MEMS发展历史与应用

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1、MEMS综述第一章MEMS的概念........................................................................................................................2第二章MEMS技术发展历史............................................................................................................2

2、第三章MEMS技术工艺与流程........................................................................................................53.1MEMS关键技术..................................................................................................................53.2MEMS制造与加工工艺

3、......................................................................................................73.3MEMS应用流程..................................................................................................................9第四章国内外发展状况....................

4、...........................................................................................104.1国外MEMS技术主要研究机构.......................................................................................104.2国外发展现状...................................................

5、..............................................................124.3国内主要研究机构.........................................................................................................144.4国内现状......................................................................

6、...................................................164.5中国MEMS产业存在的问题...........................................................................................17第五章MEMS未来发展方向....................................................................................

7、......................18第一章MEMS的概念MEMS是英文MicroElectorMechanicalsystems的缩写，即微电子机械系统。利用集成电路（IC）制造技术和微加工技术把微结构，微传感器，微执行器等制造在一块或者多块芯片上的微型集成系统。具有微型化、智能化、多功能、成本低、高集成度和适于大批量生产等优点。MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电

8、子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。其研究内容一般可以归纳为以下三个基本方面：1．理论基础：在当前MEMS所能达到的尺度下，宏观世界基本的物理规律仍然起作用，但由于尺寸缩小带来的影响（ScalingEffects），许多物理现象与宏观世界有很大区别，因此许多原来的理论基础都会发生变化，如力的尺寸效应、微结构的表面效应、微观摩擦机理等，因此有必要