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《GBT16945-2009 电子工业用气体 氩.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、ICs7i10020�G86中华人民共和国国家标准-2009�GB/T1694⒌代替GB/T169碴�5-1997电子工业用气体氩�ˉGasforeIectroniCindustryˉ�Argon�200⒐�1⒍�3Q发布⒛10-0⒌01实施池曩齄躔黯串臂嬲蟛辉蟊叮耋哭霎赘尹垦发布鬯.www.bzxzk.com.GB/T16945-2009目刂昌本标准代替GB/T16945-1997《电子工业用气体氩》。本标准与GB/T16945—1997相比主要变化如下:——修改氩的适用范围(GB/T16945—1997的第1章,本版的第1章)·——增加规范性引用文件(GB/T16
2、945—1997的第2章,本版的第2章);——一修改技术指标内容:增加类纯度和杂质含量(GB/T16945—1997的第3章,本版的第3章);——修改瓶装氩抽样方法(GB/T16945—1997的‘11,本版的41D;——增加集装阁装、大容积钢质无缝气瓶和杜瓦罐装氩产品并规定检验方法(见41D,——修改管道输送的氩抽样方法(GB/T16945—1997的41~1,本版的41~2);——增加氩的采样安全要求(见荃.1.3〉;——一1997的衽.3、44、4.5,本修改氢、氧、氮、氧化碳和二氧化碳的测定方法(GB/T16945—版的4.3),——增加其他方法测定总烃;当出
3、现多种分析方法时,增加规定仲裁方法(见准3、饪.4、奎5);——修改水分的测定方法(GB/T169遮5—1997的47,本版的45);——修改标志、包装、贮运及安全(GB/T169碴5—1997的第5章,本版的第5章)。本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体材料和设各标准化技术委员会气体分会归口。本标准起草单位:北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院.本标准主要起草人:赵俊秀、周鹏云。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:—GB/T16945—1997。.www.bzxzk.com.GB/T16945-2009电子工业用气体氩1
4、范围本标准规定了氩的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。:i、j遂∽冷扫^吐ll六合以<壬"虐手以<焉享丨、jW,//XBF/冫十边徂硎蚰笱本标准适用火唧氩用于系统
5、的保护和增珏它还可以卢舀性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中分子式:Ar。相对分子质:叟年国际相对2规范性引用虫下列文件中
6、鲠引用文件,其随后所有Bg修改卑(小包内容)蓥成协议的各方研究是否可使用这于标准。"训GB/T37〓·ο渣h`邑⒍3.1电子氩的质求f`l帚■■■■
7、罡雩idΓ标i㈤项'匀2氩气(Ar)纯庋〈体一-ss.$ssf999992截舀凵h°¨-■■口■■氢(H2〉含量〈体积分k丿h'
8、1蚶勿λ^■氮(N2)含量〈体积分数”ΦJ丬》('⒍丿5′''2氧(0)含量〈体积分数)/10Xx‘∷、`乡o5挣化碳:01枷帧醚诿(05二氧化碳:01“总烃(以甲烷计)含量(体积分数)/1°<0105“水分(H20)含量(体积分数)/1°<0205杂质总含量(体积分数)/10忐≤1颗粒供需双方商定供需双方商定32液态氩的水分应气化后测定。4试验方法41抽样、判定和复验41.1瓶装、集装阁装、大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氩产品应逐一检验并验收。当检验结果有1.www.bzxzk.com.GB/T16945-2009一一任何项指标不符合本标准技术要求时,则判该产品不
9、合格。生产企业应确保每包装氩产品符合本标准技术耍求。412对稳定生产的管道输送的气态氩由供需双方确定抽样方案。企业应确保管道输送的氩产品符合本标淮技术要求。413氩采样安全应符合GB/T3723的相关规定。42氩纯度氩纯度按式(1)计算:=1oo_(∮⋯⋯⋯⋯¨¨¨∮l+钙+残+∮4+残+∮⒍)×10‘(1)式中:咛氩纯度(体积分数)/102;∮1——氢含量(体积分数)/10θ,——魄氮含量(体积分数)/106;——吨氧含量(体积分数)/10s;———残氧化碳+二氧化碳含量(体积分数)/106;——残总烃(以甲烷计)含量(体积分数)/106;——跷水分含量(体积分数)
10、/106。43氢、氧、氮、-氧化碳和二氧化碳含量的测定一氢、氧、氮、氧化碳和二氧化碳的测定方法按GB/T4842-2006中茌.3的规定.仪器检测限:005×106(体积分数)。44总烃(以甲烷计)含量的测定按GB/T89抛规定的方法或其他等效的方法测定氩中的微量总烃含量.当以上测定结果有异议时,以GB/T8984规定的方法为仲裁方法。仪器检测限:0,05×106〈体积分数)。45气体标准样品气体标准样品中的组分含量为(1~5)×106(体积分数),平衡气为氩。46水分含量的测定GB/T5832.1执按行。仪器检测限:0.05×106(体积分数)。允
