Roth-Rau设备管理作业规范

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1、«匹刃电浙江弘晨光伏能源有限公司文件编号：HC-ME-OP-文件名称Roth-RauPECVD设备管理作用规范版本/修订：A/0制定部门：设备设施部生效日期：2011-05制定、修正记录序版本/修订制、改日期制定、修改内容摘要编制审核批准1A/02011.5文件首次制定葛建良1.目的:定义Roth-RauPECVD生产过程的设备操作说明及保养规范；设备验收、维修、保养、报废规范管理更具系统性，有利于做工作的传承。2.范围：本规范仅适用于弘晨光伏电池设备Roth-RauPECVD段。3.定义：PECVD：借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离

2、子体4.职责：4.1设备技术员负责设备调试、维护、保养；设备工程师负责的验收、维修、保养、报废处理管理。4.2设备工程师、主管负责监督本部门的执行状况。4.3本规范之变更须经设备主管或更高权责人员认可方能执行。5.程序设备管理内容5.Roth-RauPECVD设备操作说明5.1.1Roth-RauPECVD设备开关机顺序动作1・打开总配电柜3相电源开关2・2•打开设备压缩空气、氮气、NH3,SiH4及循环水开关3•打开设备电源和电脑开关4.进入PECVD软件控制界面开启加热及运行工艺4.1.2Roth-RauPECVD设备关机顺序1.关闭加热系统，降温至200。

3、以下2.关闭PECVD控制软件和电脑及电源3.关闭设备压缩空气、氮气、NH3,SiH4及循环水开关4.关闭设备总配电柜3相电源开关5.2设备操作5.2.1点击主界面中的“控制”菜单，进入左图所示运行过程界而,在工艺方案一栏选择所要运行的工艺，选择后点击“加载”“开启”，待工艺条件满足后，在传输栏点击“开启”、"Startext.TS”，开始进行传输5.2.2断电应先关闭总电源开关钏刀，再关闭UPS电源开电应先开启UPS电源,再开启总电源5.2.3如果开启冷却水阀,应先开回水阀，再开进水阀5.2.4设备技术员每天需对Roth-RauPECVD设备进行巡检并填写《R

4、oth-RauPECVD每日点检表》5.2.5设备有任何异常（包括异常声音、震动等）应及时向相关工程师反应。5.3设备操作说明5.3.1设备紧急停止操作，信号灯确认5.3.2机器设置1・运行正确的工艺文件2.按照规定位置放置石墨框位置3•加入产品开始生产5.4设备验收配件申购、使用、维修、保养、报废作业规范5.4.1验收、配件申购设备验收需要对设备外观，功能，类型进行确认。设备在运行期间进行调试使设备在理想状态下工作。备件申购需要填写《物料申请单》5.4.2维修设备技術員在设备日常使用中，有印刷设备，测试设备损坏要及时维修其需填写《维护申请单》5.4.3保养由设

5、备技术员对丝网印刷设备和测试设备进行《Roth-RauPECVD周保养表》,和《Roth-RauPECVD月保养表》项冃的保养。5.4.4报废由设备工程师及主管对所报废的设备及备件确认并填写《物品报废单》。6.附录.6.1相关文件无6」记录表格1.《ROTH-RauPECVD每日点检表》HC-ME-QR-2.《物料申请单》HC-ME-QR-3.《维护申请单》HC-ME-QR-4.《ROTH-RauPECVD周保养表》HC-ME-QR-5.《ROTH-RauPECVD月保养表》HC-ME-QR-编制审核批准口期口期口期