电子化学品高纯盐酸的生产工艺方法和生产装置

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1、电子化学品高纯盐酸的生产工艺方法和生产装置薛伟常州化工设计院有限公司摘要：介绍了高纯盐酸的生产工艺方法与生产装置，其屮包括将氯化氢蒸发、吸收高纯水、净化气体与最终提纯，而后经过了一系列实验，确定这样制备的盐酸的确纯净并且可以使用。关键词：高纯盐酸;屯子化学品;化学物质生产;作者简介：薛伟（1970—）,男，江苏常州人，工程师，主要研究方向化工工程设计。收稿日期：2017-08-16ProductionProcessandProductionEquipmentofHighPurityHydrochloricAcidforElectronicChemicalsXue

2、WeiAbstract：Theauthorintroducestheproductionprocessandproductionequipmentofhighpurityhydrochloricacid,whichincludestheevaporationofhydrogenchloride,theabsorptionofhighpuritywater,thepurificationofgasandthefinalpurification,andthenafteraseriesofexperimentstodeterminethepreparationofhy

3、drochloricacidispureandcanbeused.Keyword：highpurityhydrochloricacid;electronicchemicnls;productionofchemicalsubstances;Received：2017-08-161电子化学品高纯度盐酸的研究背景随着国内经济的发展与科学技术的发展，国内的微电子市场持续赠温，更因为近几年中国加入WT0这个世界级的经贸组织，世界半导体市场与各个半导体产业的投资者都对中国的半导体市场投以关注。近期，我国政府对我国的集成电路和半导体产业的发展做出了政策上的支持。上述这些措施以

4、及政策都是我国微电子产业发展非常难得的机遇，而现在，我国的集成电路产业并不完善，对于我国的集成电路产业关键技术水平不佳、品种配套不全、整体产业不具备规模性并且最关键的材料还需要依靠进口的严峻局面应加以提高与改善为了改善这些，科技部在“十五”国家863计划中特别设立了微电子配套材料的专项措施，这开启了我国微电子产业重点对坚持有为、自主开发、突破关键技术以及加强微电子产甜成果的新时代，所以，我国的微电子企业与专家正在不断进行并开展化合物材料、半导体硅材料和集成电路相关的电子化工技术产品，以及相关的封装材料的研究与牛产。这样的措施与潮流为我国的微电子配套材料技术水平以

5、及被本地化能力提供了发展条件，我国半导体工业将足以被先进的材料产业所支撑。ULSI用光刻胶以及高纯试剂、塑料封机的研究是电子化材料的主要前途，而电子纯试剂是电子技术微细加工制作过程中不可缺少的关键性基础化材料，其主要用途是基片在涂胶前的湿法清洗以及在光刻的过程中蚀刻已经最终的去交，而在这类环节中所使用的高纯盐酸的纯净度对集成电路的成晶率、电性能以及可靠性有非常重要的影响。一般來说，电子化学品高纯盐酸的生产方式有蒸镉法、离子交换法与晶析法等，但是除了盐酸之外的电子化学品不是都可以使用这些方法，或者使用这些方法不能到达适应相应的纯净度，所以为了让高纯盐酸的纯净度能够

6、在微电子产业中适用，进行相关的电子化学品制备的研究很有必要。本文将介绍电子化学品高纯盐酸的生产工艺，所介绍的包括蒸发氯化氢使气体得到纯净、吸收高纯水和最后的提纯步骤，希望这样的制备方法可以得到纯度更佳的盐酸，并且能够在制备之中达到经济以及环保的目的。2电子化学品高纯盐酸的制备2.1蒸发与吸收本文中进行高纯盐酸的制作的原料是工业盐酸，主要目的是去除工业盐酸中的杂质使其成为高纯盐酸。首先应当进行蒸镭。通过气相将氯化氢抽出可以去除杂质，其中包括元素周期表的一与二族的金属，以及由于这些金属与氯化氢相结合产生的各种形式的杂质，同时，也将这些金属屮产生的碳酸盐和氧化物进行了

7、去除。但是，对于第三族元素和这些元素的氧化物、卤化物的化合物来说，就需要在吸收容器中加入超纯水，然后，让被蒸憾所产生的解析岀来的氯化氢气体被超纯水吸收，而产生盐酸。在这个过程中使用的超纯水要求比抗阻在17X10°Qcm以上的纯水，而到达18X10°Qcm的纯水则为特别好，在吸收的过程进行Z前，如果氯化氢气体屮的杂质能够被操作人员进行去除，那么，超纯水在吸收容器中的盐酸杂质浓度就可以低于1X10,就得到了我们的目标，高纯盐酸。2.2过滤与洗涤在超纯水吸收氯化氢气体之前，要经过过滤，并口清洗气体，也就是使氯化氢经过过滤装置，从而达到除去蒸汽屮携带的各种固体物质的作用

8、，同时，操作人员更可以使