椭偏仪校准作业指导书

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1、1作业目的：确保125、156单、多品电池片膜厚、折射率测试结果准确，测试标准达到工艺要求。2使用范围适用于125、156单、多晶电池片的膜厚、折射率的测试。3测试要求：3.1标片要求：选取符合技术要求的一级标片（用于校准的标片应在冇效使用期限内，R标片上应有唯一编号和制作日期；有效使用期限为3年）。3.2环境要求:洁净度：100000级湿度:<80%温度：15-35°C灯源：灯源应在有效使用期内，有效使用期限为30天3・3设备要求:设备止常工作，无明显机械损伤，可止常启动，各数据线和信号线连接正确，显示

2、器等可止常工作3.4操作要求：操作员着洁净服，双手戴乳胶手套或PE手套，佩戴口眾3.5参考测量标准：一级标片相应标定数据4校准内容及方法：4.1校准前准备工作4.1.1每半年进行标片校准；4.1.2取出一级标片准备测试：4.2校准工作4.2.1在桌面上点击测试程序图标（如图一-所示），启动程序;图一程序图标4.2.2程序启动后,会自动初始化（如图二所示）,左上方会显示为“Initializing”，待初始化完成后，左上方会显示为“IDLE”，然后需等待30分钟进行预热，预热完成后开始校准。■KO：八帀—图

3、二测试程序初始化图4.2.3初始化完成后，点击“F12Service"图标,进入校准页面（如图三所示），开始校准。«•CsewavBMMmM—taw«wfiu■.tf••A■Ea>>»/lOMBHn1碍•嬉巴9*图三校准页面图4.2.3.1由丁•测试模式分为绒面和抛光片两种方式，下面将分开介绍，首先为绒面厚度折射率校准:4.2.3.1.1在校准界面中上方选择^TexturedMono”模式，如图四所示。leConfigurationMeasurementViewServiceWindowHelpDLEQ▲

4、Dark/RefOK1TextufedMono3JF1Sola

5、图七所示图七测试校准局部图4.2.3.1.5点击校准界面右下方“Reference”按钮,如果R_1和R_2的Reference结果显示为0K的话（如图六所示），则该项校准完成；4.2.3.1.6取出绒面标片进行对比测试，若测试结果满足:Thickness测试（厚度疋（Thickness标定-]nm,Thickness标定+lnm）,N（折射率）丘（N标定-0・02,N标定+0.02）,则此次校准通过，可以进行测量；若结果不在规定范围内，则校准结果不通过，重复4.2.3.1,宜至通过为止。4.2.3.2抛

6、光片折射率及厚度校准：4.2.3.2.1在校准界面中上方选择“Polished”模式，如图八所示。园ETA-TCM・HeliosLAB-tnFileConfigurationMeasurementViewServiceWindowHelpIDLEoiDaik/RefOK

7、PolishedF1SolarTrendF2SolarSpectraF5图八校准页面局部图4・2.3.2.2将测试平台改为抛光片测试模式，步骤如下4.2.3.2.2.1按照下图所示,打开两边的卡锁图九卡锁图4.2・3・2.2.2打开卡锁后

8、，将测试光源部分倾斜，具体见图十，并按照图九所示将卡锁重新锁好图十抛光测试平台倾斜图4.2.3.2.3将测试载物平台移至最内部（即刻度为0的位置），将金属标杆移至Polished处,如图十一所示，然后将测试载物平台移至内部，准备进行Dark模式校准。图十一测试校准局部图4.2.3.2.4点击校准界面右下方“Dark”按钮,如果R_1和R_2的Dark结果显示为0K的话（如图六所示），则该项校准完成，开始下一项Reference校准；4.2.3.2.5将测试载物平台移至最外部，同吋将下方镜而反光板移至中间位

9、置，如图十二所示图十二测试校准局部图4.2.3.2.5点击校准界面右下方“Reference”按钮,如果R_1和R_2的Reference结果显示为0K的话（如图六所示），则该项校准完成；4.2.3.2.6取出抛光片面标片进行对比测试，若测试结果满足：Thickness测试（厚度）e（Thickness标定一1.2nm,Thickness标定+1.2nm）,N（折射率）丘（N标定-0.01,N标定+0.01）,则此次校准通过，