氦检漏研讨会

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1、2008（黄山）真空及氦检技术研讨会气体检漏方法、原理及应用主要内容¢几种工业上常用的气体检漏方法¢水泡法原理及应用¢压差法检漏原理及应用¢示踪气体法检漏原理及应用¢标准漏孔的概念及作用¢泄漏检测标准¢客户关心的相关问题漏率的概念及单位漏率也叫漏气速率，指处于压差下的气体，在单位时间内通过漏孔流向低压端的气体量,Δ(P.V)q=LΔt表示漏率单位的量纲是［压力］.［体积］/［时间］常用的漏率单位：•毫巴.升/秒(mbar.l/s)•帕.立方米/秒(pa.m3/s)1mbar.l/sec定义：1升的容器，压强在1秒内由1mbar升到2mbar的等效漏率.几种工业

2、上常用的气体检漏方法¢水泡法¢压差法•正压压降法•负压压升法¢示踪气体法•卤素气体示踪法•吸枪法•氢气示踪法•气罩法•氦气示踪法•真空箱法水泡法—原理向被检工件充入一定压力的空气后放到水中，气体通过漏孔时在水中形成气泡，气泡形成的地方就是漏孔所在位置，根据水泡大小可以大致估算出漏孔的漏率。应用实例：某待检工件为换热器，向工件内充气3bar后放在水中，在工件某部位发现1个2mm的气泡时间是5秒，问工件的漏率大小？2mm气泡大小V=0.000004188litres保压时间△t=5sec.压力差△P=3bar=3000mbar工件漏率大小：qP=.tLV3000=

3、x0.0000041885-3=2.5×10mbar.l/sec.水泡法—特点及应用优点•设备价格低廉•可以确定漏点位置•对从连接装置处发生的泄漏不敏感缺点•检测过程的操作依赖于操作者的经验•难以计量漏孔的尺寸•检测灵敏度不高•需要干燥•由于很高的劳动力成本，运行成本很高应用•对检测精度要求不高•对生产节拍要求不高•需要查找工件的泄漏位置正压压降法—原理向被检工件（内容积V）充入一定压力的气体，稳压一段时间△t，如果工件上有漏孔，气体会从漏孔漏出，工件内的压力会下降，用压力传感器监测工件内的压力变化△P，工件漏率大小：Δpq=⋅VLΔt正压压降法—检测精度应用

4、实例：某待检工件为换热器，内容积2升，充气压力40bar，保压时间3min.，采用压力传感器检测工件的压降，问最高检测精度是多少？压力传感器的测量精度是0.25%（60bar满量程），最小可测的压力衰减值是：△p=压力传感器的测量精度(0.25)×0.01×满量程(60)=0.15bar=150mbar工件内容积V=2升保压时间△t=180秒工件漏率大小：Pq=.tLV150=2x180=1.67mbar.l/sec.正压压降法—特点及应用优点•提供清晰的合格/不合格检测结果•干式检测•设备成本相对便宜•检测过程的操作不依赖于操作者的经验缺点•灵敏度受温度的影

5、响•灵敏度受压力的影响（压力越高灵敏度越低）GRT..PV.=•灵敏度受体积的影响（体积越大灵敏度越低）M•灵敏度受产品密封的影响•检测大工件或灵敏度高的工件时间较长•不能确定漏孔的位置应用•对检测精度要求不高；•小漏检测前的大漏筛查负压压升法--原理对被检工件（内容积V）抽真空，停止抽空后保压一段时间△t，如果工件上有漏孔，气体会从漏孔漏入，工件内的压力会上升，用真空传感器监测工件内的压力变化△P，工件漏率大小：Δpq=⋅VLΔt负压压升法—检测精度应用实例：某待检工件为换热器，内容积2升，抽空至10mbar，保压时间3min.，采用真空传感器检测工件的压升

6、，问最高检测精度是多少？真空传感器的测量精度是读数值的15%，最小可测的压升值是：△p=真空传感器的测量精度(15×0.01×10)=1.5mbar工件内容积V=2升保压时间△t=180秒P.工件漏率大小：q=tLV1.5=2x180-2=1.67×10mbar.l/sec.负压压升法—特点及应用优点•提供清晰的合格/不合格检测结果•干式检测•设备成本相对便宜•检测过程的操作不依赖于操作者的经验•精度相对压力传感器正压压降检测法高缺点•不能模拟工件实际使用状况•灵敏度受温度的影响•灵敏度受体积的影响（体积越大灵敏度越低）PV.G=RT..•灵敏度受产品密封的影

7、响M•检测大工件或灵敏度高的工件时间较长•不能确定漏孔的位置应用•对检测精度要求不高•小漏检测前的大漏筛查示踪气体法—检测原理工作原理•向待检工件内充入具有某种特殊物理化学特征的气体作为示踪气体•使用对示踪气体敏感的仪器测量工件内示踪气体的逸出量¢常用的示踪气体种类¢常用的检测方法•卤素气体示踪法•吸枪法•氢气示踪法•气罩法•氦气示踪法•真空箱法示踪气体—氦气用氦气做示漏气体的质谱检漏仪，是示踪气体检漏中灵敏度最高、用得最普遍的一种检漏仪器。氦气是一种理想的用于检漏的测试气体，它的优越性表现在：在质谱分析仪内能与相邻物质极好地分离在空气中的含量仅有5ppm，即

8、本底非常低除氢气之外，氦气是最小的气体