特殊气化范围及标准

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1、建设工程技术部分厂务特气化学品供应工程工作内容、界限划分及技术要求一、总则1、依据甲方提供的要求、纪要和相关文件，以国家各类相关规范为准绳，完成本工程各标段的安装、调试和竣工验收等直至生产使用的全部工作。2、本工程的设计过程和成果均须符合国家有关工程建设标准强制性条文和有关建筑工程设计方面现行的标准、规范、规程、定额、办法、示例，以及江苏省关于设计方面的文件规定。3、培训：负责培训甲方操作人员。4、文档资料：所有的设备、材料在投标人投标时提供供货厂家名称、产品合格证、产品说明书、原理图、接线图、操

2、作维护手册；设备主要元件、传感器和执行元件提供说明书、合格证、接线图、检测试验报告。5、随机器件：投标人应写明随机备件、工具、标准易损件的名称、规格、数量。6、所有材料、元件、设备在预算报价书中必须注明材质、厂家、产地。对有技术偏离的，投标人应附有充分的证据。7、工程需仔细核对工程量，在没有设计变更的情况下，不得发生追加工程。设计范围和设计参数一、概况：本项目为中电电气（扬州）光伏有限公司210MW一期厂务气体化学品供应工程设计与安装工程项目，项目应满足210MW安全稳定不间断供应气体需求。整体设

3、计在满足工艺设备要求的基础上，应充分考虑投资成本及长期运行费用；应按要求完成化学工程设计与安装工程项目的详细布置及各项设计方案，并按要求详细对工期质量保证和服务作出具体承诺等。一、项目的工作范围：第一节系统组成概述气体项目范围：项目气体种类用量(Nm³/h)纯度完成时间设计基准1NH34.299.9995%2013/5/1210MW2SiH41.9299.9999%2013/5/1210MW3SF60.122210MW4PH30.0072210MW5NF35.4210MW6N2O1.8210MW7

4、Ar21.898210MW8H29B2H610N280099.9995%11O23399.9995%1.气体与侦测器需求项目气体种类气站车间　小计BSGSVDB环境VMBPECVD泵房扩散炉环境（扩散/PE区）扩散灰区　1SiH42NH33N2O4Cl25NF3　6PH37SF68B2H69102.特气系统与GMS/GDS1、施工范围：负责系统整体设计，完成特气气柜、气体管路及相关附属设备、管路、utility的定位与安装。本次施工范围包括二次配。2、施工界面：特气系统供电电盘定位后由机电包负责拉

5、电缆并衔接，其余所需utility(不包括气柜排风)由气体包自行衔接机电包进房间1M处的预留点，气柜排风由气体包自行安装风机。3、气体种类：氨气（NH3）、硅烷（SiH4）4、品牌：调压阀用APtech或者Tescom管材Kuze,Sumikin,FUJIKIN,Valex，5、气动、手动阀门Kuze,Sumikin,FUJIKIN6、系统技术规格SiH4气柜Y型SiH4钢瓶（440L）采用一用一备方式通过两级调压阀的BSGS气柜经3进3出的VDB由双套管管线供应至机台附近的5个stick的VMB

6、（2set）处。气柜与VDB连接用双套管（需装真空gauge，报警信号要拉到中控室）。SiH4气柜应具备自动切换及自动吹扫功能，气柜vent连接至设备硅烷排气管；调压阀及管路不允许有结露现场出现；所有气动阀要求有”鱼眼”.SiH4VDB（valvedistributionbox）3进3出的VDB应具备PN2吹扫能力及VG，3进应有PG、2个手阀；VDB的空间要足够大以备valveandfitting的安装；并具备远程监控功能SiH4VMB（valvemanifoldbox）5个stick的VMB应

7、具备PN2吹扫能力,mainstick应有PG、手阀、气动阀、扩充阀；每个stick应有调压阀、PG、手阀、气动阀；VMB的空间要足够大以备valveandfitting的安装；并具备远程监控功能SiH4管路与阀门材料:内管SS316LEP,7µinchRaavg/10µinchRamax,外套管SS304AP连接:自动焊焊接orVCR连接.阀门:隔膜阀工作压力:气柜出口5-6kg/cm2VMB出口3-4kg/cm2颗粒:1/cftat³0.1µm(certifiedwithPN2)水分:£10p

8、pb(certifiedwithPN2)氧分:£10ppb(certifiedwithPN2)氦测漏率:£1·10-9atm.cc/s压降测试:24小时9kgs/cm2零压降NH3气柜Y型NH3钢瓶（930L）采用一用一备方式通过调压阀经管线供应至机台附近的5个stick的VMB处（2set）；NH3气柜应具备自动切换及自动吹扫功能，气柜vent连接至设备硅烷排气管，NH3气柜vent与SiH4气柜vent要求分开；调压阀及管路不允许有结露现象出现；所有气动阀要求有”鱼眼”.NH3