《键合技能培训》ppt课件

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1、第一节键合工艺Wirebond的构成FAB的形成（空气中的金球FreeAirBall）BallBonding(1st結合)加热+振动(超音波)形成Au和Al金属间的化合物行程1:焊头在打火高度(复位位置)空气中的金球FreeAirBall（FAB)劈刀-Capillary*打火要求:准确和对准烧球烧球不好可能存在问题：1)打扁金球2)高尔夫球或叫匙球-GolforClubBall3)不粘-Nonsticking4)起坑:因劈刀直接打在焊压点行程2:焊头由打火高度下降到第一焊点搜索高度Die焊頭在向下運動的過程中,金球通过气压的空气張力,使金球緊貼劈

2、刀凹槽在第一焊點搜索高度開始,焊頭使用固定的速度搜索接觸高度第一焊點搜索速度1stSearchSpeed1第一焊點搜索高度1stSearchHeight行程3:接触高度和压焊工艺;第一焊点参数最初的球形影响参数:预备功率StandbyPowerDIE最終的球形和质量決定于:1STBONDCONTACTTIMECONTACTPOWER,CONTACTFORCE,BASETIMEBASEPOWERBASEFORCE行程4:共晶金属的形成超声功率UltrasonicPower共晶金属的生長DIE共晶金属的覆盖面积第一焊點的功率和壓力變量曲線簡圖1stBong

3、PowerandForceProfileReleaseForceDieDieDieContactTimeBaseTimeStandbyPower功率POWER压力FORCEContactPowerBasePowerImpactForceContactForceBaseForceSearchTimeRel.TimeRel.Power行程5:完成第一点压焊后,焊头上升到反向高度（ReverseHeight）DIE反向高度-RH焊头向上运动行程6:反向距离Stage6:ReverseDistance反向距离-RDDIE行程7:焊頭上升到线弧高度位置DIE焊頭

4、向上运动行程8:在弧度高度搜索延迟－　XY工作台向第二压点移动－　焊头不动DIE搜索延迟SEARCHDELAY行程9:XYZ移向第二壓點搜索高度DIEARCMOTIONSD第二焊點搜索高度-2ndSch.High第一焊點搜索速度-2ndSch.SpeedLeadDIE行程10:第二点接触LEAD”最初的楔形影响参数:碰撞压力和預备功率行程11:第二压点参数Lead最終的楔形质量決定于:2ndbondContactTime,ContactPower,ContactForceBaseTime,BasePower,BaseForce第二焊点的功率和压

5、力变量曲线简图ContactTimeBaseTimeStandbyPower功率POWER压力FORCEContactPowerBasePowerImpactForceContactForceBaseForceReleaseForce2LEADLEADLEADFinalWedgeShapeSearchTimeReleaseTimeReleasePower行程12:焊头在尾丝高度完成第二點压焊后,焊头上升到尾丝高度,然后线夹关上Lead線夾“關上”WIRECLAMP“CLOSE”尾絲長度TaillengthLead行程13:拉断尾丝线夹在尾丝位置关上,把

6、尾丝从第二压点拉断后,焊头上升到打火高度线夹关闭WIRECLAMP“CLOSE”行程14:金球形成，开始下一个压焊过程线夹关闭WIRECLAMP”CLOSE”金球FAB打火杆E-Torch焊头到达烧球高度,烧球延迟以后,然后电子打火形成对称的金球第二节常见问题处理问题处理FAB形成不良1）检查线夹，劈刀是否污染2）用pantlight检查金丝是否有手指印3）EFO放电呈黃色，检查指纹，E-Torch4）如果是铜丝键合检查氮氢混合气是否正常1）检查pad有无污染2）适当调整一焊点StandbyPowerContactTime，ContactPower，

7、ContactForceBaseTime，BasePower，BaseForce参数3）检查劈刀是否沾污或损坏，是否选用了合适的劈刀型号4)铜丝键合检查FAB是否氧化，氮氢气有无异常5)调整Power输出模式(Low,High)(Normal,Cont-I,Cont-P)1stbondnonstick处理方法1）检查引线框架有无污染或不良2）检查劈刀是否沾污或损坏，是否选用了合适的劈刀型号3）适当调整二焊点StandbyPowerContactTime，ContactPower，ContactForceBaseTime，BasePower，BaseFo

8、rce参数4)调整Power输出模式(Low,High)(Normal,Cont-I,Cont