《GBT16945-1997-电子工业用气体氩》.pdf

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1、cB/T16945一1997前言本标准是根据SEMIC3.46-9309.9992%质量的散装液氢标准》(95年版)制定的，在技术要求上与之等同，试验方法与之等效。在将SEMIC3.46-93转化为国家标准时，结合我国实际情况，将适用范围扩大至瓶装氢气和管道输送的氢气，删去SEMIC3.46-93中仅作为参考的说明、物理常数及注释等内容，试验方法中增加抽样和氢气纯度两条，除氢、氮含量的测定采用SEMIC3.46-93的方法外，其余各项杂质含量的测定分别采用我国相应的通用试验方法国家标准，同时对检测限和标样要求按SEMIC3.46-93的规定进行适当的调整。以上变动与

2、SEMIC3.46-93无实质性差异，使标准的技术内容更加完整。本标准由中华人民共和国化学工业部提出。本标准由化学工业部西南化工研究院归口。本标准起草单位:化学工业部西南化工研究院、上海BOC气体工业有限公司、武钢氧气厂、洛阳单晶硅厂。本标准主要起草人:颜伯举、王少楠。中华人民共和国国家标准电子工业用气体氢GB/T16945一199-7Gasesforelectronicindustry-Argon1范围本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志。本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态氢和气态氢.电子工业用氢气用于系统的吹扫、保护和增压，它

3、还可用于化学气相淀积、溅射，等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。分子式:Ar相对分子质量:39.948按1991年国际相对原子质量)2引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T4842-1995氨气GB/T5832.1-86气体中微量水分的测定电解法GB/T5832.2-86气体中微量水分的测定露点法GB/T6285-86气体中微量氧的测定电化学法GB/T8984.1-1997气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法

4、GB/T8984.3-1997气体中总烃的测定气相色谱法GB14193-1993液化气体气瓶充装规定JB/TQ503-86低温液体槽车JB/T6897-93低温液体容器JB/T6898-93低温液体储运设备使用安全规则3要求电子工业用氢技术要求应符合表1的规定。表1技术要求v/v项目}指标19纯度，，。一，)一}氢含量，，。一，蕊一}氮含量,l0-0c一}氧含量，10一“(o.5一氧化碳和二氧化碳含量,1o-s0.5总烃(以甲烷计)含量,i0-s(0.5水分含量,10-s(0.5颗粒I一供需双方商定国家技术监督局1997一08一13批准1998一05一01实施GB/

5、T16945一19974试验方法4.，抽样4.1.1瓶装氢气按表2规定随机抽样检查，并规定批的最大瓶数为100瓶。当检验结果有任何一项指标不符合本标准规定时，则自同批产品中重新加倍抽样检查。若仍有任何一项指标不符合本标准规定时，则判该批产品不合格。表2抽样表产品批量，瓶12-89-1516-2526-5051-100抽样瓶数，瓶123456管道输送的氢，在4h内至少采样检验一次。当检验结果有任何一项指标不符合本标准规定时，则该4h内产品不合格。液态氢用贮槽或槽车装运时，应从每个贮运容器中采样检验。当检验结果有任何一项指标不符合本标准规定时，则判为不合格产品。4.1.

6、2瓶装气态氨的采样应用针形阀和金属管直接从样品瓶中采样，不得转移。进样前采用升降压法置换，吹洗瓶阀、针形阀及管道三次。液态氢必须从液相取样并使之完全气化后方能进样。4.2纯度氢气纯度按式(1)计算求得:0二100一娜:+0z+$a+0a+os+Os)X10-0················。。。二(1)式中:0-氢的纯度，10一2(V/V);0.一一氢含量，10-6(V/V);0z-氮含量，106(V/V);0.1-氧含量,10-6(V/V);0;一一一氧化碳+二氧化碳含量，10-`(V/V);$6—总烃(以甲烷计)含量，10-6(V/V);Y'6—水分含量,10

7、-6(V/V)o4.3氢和氮含量的测定4.3.1方法:采用配备氦离子化检测器的气相色谱仪测定氢中氢和氮。4.3.2检测限:氢:0.1xlo-,(v/v),氮:0.5x10-s(v/v),4.3.3仪器参数4.3.3门色谱柱:将色谱分析用粒度为。.25-0.40mm的5A分子筛装入内径4mm，长约3m的不锈钢管内，于300℃通氨气活化3h。或采用等效色谱柱。4.13.2载气:约30ml./min氦气，氦气中杂质含量比待测组分含量约低一个数量级。4.3.3.3样品体积:1.。至3.0ml。4.3-3.4温度:检测器及柱加热箱均为室温。4.3.3.5标样:含1一5x1