宁薇薇论文综述

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1、本科生毕业设计（论文）文献综述设计（论文）题目电容传感微小孔径测量方法的作者所在系别作者所在专业作者所在班级作者姓名作者学号指导教师姓名指导教师职称完成时间研究机械工程系测控技术与仪器B07122宁薇薇20074012217刘健讲师2010年12月8日北华航天工业学院教务处制1•根据学校《毕业设计（论文）工作暂行规定》，学生必须撰写毕业设计（论文）文献综述。文献综述作为毕业设计（论文）答辩委员会对学生答辩资格审查的依据材料之一。2.文献综述应在指导教师指导下，由学生在毕业设计（论文）工作前期内完成，由指导教师签署意见并经所在

2、专业教研室审查。3.文献综述各项内容要实事求是，文字表达要明确、严谨，语言通顺,外来语要同时用原文和中文表达。第一次出现缩写词，须注出全称。4.学生撰写文献综述，阅读的主要参考文献应在10篇以上（土建类专业文献篇数可酌减），其中外文资料应占…定比例。本学科的基础和专业课教材一般不应列为参考资料。5.文献综述的撰写格式按毕业设计（论文）撰写规范的要求，字数在2000字左右。文献综述应与开题报告同时提交。毕业设计（论文）文献综述摘要市于微小孔径测量根据一般量具进行计算时精度很低，为满足当代社会对工件的高精度要求，故提出了一种应用

3、电容传感器对微小孔径进行精密测量的系统.基于电容测孔传感器的菲接触、简便、精密测量，可以高效率的测出孔径数值。关键词：电容传感器非接触测量孔径电容传感微小孔径测量方法的研究引言非接触式电容测微技术是最近二三十年来迅速发展起来的一门新兴测试技术.电容测微仪是这一测试技术中的重要手段.由于它具有精度高、温度稳定性好、速度快、分辨率高、时间稳定性好、适用于导体和绝缘体材料、工作温度范围广等诸多优点，因而在航空、航天及工业生产部门测量微小位移、微小尺寸以及测量振动和压力等各领域中得到了广泛的应用。与此同时采用LabVIEW软件，它是

4、虚拟现实技术在口动化、测试仪器仪表行业屮的应用LabVIEW软件平台是一个基于图形化编程的虚拟仪器软件平台LabVIEW图形化软件平台具有一般编程语言的特点，带有各种软件包和过程库。1•电容传感测量微小孔径方法的发展现状孔测量是几何测量屮一项重要的内容，其特点是测量器具活动空间受到限制，操作调整不便，测量速度慢，特别是小孔和深孔测量难度更人，随着微型化和高精度技术的发展，加工孔的尺寸精度已达到微米级，且大多为深孔、盲孔、半球碗或过半球碗等，但现在国际上对小孔任意截面处的尺寸及形状误差的测量，特别是纵深比较大的小孔则几乎还是空

5、片。目前国内外所采用的孔径测量方法可分为接触是测量和非接触是测量，其中接触式测量主要有坐标测量机测量法、电接触法、坐标测量机测量法，是在三坐标机上测量，利用测球与孔壁接触感受并存储测球的坐标值而实现对孔的测量，但操作复杂，特别是接触力的影响会引起测杆与测头的机械变形，用以造成较大的误并；电接触法是利用测头与孔壁接触的瞬间使电路通电，进行瞄准测量,X、Y方向位移由步进电机给定，但测量精度很低。非接触式测量主耍有光学法、气动法和屯容法。光学法是一种早期出现的应用较广泛的测孔方法，大多只能测量大孔，且孔端面的任何毛刺缺陷都会影响精

6、度，气动式测量小孔，综合地反映了通孔对气体流经过它时的影响，属于孔截面测量，而不能测量任意截面的尺寸和形状误差。屯容法具有结构简单、测量范围人、灵敏度高、动态响应快、稳定性好的优点，此外它一般采用空气介质，介质损耗小，能进行高倍放大以获得高灵敏度，且其电容量一般来说与电极材料无关，发热很少，因而零点漂移少。2•电容测微仪的现状2.1国外发展现状早在木世纪初人们已经开始运用电容的变化來测量小位移，特别是1920年惠丁顿的“超测微仪”的面世，这种原理才被广泛接受，直到1958年电桥法代替谐振法，使电容测微仪技术获得了很大的进步。

7、过去一段时间电容传感器用的不多，主要由于在连接电路上有诸如分布电容Z类的麻烦。同时要求的电了设备比较复杂。近年來，由于高精度位移测量和非接触表面测量的必要性口益增长，推动了位移与应变测量技术的研究。加上屯子学，特别是集成屯路技术的迅速发展，以及驱动电缆技术的出现等等，使得屯容测微技术面临更为广阔的研究与应用领域。也使电容传感器的优点：输入能量低、屯容变化百分数大、动态响应快、自热效应微小等得到进一步的发扬，而所存在的分布电容及非线性等缺点又不断得到克服。特别是一些高精度、高稳定性的电容测微仪产品不断在科研、生产中得到应用。国

8、外欧美等国家纷纷研制出高精度的电容测微仪产品，如英国QueensgateInstruments公司生产的纳米定位系统SYSTEM2000中的NS2000电容测微仪模块，美国WangeKerr公司生产的电容测微仪和德国PI公司的电容测微仪产品等,其分辨力目前已经达到lnm〜O.lnm。近年来