刻蚀机设备管理作业规范

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1、浙江弘晨光伏能源有限公司文件编号：HC-ME-OP-001版本/修订：A/0文件名称丝网印刷/测试机设备管理作业规范页码：第2页/共4页生效日期：2011年5月5日浙江弘晨光伏能源有限公司文件编号：HC–ME–OP–文件名称刻蚀机设备管理作用规范版本/修订：A/0制定部门：设备设施部生效日期：2011-05制定、修正记录序版本/修订制、改日期制定、修改内容摘要编制审核批准1A/02011.5文件首次制定葛建良浙江弘晨光伏能源有限公司文件编号：HC-ME-OP-001版本/修订：A/0文件名称丝网印刷/测试机设备管理作业规范页码：第2页/共4页生效日期：20

2、11年5月5日1.目的:定义刻蚀机生产过程的设备操作说明及保养规范；设备验收、维修、保养、报废规范管理更具系统性，有利于做工作的传承。2.范围:本规范仅适用于弘晨光伏电池设备刻蚀段。3.定义：刻蚀：通过等离子体能量增强的反应气体进行干法刻蚀的工艺4.职责:4.1设备技术员负责设备调试、维护、保养；设备工程师负责的验收、维修、保养、报废处理管理。4.2设备工程师、主管负责监督本部门的执行状况。4.3本规范之变更须经设备主管或更高权责人员认可方能执行。5.程序设备管理内容5.1刻蚀机设备操作说明5.1.刻蚀机设备开关机顺序动作1.打开总配电柜3相电源开关2.打

3、开设备压缩空气CDA，氮气，CF4,O2开关3.打开设备电源及开启真空泵浙江弘晨光伏能源有限公司文件编号：HC-ME-OP-001版本/修订：A/0文件名称丝网印刷/测试机设备管理作业规范页码：第2页/共4页生效日期：2011年5月5日5.1.2刻蚀机设备关机顺序1．关闭设备真空泵和设备电源2.关闭设备设备压缩空气CDA，氮气，CF4,O2开关3.关闭设备总配电柜3相电源开关5.2设备操作5.2.1根据所做硅片产品的尺寸更改好工艺5.2.2按“运行”按钮运行工艺5.2.3设备技术员每天需对刻蚀机设备进行巡检并填写《刻蚀机每日点检表》5.3设备操作说明5.3

4、.1设备紧急停止操作，信号灯确认5.3.2机器设置1.选择正确的产品工艺2.运行工艺5.4设备验收配件申购、使用、维修、保养、报废作业规范5.4.1验收、配件申购设备验收需要对设备外观，功能，类型进行确认。设备在运行期间进行调试使设备在理想状态下工作。备件申购需要填写《物料申请单》5.4.2维修浙江弘晨光伏能源有限公司文件编号：HC-ME-OP-001版本/修订：A/0文件名称丝网印刷/测试机设备管理作业规范页码：第2页/共4页生效日期：2011年5月5日设备技術員在设备日常使用中，有刻蚀机设备，测试设备损坏要及时维修其需填写《维护申请单》5.4.3保养由

5、设备技术员对丝网印刷设备和测试设备进行《刻蚀机周保养表》和《刻蚀机月保养表》，《测试机月保养》表项目的保养。5.4.4报废由设备工程师及主管对所报废的设备及备件确认并填写《物品报废单》。6.附录.6.1相关文件无6.1记录表格1.《刻蚀机每日点检表》HC-ME-QR-2.《物料申请单》HC-ME-QR-3.《维护申请单》HC-ME-QR-4.《刻蚀机周保养表》HC-ME-QR-5.《刻蚀机月保养表》HC-ME-QR-6.《物品报废单》HC-ME-QR-编制审核批准日期日期日期