2017年度国家科学技术奖励候选项目情况公示年度国家科学技术奖励

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1、20172017年度国家科学技术奖励候选项目情况公示2017年度国家科学技术奖励候选项目情况公示20172017年度国家技术奖励推荐工作正在进行2017年度国家技术奖励推荐工作正在进行。。根据推荐通知要求。根据推荐通知要求，，现将中国科学，现将中国科学院上海微系统与信息技术研究所、、上海新安纳电子科技有限公司、上海新安纳电子科技有限公司、、奥瑞德光电股份、奥瑞德光电股份有限公司和杭州安飞诺有限公司联合申报的20172017年度推荐国家科学技术奖励2017年度推荐国家科学技术奖励（（技术（技术发明奖））候选项目情况公示如下）候选项目情况公示如下，，为期，为期1010天10天天。

2、天。。。1国家技术发明奖推荐书(2017年度)一一、一、、项目基本情况、项目基本情况专业评审组：新材料序号：编号：推荐单位(盖章)中国科学院或推荐专家项目名称电子级二氧化硅纳米新材料及原子级表面抛光应用关键技术项目名称公布名电子级二氧化硅纳米抛光新材料及工业化应用中的关键技术主要完成人宋志棠、刘卫丽、秦飞、左洪波、李宁、孔慧项目密级公开定密日期保密期限(年)定密机构(盖章)1其他非金属矿物材料制品制造技代码43078学科分类2专项化学用品制造技代码530621名称3电子专用材料技术代码51045所属国民经济行业先进制造所属国家重点发展领域新材料任务来源国家重大专项、973、国

3、家自然科学基金，省、市、自治区计划具体计划、基金的名称和编号：1、国家“十一五”科技重大专项，“电子级纳米磨料产业化研究及其在IC抛光液中的应用”2009ZX02030-0012、国家“十二五”科技重大专项，“40-25nm集成电路用纳米磨料和相变材料抛光液的研究和产业化”2011ZX02704-00123、973（A类），“半导体相变存储器”，2013CBA019004、国家自然科学基金，“新型LED蓝宝石衬底抛光液设计与其抛光机理研究”，512053875、上海市科技攻关计划，“65纳米及以下ULSI用铜化学机械抛光液研究，081111003006、上海市纳米技术专项，“

4、面向LED蓝宝石衬底的抛光液与抛光工艺示范线”，11nm05003007、上海市纳米技术专项，“新型SiO2基纳米磨料及其在IC抛光液上的应用研究”，0952nm002008、上海市基础性研究计划，“纳米抛光液产业化关键技术及其CMP工艺研究”05nm0543已呈交的科技报告编号：676273009-2009zx0203001/01，676273009-2011zx02704002/02授权发明专利（项）40授权的其他知识产权（项）10项目起止时间起始：2003年1月1日完成：2013年12月31日国家科学技术奖励工作办公室制2二二、二、、推荐单位意见、推荐单位意见（专家推荐

5、不填此栏）推荐单位中国科学院通讯地址邮政编码联系人联系电话电子邮箱传真推荐意见：电子级SiO2纳米磨料，IC、LED芯片等加工所需的抛光液被国外大公司垄断，严重制约了我国信息与照明领域快速发展与产品的国际竞争力，中科院上海微系统与信息技术研究所从2003年开始电子级SiO2纳米磨料和抛光液的研究。在国家重大专项、国家973（A类）等计划支持下，建立了自主的基础研究、工程化与产业化技术平台，发明了SiO2离子交换与表面改性制备新方法，制备出超高纯度高性价比的电子级二氧化硅磨料，实现国内外销售，解决了我国IC磨料的有无问题；采用自主知识产权的二氧化硅磨料，发明了可用于典型硬脆性材

6、料如蓝宝石高效抛光的系列抛光液，在奥瑞德量产先进的加工平台上，开发出速度快、寿命长与成品率高的蓝宝石抛光工艺，制备出高性价比的蓝宝石晶片；发明了柔塑性材料加工所需的新型系列抛光液，在杭州安费诺量产工艺平台上，开发出大面积金属原子级抛光工艺，同时攻克了曲面工件的加工难题，在智能手机、电脑全面推广，进一步研发出了相变存储器所需的相变材料抛光液。组建了上海新安纳电子公司，建成了具有自主知识产权的上万吨的超纯SiO2和抛光液生产线。本项目成果已获授权发明专利40项，实用新型专利10项，获得2项国家新产品证书，在92家企业获得大规模应用，成为国内第一家可大规模提供IC抛光液磨料的单位，

7、并被国际同行认为是国际上最先进的离子交换法制备SiO2纳米材料的单位之一。本项目成果中的蓝宝石抛光液在LED行业全球市场占有率达到50%以上，金属抛光液广泛应用在手机、pad和电脑等移动终端的加工中，其中占某国际著名品牌电脑加工的90%上市场份额。本项目取得4.6亿以上的直接经济效益，成果达到国际先进、国内领先水平，部分指标达到国际领先水平，成功替代进口，填补了国内空白，极大地推进了我国纳米新材料制备水平，对IC、半导体照明和智能手机等行业起了重要的影响和推动作用。推荐该项目为国家技术发明奖二等奖。3声