硅片清洗原理与改进方法毕业论文

硅片清洗原理与改进方法毕业论文

ID:4349109

大小:403.00 KB

页数:17页

时间:2017-11-30

硅片清洗原理与改进方法毕业论文_第1页
硅片清洗原理与改进方法毕业论文_第2页
硅片清洗原理与改进方法毕业论文_第3页
硅片清洗原理与改进方法毕业论文_第4页
硅片清洗原理与改进方法毕业论文_第5页
资源描述:

《硅片清洗原理与改进方法毕业论文》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在学术论文-天天文库

1、毕业设计(论文)题目硅片清洗原理与改进方法所属系太阳能科学与工程系专业光伏材料加工与应用技术12硅片清洗原理与改进方法摘要随着大规模集成电路的发展,集成度的不断提高,线宽的不断减小,对硅片的质量要求也越来越高,特别是对硅抛光片的表面质量要求越来越严。在硅晶体管和集成电路生产中,几乎每道工序都有硅片清洗的问题,硅片清洗的好坏对器件性能有严重的影响,处理不当,可能使全部硅片报废,做不出管子来,或者制造出来的器件性能低劣,稳定性和可靠性很差。因此弄清楚硅片清洗的方法和原理,不管是对于从事硅片加工的人,还是对于从事半导体器件生产的人来说都有着重要的意义。 本文对硅片

2、清洗的基本理论、常用工艺方法和技术进行了详细的论述,同时对一些常用的清洗方案进行了浅析,并对硅片清洗的重要性和发展前景作了简单论述。最后介绍了清洗工艺的最新进展。关键词:硅片;清洗;湿法化学清洗;干法清洗技术;最新进展12SiliconwafercleaningprincipleandimprovingmethodsAbstractAlongwiththedevelopmentoflargescaleintegratedcircuit,theconstantimprovementofthelevelofintegration,thelinewidthofco

3、nstantlydecrease,thequalityrequirementsofthesiliconwaferofmoreandmoreisalsohigh,especiallyinsiliconPaoGuangPiansurfacequalityrequirementsmoreandmoresevere.Insilicontransistorsandintegratedcircuitproduction,almosteveryprocessistheproblemofsiliconcleaning,thestandorfallofsiliconclean

4、ingdeviceperformancetohaveaseriousimpact,processesimproper,maymakeallsiliconscrap,can'tmakethetubeto,ormadetheinferiordeviceperformance,stabilityandreliabilityispoor.Soclearofthesiliconcleaningmethodandprinciple,whetheritbeforwaferprocessinginperson,stillengagedintheproductionofsem

5、iconductordevicesforpeopleisofgreatsignificance.Inthispaper,thebasictheoryofsiliconcleaningprocessmethodandcommontechniquesarediscussedindetail,atthesametimeforsomecommonlyusedcleaningsolutionforshallow,andtheimportanceofsiliconcleaninganddevelopmentprospectsweresimplydiscusses.Atl

6、ast,thepaperintroducesthelatestprogressofthecleaningprocess.Keywords:Siliconwafer;Cleaning;Wetchemicalcleaning;Drycleaningtechnology;Thelatestprogressofthe12目录摘要IAbstractII第1章硅片清洗的基本理论11.1硅面的表面状态与洁净度问题11.2吸附理论21.3硅片表面玷污杂质的来源和分类...................................31.4硅片清洗的一般程序.......

7、......................................3第二章硅片清洗的常用方法与技术42.1湿法化学清洗42.1.1常用化学试剂洗液的性质.....................................42.1.2溶液浸泡法.................................................52.1.3机械擦洗法.................................................52.1.4超声波清洗技术...............................

8、..............52.1.5兆声波清洗技

当前文档最多预览五页,下载文档查看全文

此文档下载收益归作者所有

当前文档最多预览五页,下载文档查看全文
温馨提示:
1. 部分包含数学公式或PPT动画的文件,查看预览时可能会显示错乱或异常,文件下载后无此问题,请放心下载。
2. 本文档由用户上传,版权归属用户,天天文库负责整理代发布。如果您对本文档版权有争议请及时联系客服。
3. 下载前请仔细阅读文档内容,确认文档内容符合您的需求后进行下载,若出现内容与标题不符可向本站投诉处理。
4. 下载文档时可能由于网络波动等原因无法下载或下载错误,付费完成后未能成功下载的用户请联系客服处理。