溅射靶材和蒸镀膜料

《溅射靶材和蒸镀膜料》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、一、溅射靶材工具镀膜工业    非凡物质奇妙世界工具镀膜常应用于车削刀具、机械手、模具等各种机械及冶金用途。刀具、模具的超硬保护层，膜系包括TiN、ZrN、TiAlN、TiC、TiCN、CrN、DLC等，镀层产品包括钻头、铣刀、齿轮刀具、丝锥、剪刀、切刀、顶头、冲模等。膜层厚度一般为2~10μm，膜层要求高硬度，低磨损，耐冲击，高附着型等，其技术层次高于装饰镀膜。常用靶材与装饰镀膜基本相同，为Ti、Al、Cr、C、Ti/Al等，常通入N2, O2, C2H2 等反应气体，除了以氮化物为主要膜层，还多了

2、类金刚钻膜(Diamond Like Coating, DLC)。产品应用 为了追求更佳的膜层机械性质，合金靶材也已经被大量采用在刀具上，如Ti/Si、Cr/Si、Cr/Al、Ti/Cr、Al/Ti/Si、Al/Cr/Si等。而且持续有新的多元合金正被开发测试中，制造工艺分为真空熔炼工艺、挤压熔炼工艺、热等静压工艺、热压烧结工艺等，不同的方法制出的靶材特性各有不同。装饰镀膜工业    非凡物质奇妙世界应用真空阴极电弧源沉积技术 (Cathodic Arc Coating) 可在大量民生用五金件上镀上不

3、同的颜色，做为装饰用途，与一般表明处理用的电镀，烤漆相比，有高硬度，高亮度，抗蚀氧化，不易脱落，不掉色等优异特色。目前市场上最常见的卫浴五金（莲蓬头、水龙头等），建筑五金（门锁、门把、电梯内板），汽车五金（后视镜），机壳（手机、电脑等），装饰配件（发簪、纽扣）等都已大量采用此种镀膜技术。镀膜产品包括表件、日用五金件、卫浴洁具、建筑五金件、表壳、表带、小饰品、不锈钢板等等，彩色膜除仿金色外，还有枪黑、乌黑、玫瑰金、棕色、蓝色、绿色、灰色、银色以及幻彩等等。常用的靶材有Ti、Zr、Cr、C、TiAl等几种

4、，通入N2，O2，C2H2等气体后，可形成金黄，古铜，灰黑等多种不同色调。膜层一般在1um以下。具备开发新色彩能力已经成为装饰镀膜业者极力争取的技术优势。   光学/光通讯工业    非凡物质奇妙世界制备光学薄膜可用来得到各种各样的光学特性，阿石创可提供光学镜片、晶体以及光通讯行业镀膜所需用到的高纯度靶材，产品包括硅靶、铌靶、钽靶、二氧化硅靶、钛靶等。热反射汽车玻璃    非凡物质奇妙世界热反射镀膜玻璃又称阳光控制镀膜玻璃，也就是通常说的镀膜玻璃，是指具有反射太阳能作用的镀膜玻璃。一般是通过在玻璃表面

5、镀覆金属或者金属氧化物薄膜，以达到大量反射太阳辐射和光的目的，热反射玻璃具有良好的遮光性能和隔热性能。近年来热反射镀膜玻璃在宾馆、饭店、商业场所得到较多应用，随着节能问题的日益突出，热反射玻璃在南方民用住宅中亦得到了应用。热反射汽车玻璃：使太阳光的红外线有效的被反射（20~25%），阻隔热能进入车体内（隔热性能>30%），降低空调负荷，同时维持良好的透光性（70~75%），保持视野的清晰。阿石创可为客户提供其镀膜常用到的Cr、Fe、Sn、Si、Zn、Mn、Ti、Al、Ag、Ni、Ni/Cr、Cu、Ni

6、/Cu、SS等不同规格材质的靶材，纯度要求从99%~99.9%不等。低辐射建筑玻璃    非凡物质奇妙世界Low-E(低辐射镀膜玻璃)建筑玻璃，它是在玻璃表面镀银膜或掺氟的氧化锡膜后，利用上述膜层反射远红外线，达到隔热、保温的目的。并具有可见光高透过率（自然采光），低反射（低光污染），紫外线及近红外线低透过率（遮阳）的效果。真空磁控溅射Low-E镀膜中空玻璃具有最低的辐射率（0.08~0.15），能够有效降低室内热能的流失，因此是最佳的“采光节能系统”。其使用靶材以大型平面靶和喷涂/浇铸旋转靶材为主，

7、为适合不同的膜层设计，靶材有如下的多种选择。Ag、Ni/Cr、Sn(SnO2 Film)、Ti/TiO2 (TiO2 Film)、Zn(ZnOx Film)、Si/SiAl (SiN x Film)、ZnAl、ZnSn、ZnSnSb、Cr、Nb、Nb2O5等，阿石创可为客户提供以上不同规格材质的溅射靶材，纯度要求从99%~99.9%不等，可适各种镀膜系统。其中一些脆性材料（SiAl, Si, TiO2），需要用等离子热喷涂工艺制作，其材质具有低含氧量及高清洁度。硅薄膜电池    非凡物质奇妙世界目前太

8、阳能电池的主流为结晶硅制程，单晶或多晶硅基板形成P/N接面，再加上Ag浆印刷电路而成，转换效率11~16%（最高16~24%）。受限于硅晶的供应紧张，体积过大，及重量过重，薄膜太阳能电池成为新的趋势走向。薄膜太阳能电池分为硅薄膜及化合物半导体二大类。硅薄膜技术（转换效率5~8%）又可分为非晶硅a-Si，微晶硅uc-Si，及薄膜多晶硅Poly-Si三种材料的组成。由CVD法生长的a-Si搭配uc-Si或Poly-Si，形成多层堆叠结构，可改善光劣化现象，提