4.电容式传感器

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1、第四章电容式传感器及其医学应用电容式传感器(capacitancesensors)是一种将被测非电量的变化，例如位移、速度和微小压力等，转换为电容量变化的传感器件。电容式传感器的主要优点是分辨率高，结构简单和可非接触测量等。电容式传感器不仅用于位移，振动，角度和力的精密测量，而且还可以用于液面高度和溶液中成分含量的非接触测量。电容式传感器基本原理平板式电容传感器：由两块平板形电极和极板间绝缘介质构成，当忽略极板边缘效应，电容量可用下式表示式中，C为电容量(pF)A为极板相互覆盖面积(cm2)d为两极板间的距离(cm)为两极板间介质的介电常数0为真空介电常数，0=1/3.6π(PF

2、/cm2)r为极板间介质的相对介电常数（对于空气介质r≈1）,r=/0。2.同心圆筒形电容传感器：RrL同心圆筒形电容器忽略了边缘效应:L>>(R–r)电容式传感器的感测原理感测原理：当被测量引起A、d、ε三个参数中任意一个发生变化,都会引起电容量的变化，通过一定测量电路可将电容转换为相应的电压输出。电容式传感器可以分为三种结构类型：改变极板面积的变面积（A）式；改变极板距离的变极距（d）式和改变介电常数的变介电常数（）式。变面积型电容传感器(a)变面积型(b)差动变面积型图3.5.2-1变面积型电容传感器原理图变面积型(b)差动变面积型变面积型电容传感器原理图电容的相对变化

3、率为:电容传感器的灵敏度定义是电容变化与位移变化的比。灵敏度S为变面积型电容传感器适用于测量直线位移和角位移。设动极板向右(或向左)平移ΔL时,其相对应的电容为:变面积型电容传感器的计算：初始电容值：角位移传感器模型：两半圆形板极(定板极和动板极)的间距为d,面积均为A，可绕同圆心转动，其夹角为θ。C1（ΔC）与θ（角位移）成线性关系。定极板动极板平板电容式角位移传感器变面积型电容传感器可动极板移动距离ΔL不能太大，否则边缘效应增加，产生非线性，影响测试精度。差动式变面积型传感器可提高灵敏度和克服极板的边缘效应，改善非线性。这种传感器设计时必须保持可动极板初始位置与两个固定极板构成的电容

4、C1和C2为相同值。变面积型电容传感器并不用于位移的测量精密，而用于测量一般精度要求的位移。变极距型电容传感器假设两极板初始未移动的电容量为C0=A/d=ε0εrA/d可动极板上下移动Δd,则电容C变化为：电容的相对变化量为:变极距型传感器变极距型电容传感器的非线性特性变极距型电容传感器只有当Δd/d很小时，其非线性误差减小，才能有近似线性输出，因此它适用于微米(μm)级的变化位移测量。减小d可提高灵敏度，但又会影响线性度。相对非线性误差变极距型差动电容传感器其灵敏度为:S=ΔC/Δd=2C0/d其相对非线性误差为:差动式结构比单个电容传感器灵敏度提高了一倍,而非线性误差也按平方关系减

5、少。差动式结构具有更好的线性关系。变极距型差动电容传感器的应用电容式压差变换器测量呼吸的流量大小和呼吸气流极性等参数中间的高灵敏度的膜片上安置的电极片为动片，另外两定片和动片组成差动电容传感器。接交流电桥进行测量变介质型电容传感器变介质型电容传感器是通过改变介电常数ε实现测量的。利用各种介质的介电常数是不同的，改变介质或改变介质的有效量将会引起电容大小的变化。例如水的相对介电常数r为80；甲醇为37；乙醇为20～25；盐为6；云母为6～8；玻璃为3.7；塑料为1.8～2.2；液态空气为1.5；真空为1等。在电容器两极板加以空气以外的其他介质，当它们之间的介电常数发生变化时，电容量也随之

6、改变。这种传感器常用来检测容器中的液面高度，片状材料的厚度和位移等。无介质块时电容为C0，介质块移入x后的电容为变介质式电容传感器其中b为极板宽度。：所以表明电容大小与介质块移入电容距离x成线性比例关系。变介质型电容传感器应用假设在两个同心圆柱形极板1和极板2中放入被测介质，若容器内液体介质的介电常数为1，容器内气体介电常数为0，当容器内液面高度发生变化时，极板1和2之间的电容量就要发生变化。电容C与高度x为成线性比例关系。由此实现了对液面高度的测量。多层电容传感器多层电容传感器由于单层平板式电容的容量较小，所以实际应用中常常采用多片重叠极板并将其并联，以增大容量。如收音机的调谐电容

7、等。电容传感器的测量电路电容传感器的输出电容变化值一般都很小，在几PF到几十PF范围内，对于如此微小电容必须借助测量电路,将其转换成与其测量值成正比的电压、电流或者频率信号等，才能进一步处理，包括记录和传输等。交流电桥(alternatingcurrentbridge)是电容传感器最基本的一种测量电路，其作用与电阻传感器的直流电桥一样，是将微弱的电容变化量转换为电压和电流。交流电桥交流电桥采用交流稳压源Us，电桥四个臂是阻抗。设Z1