分子泵对Xe气抽速的测试

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1、分子泵对Xe气抽速的测试郭宁，邱家稳，江豪成(兰州物理研究所，)摘 要：在不同Xe气流量下测量了F-400／3500和F-250／1500分子泵对Xe气的抽速，指出分子泵对Xe气的抽速是其对N2抽速的0．6～0．8倍。这一折算系数和泵的型号有关，和泵口真空也相关。关键词：分子泵；抽速；Xe中图分类号：：XepumpingspeedtestingformolecularpumpGUONing，QIUJiawen，JiangHao—cheng
(LanzhouInsitituteofPhysics，Lanzhou730000，China)

2、umpingspeedofF-250／1500／F-400／3500molecularpumphasbeentestedatdifferentXeflowrates．TheresultindicatedthattheXepumpingspeedofmolecular pumpisabout60％—80％ofN2pumpingspeed. Suchaconversionratebearsrelationstothemodel／typeofpumpandvacuumpressureatpumpintake.
Key words：molecul

3、arpump；pumpingspeed在设计Xe气氛真空系统时，需要根据各种真空泵对Xe的抽速，选择经济实用的配泵方案。一些文献资料指出低温泵和扩散泵对Xe的抽速是其对空气抽速的0.46倍^{[1.2]，但关于分子泵对 Xe气的抽速，则鲜见报道。本文报道了F-400／3500分子泵、F-250／1500分子泵对Xe抽速的测试结果，以供同行在设计Xe气氛真空系统时参考。1实验设备和测试方法1．1实验设备F-400／3500分子泵对Xe抽速测试在兰州物理所Ts-1000真空系统上进行，F-250／1500分子泵对Xe抽速测试在兰州物理所TS-5真空系统上进行。真空系统}

4、如图1，图2所示。