异常表示画面原因及对策

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7、卷照空说单元专用说明廿楓:◎»■»«)緻加"处刖纣乙4»・、・"九忙0

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9、■E):出1・口州Oiitll丄弋■八2M5；彳Utu”io■星T町、.«M(D»a・賀DhsMH用血。氐沒昕■乡刊FT机、.Errorcode119详细曝尢部空调皿元异常必因空调单元异常或若空调单元电源没有打开对第冷如单元电源ON/OPF异常則.参照空调单元专用说明莅LjJIi「：：」1【曲IEZZJLnurcode120详紀工作台温皮异常加因T.作台湍度比允许设定值高对策确认冷却部是否正常工作Errorcode121详细砒版冷却吹出口温度异•常加因母版冷却吹出口比允许设定值商对策紳认空调工作是否正常ml[123]基板搬

10、出动作异帘I^H'IITUfUiKMktr^tw*■S:O5.UI岀•用屯Errorcode123详细基板取出动作界常氐因嗥光设备出口例庭板搬岀动作趙时对铢価认基板状态II—」Frail[132]loader部屏X规制B上下异常l>-HaliviinB"■fgirn上t”第$："・g・R1W用t•协上TSl』•哺.上丁眄“心曲1号&人^芯檢©上T*ew“晅»U7fi-r杆MCi、仏、"HA疋a丘啊・”・以1。SWiftS丁氐Errorcode132详细loader部屏X戏制B上下异希换因lojiderpanel规制用pin

11、上下■动作时，确认sensor未打开对策①确认上下呦认sensor②确认空气软管是否被拔Frail③一•次例空％乐力是否为0.4mpa以上I—』11—：一【I[134]unloader部C/V旋转马达异常Ir-WIIMHTMO-rWc/vyWM»S:C•夕◎週Q诃Qv,"・・BhDOiW上團2«5:①?