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1、叠层方式形成彩色滤光片隔垫物的研究舒适齐永莲徐传祥张锋崔承镇京东方科技集团股份有限公司技术研发中心摘要：木文研究了液晶显示面板彩色滤光片工艺中以叠层方式形成隔垫物的关键技术问题，即叠层隔垫物高度控制、主-附隔垫物段差的形成和主-附隔垫物段差受后续平坦层工艺的影响变化等，并提出了解决方案。在黑矩阵、红色、绿色、蓝色滤光层形成一定的叠层高度后，采用形貌追随型平坦化材料对像素区平坦，通过控制像素开口部分0C的厚度，可以实现叠层隔梨物高度的控制。采用改变叠层图案设计的方法形成主-副隔垫物高度差（Main-sub段差），段差达成范围是
2、0.41.2Hm,达到了灰阶曝光方式可以达到段差的水平，但成本却大幅降低。并且验证了采用形貌追随型0C材料覆盖可以较好的保持0C工艺前形成的Main-sub段差。基于以上技术制备了4Mask彩色滤光片原型机。关键词：彩色滤光片;叠层隔垫物;形貌追随型平坦化材料;作者简介：舒适（1984-）,男，江苏镇江人，硕士，主要从事液晶显示器件彩膜工艺的研发工作。E-mail:shushi@boe.com.cn收稿日期：2017-06-01基金：京东方科技集团股份有限公司研发项目基金（No.2013013）Formingphotospa
3、cerbylayerstackingonTFT-LCDCFsubstrateSHUShiQIYong—lianXUChimn-xiangZHANGFengCUICheng-zhenTechnologyCenter,BOETechnologyGroupCo.Co.,LTD.;TechnologyCenter,BOETechnologyGroupCo.,LTD・;Abstract：ThekeyissueofformingphotospacerbylayerstackingonTFT-LCDCFsubstrate,suchashe
4、ightcontrol,main-subdifferencetuningandthevariationofmain-subdifferentafterOCprocessisinvestigated.CorrespondingsolutionhasbeenproposedAshape-followingOCmaterialisusedtocontrolPSheightbytuningOCthickness,whichindicatesthatthethicknessofBM,Red,Green,Bluelayerwon'tha
5、stobechangedtoachievecertainstackingheight.Themain-subdiffereneecanbeacquiredbychangingpatternsizeofeachStackinglayers.Thetuningrangeofmain-subdifferenceis0.41.2um,whichalreadyreachesthelevelofhalftonemasktechnology,butatmuchlowercost.Itisconfirmedthatthemain-subdi
6、fferenceformedbyBM/R/G/BlayerstackingcanbemaintainedafterOCprocess.Aprototypeof4maskColorfilterisfabricated,basedonstackingphotospacertechnology.Keyword：color"Iter;stackingphotospacer;shape-following;OCmaterinl;Received：2017-06-011引言现有的薄膜晶体管液晶显示而板(TFT-LCD)[1-2]是由包含
7、有薄膜晶体管的阵列基板与包含有黑矩阵以及彩色滤色层的滤光片基板对准粘结而得到。其中阵列基板作为像素开关控制液晶偏转，彩色滤光片负责提供颜色。彩色滤光片通常包括以下几层:氧化钢锡、黑矩阵、红绿蓝绿色层、平坦层固及隔垫物层，其中有5层需要图案化，因此现有彩色滤光片是5次掩膜工艺。其中隔建物隔建物(PhotoSpacer,PS)通常是透明亚克力树脂材料，由单独的光刻工艺形成图案。其作用是在阵列基板与彩色滤光片基板对盒过程中，及日后产品的使用过程中，抵抗液晶盒受到的压力，维持一定的液晶盒厚。在目前广泛使用的0DF[4-6]对盒工艺中
8、，为了提高滴注液晶的工艺裕量(LCMargin),通常需要根据设计形成不同高度的的隔垫物，称为主隔垫物(MetinPS)和附隔垫物(SubPS),两者高度差称为主-附隔垫物段差(M-S段差)。生产中出于成本和产能的考虑必须通过一次光刻工艺形成以上两种高度的隔垫物，因此必须靠曝光量的衬度来实
