光盘模具镜面超精密抛光研究

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1、66模具工业2008年第34卷第10期光盘模具镜面超精密抛光研究刘学璋,王柏春(长沙矿冶研究院研发中心,湖南长沙410012)摘要:为了获得超光滑光盘模具镜面,选用金刚石磨料抛光光盘模具。分析了金刚石粒度、分散介质与抛光盘硬度等因素对表面质量的影响。试验结果表明:采用0.1
m粒度的油性金刚石抛光液,硬度为20.8HV的抛光盘,在合适的抛光工艺条件下可获得表面粗糙度Ra=0.57nm,平面度Pv达到0.56
m的超光滑镜面。关键词:光盘模具;镜面;超精密抛光;金刚石中图分类号:TG580.692文献标识码:B文章编号:1001-2168(2008)1

2、0-0066-04Theultra-finemirrorpolishingofmouldforopticaldiskLIUXue-zhang,WANGBai-chun(ChangshaResearchInstituteofMiningandMetallurgy,Changsha,Hunan410012,China)Abstract:Inordertoachieveanultra_finemirrorsurfaceofmouldforopticaldisk,diamondabra
sivewasadoptedtopolishthemouldsurfac

3、e.Theinfluenceoffactorslikestonesize,dispersionmediumandthehardnessofpolishingdiskonthesurfacequalitywasreview.Theresultsshowthattheultra_finemirrorsurfacewithsurfaceroughnessRa=0.57nmandplanenessPv=0.56
mcanbeobtainedundersuitablepolishingconditionsandwith0.1
mgrainsizeofoilyd

4、iamondpolishingslurryandHV=20.8ofpolishingdisk.Keywords:mouldforopticaldisk;mirrorsurface;ultra_finepolishing;diamond1引言影响成品盘片的不平衡度。表面粗糙度是指镜面具光盘精密注射成型技术能有效解决注射中基有较小间距和微小峰谷所组成的微观几何形状特片的应力问题,减少变形,提高表面转写性、尺寸精性。度以及光学特性,成型效率高,已成为光盘主要成表面粗糙度Ra

5、光范围,对加工环境的洁净度、研磨设备的精度以及光盘模片,闭合模具,此时模片与模具镜面间形成研磨抛光工艺条件有非常高的要求。光盘模具材料圆盘状空腔。塑化好的熔融塑料被螺杆以高速高压一般为可淬硬的马氏体不锈钢,含碳量较高,加工性[4]注入空腔中,并保持一定压力,以保证模具中的塑能好,经热处理后可获得较好的硬度和耐磨性。金料与模具光滑表面及模片表面完全贴合。之后经强刚石显微硬度高,化学性能稳定,是一种优异的精密制冷却后开模,取出冷却的光盘基片,即完成光盘抛光磨料。为了获得光滑的光盘模具镜面,现选用[3]注射过程。对于只读光盘,盘片上记录的信息在注金刚石抛光

6、光盘模具,以下分析金刚石粒度、分散介射同时复制到光盘上。AXXICON公司新开发的S模质与抛光盘硬度等因素对表面质量的影响。具单张光盘的生产周期少于3s。为保证信息能被光驱准确读取,要求模具镜面2实验无任何微细点或线缺陷,表面粗糙度Ra

7、S15型光学显微镜收稿日期:2008-06-20。在放大2000倍下观察模具表面。表面粗糙度Ra采作者简介:刘学璋(1978-),男,安徽宿松人,工程师,主要从事用HD8100型WYKO表面轮廓仪测试,测试模式为纳米金刚石的应用研究,地址:湖南长沙市麓山南路966号长沙矿冶研究院研发中心,(电子信箱)lxuezhang@tom.com。垂直扫描干涉方式,测量范围1.2mm1.6mm。平模具工业2008年第34卷第10期67面度Pv采用TOTO表面分析仪测量,扫描范围60mm,扫描速度0.5mm/s。3结果与分析3.1金刚石粒度[5]根据金属流动基本

8、理论,在模具抛光初期,磨料对工件表面产生磨削作用,以其锐利的尖角对工件表面进行微切削。随着抛光过程的进行,磨