德国Centrotherm PECVD设备E2000中文说明书.pdf

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1、TechnicalDescriptionSystemDescription17.6.2009PECVDE2000HT410-4目录0概述40.1基本情况40.1.1CentrothermPECVD的工作原理40.2系统概况40.3系统配置60.3.1系统160.4系统尺寸71工艺规范(太阳能)81.1PECVD–氮化硅(太阳能)81.1.1设备能力81.1.2均匀性91.1.2.1石墨舟留下的痕迹92炉体102.1加热器102.2测温102.3炉体控制系统现场总线(CAN)112.4冷却系统122.5安全系统CMS132.5.1基本系统132.5.2真空工艺的附加系统133工

2、艺控制系统CCC153.1CESAR-控制电脑153.2单元控制系统CCC-RM163.2.1工艺菜单管理163.2.2ProtGraf-CESAR记录分析173.2.3远程控制程序173.2.4维护管理员173.3CCC-PC173.3.1控制电脑硬件配置173.3.2使用远程控制功能183.4不间断电源(USV10，可选)181TechnicalDescriptionSystemDescription17.6.20093.5信号塔183.5.1信号塔颜色和声音信号的含义193.5.2同时出现多颜色信号213.5.3声音信号213.5.4信号塔的位置214温度控制系统224

3、.1温度控制器REG97224.2拉炉温元件224.3带原位测温的级联温度控制235热风排风柜Error!Bookmarknotdefined.6硅片装载系统256.1外接全自动硅片装载系统的界面256.1.1石墨舟传输系统(滑轨)256.2人工装载硅片的界面(手推车)266.2.1传输进出口266.2.2传输平台(手推车)266.2.3外部冷却台266.2.4外接硅片装卸台276.3外接全自动硅片装卸系统(PECVD)276.3.1工作顺序说明(型号H-LPE-V-150-900)276.3.2技术数据306.3.3设备平面示意图306.3.4硅片装卸机的照片317石墨舟搬

4、运系统327.1操作台类型：受控环境327.2进舟系统327.3石墨舟提升327.4石墨舟存储（冷却）338闭管系统348.1自动闭管装置(软着陆)348.1.1低压工艺（PECVD）348.2背面法兰348.2.1低压工艺(PECVD)349气体系统柜GVS359.1气体系统示意图(主系统)362TechnicalDescriptionSystemDescription17.6.200910气体/真空系统3710.1气体管道/真空系统描述3710.1.1PECVD–氮化硅3710.2气体/真空系统示意图3810.2.1气体管道(真空，吹扫氮气)3810.2.2真空系统(每管

5、)3911等离子系统4011.1发生器40kHz4012工艺管道配置4112.1工艺管道4112.1.1石英炉管4112.2桨4112.2.1碳化硅桨（PECVD）4112.3工艺用舟4112.3.1垂直式石墨舟4113培训4213.1维护培训4213.2系统培训4213.3工艺培训4214系统要求/配置/数据4314.1系统动力需求4314.2系统技术参数和配置4414.3硅片规格453TechnicalDescriptionSystemDescription17.6.2009概述0.1基本情况0.1.1CentrothermPECVD的工作原理CentrothermPEC

6、VD系统是管式系统，采用平行式石墨舟和低频（40kHz）激发等离子体放电。在低压和高温的条件下，等离子体在石墨舟的石墨惦记之间激发。反应的气体是硅烷和氨气。这些气体反应之后沉积到衬底（硅片）上，形成氮化硅薄膜。薄膜的折射率可以通过调整两种气体的比例而调整。在沉积薄膜过程中会产生大量的氢原子和离子，这些对硅片的氢钝化效果显著。另外，在烧结过程中薄膜中的大量氢成分会在高温条件下扩散入硅片体内，形成体钝化。PECVD氮化硅对硅片具有表面钝化和体钝化双重功能。0.2系统概况Ø设备设备的基本功能单元包括：·硅片装载区域·热风排风柜·炉体·气体系统·真空系统Ø工艺减反射膜兼具减反和钝化功

7、能，且产量高。Ø电池尺寸有各种尺寸的石墨舟提供，从125x125mm到156x156mmØ标准单管容量（垂直式石墨舟）Ø125x125:252Ø156x156:216Ø毛产量对于4管系统:4TechnicalDescriptionSystemDescription17.6.2009·125x125:1440片/小时·156x156:1230片/小时Ø自动化（舟，硅片装卸）·石墨舟进炉:软着陆·石墨舟上下:全自动·硅片:手动或外加全自动机械手Ø层流系统装载区域配备了垂直层流系统，用于净化空气。Ø运输4管系