压电陶瓷微位移器驱动电源的研究

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1、南京理工大学毕业设计说明书（论文）作者：于淑楠学号：1004520213学院（系）：电子工程与光电技术学院专业：光电信息工程题B：压电陶瓷微位移器驱动电源的研究指导者：乌兰图雅（姓名）讲师（专业技术职务）评阅者：（姓名）（专业技术职务）2014年5月毕业设计说明书（论文）中文摘要压电陶瓷微位移驱动器（PZT）是一种高精度的微位移器件，它可以能实现微米级的位移量。在光学干涉方面，给PZT施加一淀的电压，PZT即可以产生微米级的位移量。PZT的性能好坏，其驱动电源是关键，口前的PZT驱动电源比较注重电源的静态特性，但有许多缺点，如：动态特性不理想，交流负载能力很差，带负载时的频响太低，成本高、体积

2、大等。在深入了解PZT性能的基础上，本课题主要是设计PZT驱动电源，要求该电源不仅在静态特性上优于现有的电源，并且频响高、体积小、成本低等优点。该课题对移相干涉仪的移相稳定度、精确度有重要的意义。关键词口适应移相干涉仪PZT驱动电源毕业设计说明书（论文）外文摘要TitleStudyofpiezoelectricceramicmicrodisplacementdevicedriverAbstractThepiezoelectricceramicmicrodisplacementactuator(PZT)isahighprccisionmicrodisplaccmentdevice,canreal

3、izethedisplacementmicrometer.Inopticalinterferometry,mainlyusingtheinversepiezoelectriceffect,certainvoltageisappliedtothePZT,displacementPZTwhichproducemicrometer.PZTbyaspecialdrivingpowertodrive,thestaticcharacteristicsofthematurePZTdrivingpowersupplymorepower,butthiskindofpowersupplyhasdynamiccha

4、racteristicisnotideal,theACloadcapabilityisverypoor,withfrequencywhentheloadistoolow,highcost,largesizedefect.BasedondeeplyunderstandingtheperformanceofPZT,thisprojectistodesignaPZTdrivingpowersupply,thepowersupplynotonlyinthestaticcharactcristicsaresuperiortotheexistingpowersupply,andhighfrequencyr

5、esponse,smal1volume,lowcostadvantages.Thepaperhasimportantsignificaneeforphase-shiftinginterferometerphasestability,accuracy.KeywordAdaptivcphase-shiftingintcrfcromctcrPZTDrivingpower1绪论1.1课题研究背景在实验和生活中，光学干涉测量方法是一种常见的计量测试方法。不同于一般的测量方式，由于该方法是以光的波/为单位，因此，赋予了其较高的灵敏度和更为准确的楮度。在光学测量中，我们通常使用到干涉仪作为测量仪器。在电子计

6、算机技术高速发展与成熟的现在，伴随着集成化光电探测器件和激光技术的广泛运用，凭借其对被测物测量的高速和不接触的特性，干涉测量法也与时俱进,蓬勃发展。目前，较为成熟和广泛运用到的是移相干涉测量技术，其分辨率其至处于纳米量级，这为我们在测量光学元件表而相关参数，如微观粗糙度、宏观而形检测中提供极人的辅助。而在对光学系统的成像结果的像质检测中，亦冇较广的适用性。在这样一个现代化技术高速发展的时代光干涉技术高精度和高灵敏度的特点决定了其必然得到了广泛应用，但是振动等多方面的因索都饿哦能够以对其造成影响，主要原因在于气流和振动会对条纹抖动和漂移产生干涉效果。这样一來，不单单会使得高精度移向干涉无法进行，

7、并且连简单的干涉计量也无法完成。为了不受振动的影响，实现干涉仪的在线干涉检测，我们要研究一种小型抗振装置，使其可以自动探测振动所引起的干涉条纹的移动量，它可以被实施，以补偿由于振动的变化，现有技术的相移干涉仪已被组合以形成干涉仪光程差的移位口适应振动相位，［l］o压电陶瓷广泛用于微位移驱动领域，因其具有一种特性••电致伸缩（在一定电压下可产生一亚微米级的微小位移量）。在相移干涉，微米驱动设备的位移