《硅片过程检验培训》ppt课件

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1、硅片过程检验培训目录：1.引言2.电池片过程检验标准3.过程检验作业指导书硅片检验主要分为三类：1.硅片来料检验2.电池片生产过程检验3.电池片出货检验引言硅片来料检验设备：引言硅片来料检验设备：引言硅片来料检验目的：保证进货的原材料满足规定的要求，防止不合格品流入生产流程造成不必要的损失。(确保合格的产品提供给生产部门)引言硅片来料检验主要项目：1.电学部分：厚度/电阻率测试少子寿命测试引言2.光学部分：几何尺寸垂直性硅片破裂（包括崩边、裂痕、V型缺口）表面脏污空洞和隐裂引言相关硅片实例：引言电池片生产过程检验目的：防止过程中出现批次性问题，避免不合格品流入下道工序。保证电池片生产工艺过

2、程、操作过程均满足规范要求，保证生产的稳定性及规范性，保证产品效率及成品率。引言电池片生产主要过程介绍：引言电池片生产过程检验主要相关设备：引言主要分为以下几个控制点：1.前期准备工作检查2.制绒清洗后；3.扩散后；4.等离子刻蚀后；5.去磷硅玻璃清洗后；6.PECVD后；7.丝网烧结后；8.电池片性能测试分档后。电池片过程检验标准前期准备工作检查：设备开机检查，填写《巡检记录单》；工艺参数监控：设备各参数达到工艺要求后进行生产。电池片过程检验标准各工序关键工艺参数：制绒清洗：NaOH、Na2O3、HF、HCL溶液浓度，溶液温度等。扩散：扩散温度，气体流量等。等离子刻蚀：射频功率，气体流量

3、等。电池片过程检验标准去磷硅玻璃：HF溶液浓度等。PECVD：气体流量，微波源功率，沉积压力，工艺温度等。丝网烧结：印刷压力，印刷速度，印刷网板间距，印刷方式，烧结各加热区温度等。电池片过程检验标准制绒清洗后：制绒后硅片外观：硅片表面制绒均匀，无点状亮点硅片称重：清洗前后重量差在0.6～0.7g电池片过程检验标准扩散后：方块电阻：测量范围在40±5Ω/□方阻均匀性：均匀性误差不大于±5%电池片过程检验标准等离子刻蚀后：边缘电阻测量：测量范围在30±10kΩ刻蚀痕迹（目测）电池片过程检验标准去磷硅玻璃清洗后：电池片外观：扩散面无明显发暗扩散面疏水性（目测）电池片过程检验标准PECVD后：工艺

4、后外观检测：硅片镀膜面呈均匀蓝色（目测）氮化硅膜的厚度、反射率、折射率片内均匀性、片间均匀性、批间均匀性：不大于±5%电池片过程检验标准丝网烧结后：印刷重量：正银为0.10g±0.02g；背银为0.12g±0.02g；背铝为0.8g±0.2g；电池片外观：满足《成品电池片外观分选标准》要求。电池片过程检验标准电池片性能测试分档后：标准片校准碎片记录电池片过程检验标准一、目的：防止制程中出现批次性问题，避免不合格品流入下道工序。二、范围：适用于产品生产过程有关的工序。过程检验作业指导书三、职责：品控员负责对生产过程的监控，对生产工序的巡查，将遇到的问题反馈给PQC工程师。PQC工程师负责品控

5、员监督、巡检统计表的汇总报告，以及协调生产部，工艺部和设备部解决相关问题。过程检验作业指导书四、工作内容:品控员在每班开始生产前完成对各种测试设备的校准工作，并填写《测试设备校准记录单》。品控员每隔一小时检查各工序使用《作业指导书》是否正确，操作员是否按照要求进行操作，并填写《巡检记录单》。如发现问题需立即告知带班班长及PQC工程师，不允许擅自处理。过程检验作业指导书品控员每隔一小时检查产品流转情况，并填写《巡检记录单》。如发现问题需立即告知带班班长及PQC工程师，不允许擅自处理。品控员每隔一小时检查各工序使用的设备和工装是否符合《作业指导书》和《设备操作规程》，并填写《巡检记录单》。如发

6、现问题需立即告知带班班长及PQC工程师，不允许擅自处理。过程检验作业指导书生产过程中有状态变更（包括工艺、设备和操作人员等）后，品控员需对调整后的前3批产品质量进行跟踪，并填写《巡检记录单》。对于生产过程中不合格的原材料的处理，要填写《原材料异常反馈单》，对不合格原材料的使用情况进行处理并向技术质量部主管反馈。过程检验作业指导书品控员若发现制造产品过程略有偏离正常状态，尚未造成质量问题时，应立即口头通知生产部带班班长和PQC工程师，必要时通知生产部门经理进行改善，并跟踪改善结果，若三次改善无效，则填写《质量信息反馈单》经技术质量部及相关部门确认后，按确认结果进行处理。过程检验作业指导书对于

7、现场中出现的质量问题，品控员立即告知PQC工程师及带班班长，带班班长要立即停产。QC与生产、工艺人员（必要时请研发人员协助）共同对事故原因进行分析，要立即发放《纠正与预防措施单》，找出发生质量问题的真正原因，制定纠正预防措施。并同时用电话或邮件通知技术质量部主管和生产部主管。发现重大异常立即向技术质量部经理和制造部经理报告。确认是否造成质量事故，如造成质量事故，根据《质量事故的管理规定》执行。过程检验作业指导书品控员每隔