《论文_电子科大---毕设范文(定稿)》

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1、VDMOS是功率屯子系统的重要元器件，它为电子设备提供所需形式的电源和为电机设备提供驱动。在辐照环境屮使用的VDMOS器件的电学参数会在受到辐照后发生变化，影响到其在整体电路中的应用，因此对其辐照效应及抗辐照技术的研究具有重要的意义。本文研究了功率VDMOS器件的总剂量辐照理论，借助数值仿真软件深入分析了总剂量辐照对功率VDMOS器件性能的影响，以及VDMOS器件的总剂量辐照加固理论和方法，重点分析了薄栅氧化层技术，后栅氧化层技术。基于上述研究设计了一套薄栅氧化层技术结合后栅氧化层技术的功率VDMOS器件总剂量辐照加固的

2、工艺流程，并采用该流程制造出了一种总剂量辐照加固的功率VDMOS器件。关键词：功率VDMOS器件，总剂量辐射，后栅氧技术ABSTRACTVDMOSisanimportantcomponentofpowerelectronicsystems,whichprovidethenecessaryformsofpowersourceforelectronicdevicesandpower-driverelectricalequipment.InRadiationenvironment,theelectricalparameters

3、ofVDMOSdevicesusedinthewillbechangedafterirradiation,whichaffecttheoverallcircuit,SotheresearchoftheVDMOSradiationhardenedtechnologiesisveryimportant.ThetotaldoseradiationofpowerVDMOSdevicesareresearchedinthisthesis.AndIusenumericalsimulationsoftware-depthanalysi

4、softhetotaldoseofirradiationontheperformanceofpowerVDMOSdevices,aswellasthetotaldoseofVDMOSdevicesreinforcementtheoryandmethodofirradiation,focusingonanalysisofthethingateoxidetechnology,afterthegateoxidetechnology.Basedontheaboveresearch,designasetofthingateoxid

5、etechnologyafterthegateoxidetechnologypowerVDMOSdevicetotaldoseirradiationofthestrengtheningprocessandtheprocessusedtocreateatotaldoseofirradiationpowerVDMOSdevicesreinforcement.Keywords:powerVDMOSdevices,atotaldoseofradiation,“lateandthingate"technology目录第1章引言11

6、・1课题研究价值与意义11.2国内外研究现状11・3木文主要工作3第2章VDMOS器件基木知识42・1VDMOS器件基本结构和优良性能42.1.1VDMOS基本结构42.1.2VDMOS器件的优良性能42.2VDMOS器件基本参数72.2.1直流漏源导通电阻Ron7222漏源击穿电压BVDSS.102.2.3阈值电圧102.3辐射与辐射技术简介112.3.1辐照环境112.3.2辐射的主耍机制132.3.3辐射的主要效应142.4本章小结17第3章总剂量辐照对VDMOS的影响183.1总剂量辐照对VDMOS的影响183・

7、1.1总剂量辐照对阈值电JK的影响183.1.2辐照对跨导Gm的影响263・1・3总剂量辐照对击穿电压的影响273.2本章小结29第4章功率VDMOS器件的总剂量辐照加固理论和方法302.1MOS器件抗电离辐射加固的原则及主要方法304・1.1抗辐照加同方法302.1.2MOS器件抗电离辐射加固的原则312.2薄栅氧化层技术简介324.2.1减小阈值电压VT的漂移324.2.2减少跨导Gm的降低344.2・3减少击穿电压BV的降低354.3后栅氧化层总剂量辐照加固技术354.4本章小结37第5章总剂量辐照加固T艺流程和器

8、件设计395.1工艺流程设计395.2关键工艺405.3总剂量辐照加固的功率VDM0S器件设计415.3.1常规电学参数仿真设计413.3.2抗辐照参数仿真设计463.4本章小结47第6章结朿语48参考文献49致谢50外文资料原文51外文资料译文55第1章引言1.1课题研究价值与意义随着航天技术、核能等高技术领域的迅