(实践报告)二硫化钼薄膜的制备及其光电特性的研究

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1、、项目完成情况项目名称二硫化钳薄膜的制备及其光电特性的研究课题组成员何杰林拉陈康悴张国瑞吴晨负责人何杰项目完成情况(解决的关键问题、技术、创新点、社会效益等)本项目是利用化学气相沉积方法,以硫化钳的胶体溶液为原料,氮气为卸载气体,将热蒸发的硫化铝气相分子输运到衬底硅片表面,在高温下吸附并沉积形成硫化钳薄膜O应用X射线衍射(XRD)金相显微镜和扫描电镜(SEM)分析薄膜结构、成分和表面形貌;应用紫外可见光分光光谱仪和荧光光谱仪研究研究薄膜的吸收和光发射性质;利用i-v,C-V,霍尔效应仪等测量仪测量样品的如载流子的迁移率

2、,室温量子霍尔效应。优化制备工艺制备,制备超薄大面积均匀具有良好半导体特性的硫化钳薄膜、透明导电膜及MoS2/Si异质结太阳能电池。在整个项目的进行过程中,我们组有条不紊的按照项目计划进行,到今年四月初已经如期完成的所有项目计划。在项目进行过程中我们也遇到了一些挫折,主要是我们用的化学气象沉积又要求真空环境,相关化学物质进入真空泵对真空泵伤害很大而且影响反应室的真空度。进过我们摸索之后发现真空泵是用真空泵油润滑的,于是我们找到了经常更换真空泵油的方式解决了这个难题。该项目中也有融入了我们组员的创新点,首先是我们创新的想

3、到将二硫化钳粉末使用压机压成饼状,利用高温升华获得小颗粒的二硫化钳颗粒,后來我们又创新性的使用液体溶解二硫化钮然后再通过惰性气体携带将二硫化钳气体带出来O二硫化钮薄膜的制备以及对它的光电特性的了解将会对二硫化钮在半导体领域的应用有推动作用。[1]杨智甫.二硫化銅新品种的工业性试验研究及开发[J].中国钳业,2004,28(1):39-41.[2]松永正久•范煜,吴伟忠,齐尚奎,等译.固体润滑手册[M].北京:机械工业岀版社,1986:87-98.[3]TAKURDS,DELMONB.TheroleofgroupVIII

4、metalpromoterinM0S2andWS2hydrotreatingcatalysts[J].JCatal,1985,91(2):308-317.[4]TRIBUTAAH,FARADAYD.Photoelectrochemiatryoflayer-type-zirconiumdisulfide[J].JElcctrochcmSoc,1981,128(6):1261-1269.[5]GOLUBAS,ZUBAVICHUSYV,SLOVOKHOTOVYL,etal.Layeredcompoundsassembledf

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6、cts:USPat,5262241[P],1993-11-16・[8]MargulisL,SalitraG,TenneR,etal.NestedfullerenelikeStructures[J].Nature,1993,365:113-114.[9]HuaKH,WangJ,SchraubcdS,ctal.TribologicalpropcriticsofM0S2nanoballsasfillerinpolyoxymethylenebasedcompositelayerofthreelayerself-lubricat

7、ionbearingmaterials[J].Wear,2009,266(11):1198-1207.项目研究主要参考文献[10]SibernagelBG.Lithiumintercalationcomplexesoflayeredtransitionmetaldichalcogenides:anNMRsurveyofphysicalproperties[J].SolidStateCommun,1975,17(3):361・365.[1l]ChenJ,LiSL,TaoZL.Novelhydrogenstoragepro

8、pertiesofMoS2nanotubes[J].JournalofAlloysandCompounds,2003,356:413-417.[12]OkamotoY,KatoA,Usman,etal.EffectofsulfidationtemperatureontheintrinsicactivityofCo一MoS2andC

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