2HD-300M2电阻蒸发镀膜机使用说明

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1、<实验记录>日期2013年7月9日星期二1，打开总开关，单击电源启动按钮，听到缺水警报声。2，打开水源，警报消失。3，单击放气阀开按钮，进行放气，打开气压显示表（右上），显示数据为大气压强（1*10^5pa）4，轻轻拿下球形腔体，进行腔体清洗（酒精）。（可以马上关闭放气阀开按钮）5，换钼舟，加装样品（在钼舟上放上需要镀的材料）。6，轻轻放上球形腔体，对齐放就好。7，以此单击机械泵开，前极阀开进行抽气，直到右上角气压显示到达2.0*10^1以下时，开启分子泵电源（单击工作按钮）抽气，观察左上角气压显示小于2.0*10^-3以下。（分子

2、泵只能在低压下进行，特别注意损坏分子泵）8，开启仪器下边的蒸发电源（小心打开外装铁皮）。9，打开膜厚仪开关，进行调整（单击设置键，设置成你镀膜用的那种材料的参数，有些参数需要修改，并进行修改）修改参数完成以后，双击开始键，观察到红点灯不停闪亮。10，单击蒸发电源启动。11，调节电流大小，大概130A左右，根据材料性质不同，调节电流（可观察仪器最右上角的显示）12，观察蒸镀膜厚仪的蒸镀速率变化，不宜太大，如果太大，可以调小电流。13，直到速率显示为零，迅速调节电流，转到零值。（蒸镀已经完成）14，在蒸镀膜厚仪上，单击开始键左边那个键，

3、再单击右上角的键，再单击开始左边的那个键，膜厚仪停止工作。15，单击左上角的（功能/手动自动）键,再单击分子泵工作键,关闭分子泵。16，现在可以关闭蒸镀操作，单击蒸发电源停止。17，等待分子泵转数降低到零18，分子泵转数降为零，单击前极阀关，再单击机械泵关19，关闭仪器下边的蒸镀电源。20，关闭膜厚仪电源。21，单击放气阀开按钮，进行放气（操作如第3项）22，轻轻拿下球形腔体，取出样品。23，清洗球形腔体，并放到一起上（如6项）。24，关闭放气阀，单击放气阀关按钮。25，以此单击机械泵开，前极阀开进行抽气，直到右上角气压显示到达2.

4、0*10^1以下时，开启分子泵电源（单击工作按钮）抽气，观察左上角气压显示小于2.0*10^-3以下。（分子泵只能在低压下进行，特别注意损坏分子泵）。26，等待腔体被抽成真空。27，关水28，关闭电源停止。29，关闭总电源。30，整理实验室，打扫卫生。