免He飘散而达不到测漏之效果与反应真实漏率。e）喷氫气测试吋，当管路较长吋，喷He气测试一个焊道，需等3分钟后确认数值没有上升的情况下，才可以再对下一个焊道做测试。（根据管路的长度来适当调节确认数值没有上升的时间）f）氨测漏测试指标：小于5x109atm-cc/sec.g）本次工程中HeliumLe