ITO导电玻璃入门知识

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1、ITO导电玻璃入门知识ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上,利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡(俗称ITO)膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃,还会在镀ITO层之前,镀上一层二氧化硅阻挡层,以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理,以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃,所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此,最终的液晶显示器都会沿浮法方向,规律的出现波纹不平整情况。在溅镀ITO层时,不同的靶材与玻璃间,

2、在不同的温度和运动方式下,所得到的ITO层会有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些,更容易出现“麻点”现象;有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带,ITO层在蚀刻时,更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带;另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。ITO导电层的特性:ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下,氧化铟透过率高,氧化锡导电能力强,液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性,所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质,俗称“霉

3、变”,因此在存放时要防潮。ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应,形成其它导电和透过率不佳的反应物质,所以在加工过程中,尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。ITO层由很多细小的晶粒组成,晶粒在加温过程中会裂变变小,从而增加更多晶界,电子突破晶界时会损耗一定的能量,所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高,电阻也增大。ITO导电玻璃的分类:ITO导电玻璃按电阻分,分为高电阻玻璃(电阻在150~500欧姆)、普通玻璃(电阻在60~150欧姆)、低电阻玻璃(电阻小于60欧姆)。高电阻玻璃一般用于静电防

4、护、触控屏幕制作用;普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰;低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。ITO导电玻璃按尺寸分,有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格;按厚度分,有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格,厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶显示器产品。ITO导电玻璃按平整度分,分为抛光玻璃和普通玻璃。影响ITO玻璃性能的主要参数:长度、宽度、厚度及允差(±0.20)垂直度(≤0.10%)翘曲度(厚度0.7mm以上≤0.10%,厚度0.55

5、mm以下≤0.15%)微观波纹度倒边C倒边(0.05mm≤宽度≤0.40mm)R倒边(0.20mm≤宽度≤1.00mm,曲率半径≤50mm)倒角(浮法方向2.0mmX5.0mm;其余1.5mmx1.5mm)SIO2阻挡层厚度(350埃±50埃,550nm透过率≥90%)ITO层光学、电学、蚀刻性能(蚀刻液:600C37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3):化学稳定性:耐碱为浸入600C、浓度为10%氢氧化钠溶液中5分钟后,ITO层方块电阻变化值不超过10%。耐酸为浸入250C、浓度为6%盐酸溶液中5分钟后,I

6、TO层方块电阻变化值不超过10%。耐溶剂为在250C、丙酮、无水乙醇或100份去离子水加3分EC101配制成的清洗液中5分钟后,ITO层方块电阻变化值不超过10%。附着力:在胶带贴附在膜层表面并迅速撕下,膜层无损伤;或连撕三次后,ITO层方块电阻变化值不超过10%。热稳定性:在3000C的空气中,加热30分钟后,ITO导电膜方块电阻值应不大于原方块电阻的300%。外观质量:裂纹:不允许。粘附物:包括尘粒、玻璃碎等凸起物,TN型ITO导电玻璃镀膜面不允许有不可去除的高度超过0.1mm的粘附物;STN型ITO导电玻璃镀膜面不允

7、许有不可去除的高度超过0.05mm的粘附物。沾污:不可有不溶于水或一般清洗剂无法除去的沾污。崩边:长X宽≤2.0mmx1.0mm;深度不超过玻璃基片厚度的50%;总长度≤总边长的5%。划痕:见表1-2。表1-2玻璃体点状缺陷:包括气泡、夹杂物、表面凹坑、异色点等。点状缺陷的直径定义为:d=(缺陷长+缺陷宽)/2。见表1-3。表1-3玻璃体线状缺陷(宽度W):包括玻筋、光学变形见表1-4。表1-4膜层点状缺陷:SIO2阻挡层和ITO导电层的点状缺陷包括针孔、空洞、颗粒等,点状缺陷的直径定义为:d=(缺陷长+缺陷宽)/2。见表

8、1-5。表1-5ITO导电玻璃的工厂自适应测试方法及判定标准:尺寸:A、测试方法:用直尺和游标卡尺测量待测玻璃原片的长度、宽度、厚度。B、判定标准:测量结果在供货商所提供的参数范围之内为合格。面电阻:A、测试方法:把待测试玻璃整个区域做为测试区域,然后测试区域分成九等份后再用四探针测试仪分别测试各区域的

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