特殊气体施工规范

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1、特殊氣體施工規範Bulk/SpecialtyHookup特殊氣體施工規範2.1.1.目的本規範書適用於渝德科技(重慶)有限公司製程機台之特殊氣體工程。若本規範書所列與圖上有差異時，應以圖上所示為準。2.1.2.適用範圍3..1.本程序及適用於木廠生產工廠屮所安裝的供輸一般氣騁用Z配管工作，包含氣體偵測器採購及安裝測試。本廠製程機台之特殊氣體施工安裝及氣體偵測器安裝測試。2..1.2.由整合規劃廠商依據機台點數設計管路Layout進行施工。3.3.2.1.3.配合機台Move-in施工，機台定位Tur

2、nover後二星期內完成配管，施工圖面由空間規制廠商出圖，需先至現場Check,確定沒問題後再施工。承包人應負責為完成本工程所需之一切人工、設備、材料、工具、交通、測驗儀器、施工設施、臨時水電、工地清潔、衛生設備、工程意外傷害保險、施工工務所、協調配合作業、施工計劃、施工監督、施工圖等費用。所需完成的工作範圍：2.1.在這定義的管線涵蓋範圍由各種不同氣體的起始出點至待接各生產機台。次主管區(Sub-mainpiping)乃指由無塵潔淨室中之分支閥(Shutoffvalve)至第二組分支閥(Take-

3、offvalve)為止。2.2.3.第二條管線(Sub-mainpiping)由第二組分支閥(Take-offvalve)開始至生產機台設備處為止。2.2.4.壓縮乾空氣(CDA)由高架地板下VM-P開始至各生產機台設備的接點為止。2.5.氮氣由高架地板下VM-P開始至各生產機台設備的接點為止。2.6.—般氮氣(GN2)由高架地板下VM-P開始至各生產機台設備的接點為止。1.2.7.氧氣由高架地板下VM-P開始至各生產機台設備的接點為止。2.8.氫氣FtlVMB接各生產機台設備的氣體管線為止。6.1

4、.2.2.9.特殊氣體FtlVMB/P接各生產機台設備的氣髏管線為止。3.1.2.10.工作環境在工作現場需配有一臨時性潔淨棚（Cleanbooth）,且所有配管工作的操作基本上必須在此區域內完成，以避免一些污染。此潔淨棚必須維持且控制在以下的環境條件下。6.1.2.法規與標準本系統，包括第二章節之所有內容，該整體工程之施工除合乎本規範有關章節外，並須參照下列法規與章節：勞工安全衛生法規。中國國家標準。1.3.微塵（靜態WAElig;,述粒子大小大於0.3um）1.1.4.切割工作區域潔淨＜1000

5、01.5.焊接工作區域潔淨〈10001.6.庫房潔淨＜10003.1.7.條件一於焊接工作區域內，其溫為2KC,相對濕則為65%。每小時循環5至10次。2.1.8.環境一此潔淨棚內正壓足以阻絕微塵、油污及其它外物質。3.1.9.在此區域工作的工作者須穿著無塵衣鞋。2.2.焊接人員的資格檢定2.2.1.每一位負責實際焊接工作的人員必須通過專業氣體公司之不銹鋼職業自動焊接技術的檢定，並核發焊接資格許可證始可操作。2.2.2.現場每一位專案工程師皆為工程QC（QualityControl,品質控制）人員。

6、3.工作完成Z標準3.3.2.3.1.管線材SUS304.SUS316-BA.SUS316L-EP2.1.4.焊接工作每條管線的端面對接焊接，主要是用自動焊接機完成。2.1.5.90°的彎管使用於15A以上的管子，小於1/2”的管子則大部份使用彎管器，彎管曲須為10倍管外徑（0.D）以上。2..3.4.自動焊接機的情況可藉由製作測試用様品檢查並記正確Z焊接過程後存檔，記錄表如附件；焊接機斷電之情況下至少每天做2次，於早晨與下午焊接工作開始之前。3..3.5.氣髏管線材的管線與閥件的清潔一所有的管子與

7、其閥件須於製造後先予以清洗並以管蓋封住開口處，再以包裝袋封裝，始可運送至現場。任何管子與閥件在彎管切割及焊接諸如此工作之進;行前，須確定其清潔可維持的情況下始可拆封。2.1.1.3.6.用純氫氣或純氮氣噴洗管線內部。3.3.7.配管完成後的檢查外觀目檢及外觀的目檢工作。3.3.&焊接點目檢焊接點的目檢工作。1.9.鎖入配件目檢鎖入配件的目檢工作。3.3.10.暫壓/保壓測試晳壓測試及保壓測試。2.3.11.微塵測試。3.3.12.純氣測試。3.4.腐蝕保護2.2.2.焊道的部份其外表需用電解方法擦拭

8、。2.2.3.強制性穿戴手套在進入每一個操作時必須穿上乾淨乳膠手套，嚴禁使用手操作。3.5.工作步驟2.為維持完成後的潔淨在所訂定之水準內，氣體供輸的管線工作必須儘可能地小心去完成,序號項目步驟備註製造地點。5.2.材料檢查需逐項檢查各項材是否符合訂單上的規格。文件圖說機台未來之前，空間規劃廠商會先給各承包商施工圖，需先至現場Check,確定沒問題後再施工，若有問題必須知會空間規劃廠商再重新設計繪圖。2.1.2.竣工後之管路若與施工圖不一樣，必須知會空間規劃廠筒修改，